蒸镀掩模装置准备体

    公开(公告)号:CN105336855A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510639737.2

    申请日:2013-01-11

    Abstract: 本发明是一种蒸镀掩模、蒸镀掩模装置的制造方法及有机半导体元件的制造方法,其课题为提供即使作为大型化也可同时满足高精细化与轻量化的蒸镀掩模、可将此蒸镀掩模高精度地调整位置于框体的蒸镀掩模装置的制造方法及可制造高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。层积而构成设置有缝隙的金属掩模和树脂掩模,所述树脂掩模位于所述金属掩模表面,并且纵横配置有两列以上与蒸镀制作的图案相对应的开口部。

    一种蒸镀掩模及其制造方法

    公开(公告)号:CN115110027B

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202210638781.1

    申请日:2019-03-20

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模,其在树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25),树脂掩模(20)含有树脂材料,金属层(10)含有金属材料,将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时,在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中,用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃~上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃~上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。(20)上设置有金属层(10),其中,上述树脂掩模

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