一种使用双频激光的三维光栅位移测量系统

    公开(公告)号:CN103644848B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201310674590.1

    申请日:2013-12-12

    Abstract: 一种使用双频激光的三维光栅位移测量系统涉及一种光栅位移测量系统;该测量系统包括出射端接光纤的双频激光器、分光部件、偏振分光棱镜、测量臂/参考臂四分之一波片、测量臂/参考臂折光元件、二维反射式参考/测量光栅和光电探测及信号处理部件;二维反射式测量光栅的x/y方向周期均为d1,二维反射式参考光栅的x/y方向周期均为d2;所述测量臂折光元件的x/y方向折光角度均为θi1,参考臂折光元件的x/y方向折光角度均为θi2,且分别满足2d1sinθi1=±mλ1、2d2sinθi2=±mλ2;本发明不仅提出了可以同时测量三轴位移的光栅测量系统,而且提高了测量信号的抗干扰能力,同时z向位移量程得到极大的扩展。

    基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器及加工方法

    公开(公告)号:CN105092893A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201510508641.2

    申请日:2015-08-19

    Abstract: 本发明基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器及加工方法属于加速度传感器技术领域;该传感器包括一个硅支撑结构,一根从硅支撑结构侧面贴靠底部插入的研抛端面为45°的光纤,设置在硅支撑结构顶部的质量块,硅支撑结构与质量块构成珐珀腔;质量块为中间厚,四周薄的结构,质量块的下表面镀有反射膜;该方法首先加工硅支撑结构和下表面镀有反射膜的质量块,然后将硅支撑结构顶端与质量块镀有反射膜的面键合在一起,再将光纤从光纤插口插入并调整,最后将光纤插口密封;本发明不仅能够满足贴合于被测物表面使用的技术需求,而且能够解决共轴型非本征型光纤珐珀腔加速度传感器稳定性差的问题。

    基于45°光纤的差动光纤珐珀加速度传感器及加工方法

    公开(公告)号:CN105004882A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201510508643.1

    申请日:2015-08-19

    Abstract: 本发明基于45°光纤的差动光纤珐珀加速度传感器及加工方法属于加速度传感器技术领域;该传感器包括一个中间厚,四周薄,上下表面均镀有反射膜的质量块,对称设置在质量块两侧的硅支撑结构,每个硅支撑结构均与质量块构成珐珀腔,在每个硅支撑结构侧面贴靠底部的位置,均有一根研抛端面为45°的光纤插入;该方法首先加工设置有光纤插口的硅支撑结构和上下表面均镀有反射膜的质量块,然后将硅支撑结构顶端与质量块镀有反射膜的面键合在一起,再将光纤从光纤插口插入并调整,最后将光纤插口密封;本发明不仅能够满足贴合于被测物表面使用的技术需求,而且能够解决共轴型非本征型光纤珐珀腔加速度传感器稳定性差的问题,同时还能提高传感器的测量精度。

    一种光学透明频率选择表面结构及制作方法

    公开(公告)号:CN104950365A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201510262958.2

    申请日:2015-05-21

    Inventor: 韩余 金鹏

    Abstract: 一种光学透明频率选择表面结构及制作方法属于光学窗技术领域;所述频率选择表面结构包括衬底,分布在衬底上的表面具有周期开孔阵列的透明网栅膜;制作方法首先在衬底上表面涂覆掩模液,并在特定条件下,将掩模液自然干燥形成裂纹模板;接着在裂纹模板表面沉积导电金属层;然后去除裂纹模板,得到连续的透明网栅膜;再在透明网栅膜上制作开孔阵列掩模结构或其互补结构;并去除掩模结构未覆盖的透明网栅膜;最后去除掩模结构,得到光学透明频率选择表面结构;本发明不仅避免因金属线宽增加而降低光学窗透光性能的问题,而且避免传统机械摩擦方式同时降低光学窗的透光性能和电磁屏蔽性能,还给出了解决高级次衍射能量分布不均匀问题的具体加工条件。

    一种基于偏振分光器的高空间分辨率快照式成像方法

    公开(公告)号:CN104880253A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510333220.0

    申请日:2014-02-18

    CPC classification number: G01J3/447 G01J3/0208 G01J3/2823 G01J3/453

    Abstract: 一种基于偏振分光器的高空间分辨率快照式成像方法属于快照式成像光谱技术领域;在传统成像光谱仪的基础上,在准直镜和微透镜阵列之间设置有偏振分光器一,增加了成像臂光路;在光谱臂光路上,通过设置偏振分光器二,将传统单光路结构改变为平衡光谱臂和非平衡光谱臂的双光路结构;基于上述光谱仪,利用平衡光谱臂光电探测器及信号处理部件得到的干涉信号减去非平衡光谱臂光电探测器及信号处理部件得到的干涉信号,再经过傅里叶变换处理,得到目标的图像和光谱信息;本发明快照式成像方法不仅可以快速地捕捉运动目标的图像和光谱信息,而且可以大幅提高系统的空间分辨率和信噪比,有利于在精细测量领域中应用。

    一种金属网栅频率选择表面结构及制作方法

    公开(公告)号:CN104834040A

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201510262957.8

    申请日:2015-05-21

    Inventor: 韩余 金鹏

    CPC classification number: G02B5/18 G02B5/1847 H01P1/20

    Abstract: 一种金属网栅频率选择表面结构及制作方法属于光学窗技术领域;所述频率选择表面结构包括衬底,分布在衬底上的表面具有周期开孔阵列的透明网栅膜;制作方法首先在衬底上表面制作频率选择表面谐振单元掩模结构;并采用旋涂法涂覆含有水性丙烯酸树脂的裂纹甲油,形成掩模层薄膜;然后在特定条件下,将掩模液自然干燥形成裂纹模板;再在裂纹模板的表面沉积导电金属层;最后依次溶解裂纹模板、去除频率选择表面谐振单元掩模结构,得到金属网栅频率选择表面结构;本发明不仅避免因金属线宽增加而降低光学窗透光性能的问题,而且避免传统机械摩擦方式同时降低光学窗的透光性能和电磁屏蔽性能,还给出了解决高级次衍射能量分布不均匀问题的具体加工条件。

    一种检测与识别金属网栅缺陷的方法

    公开(公告)号:CN103886332A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201410131635.5

    申请日:2014-04-02

    Abstract: 一种检测与识别金属网栅缺陷的方法属于模式识别技术领域;该方法首先得到金属网栅设计信息,再基于先验信息进行缺陷模拟,得到多组缺陷图样,然后提取缺陷图样的图像特征,建立缺陷特征库,训练支持向量机,得到金属网栅的缺陷分类器;对待检测金属网栅图像进行预处理和特征提取,并利用得到的缺陷分类器对金属网栅进行分类;本发明检测与识别金属网栅缺陷的方法,可以实时、自动检测金属网栅的缺陷。

    一种快照光谱成像中基于模板的阵列图像配准方法

    公开(公告)号:CN103824289A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201410052688.8

    申请日:2014-02-17

    Abstract: 一种快照光谱成像中基于模板的阵列图像配准方法属于光谱成像技术领域,具体涉及一种图像快速配准方法;该方法以透镜阵列为核心的成像系统对预定模板成像,提取每个子透镜对应的模板子图;以处于透镜阵列中心的子透镜对应的模板子图作为参考图,标定其它所有模板子图,取得标定数据;将所有模板子图相对于参考图做仿射变换,将仿射变换参数作为系统的配准参数矩阵;以透镜阵列为核心的成像系统对目标进行成像,提取CCD采集的每个子透镜对应的目标子图;利用配准参数矩阵对目标子图进行一对一变换,得到配准后的目标子图;利用配准后的目标子图计算得到目标光谱数据立方;本发明不仅可以提高配准速度,而且可以提高配准精度。

    一种基于偏振分光器的快照式成像光谱仪与成像方法

    公开(公告)号:CN103822715A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201410053302.5

    申请日:2014-02-18

    CPC classification number: G01J3/453 G01J3/0208 G01J3/2823 G01J3/447

    Abstract: 一种基于偏振分光器的快照式成像光谱仪与成像方法属于快照式成像光谱技术领域;该光谱仪在传统成像光谱仪的基础上,在准直镜和微透镜阵列之间设置有偏振分光器一,增加了成像臂光路;在光谱臂光路上,通过设置偏振分光器二,将传统单光路结构改变为平衡光谱臂和非平衡光谱臂的双光路结构;该成像方法,利用平衡光谱臂光电探测器及信号处理部件得到的干涉信号减去非平衡光谱臂光电探测器及信号处理部件得到的干涉信号,再经过去直流、切趾、相位校正和傅里叶变换处理,得到目标的图像和光谱信息;本发明不仅可以快速地捕捉运动目标的图像和光谱信息,而且可以大幅提高系统的空间分辨率和信噪比,有利于在精细测量领域中应用。

    一种可测竖直位移的三维光栅位移测量系统

    公开(公告)号:CN103644849A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310675316.6

    申请日:2013-12-12

    Abstract: 一种可测竖直位移的三维光栅位移测量系统涉及一种光栅位移测量系统;该测量系统包括单频激光光源、分光部件、偏振分光棱镜、测量臂四分之一波片、测量臂折光元件、参考臂四分之一波片、参考臂折光元件、二维反射式参考光栅、光电探测及信号处理部件和二维反射式测量光栅;所述二维反射式测量光栅和二维反射式参考光栅表面形貌相同,二维反射式测量光栅和二维反射式参考光栅的x方向周期和y方向周期均为d;所述测量臂折光元件和参考臂折光元件的x方向折光角度和y方向折光角度均为θi,且满足2dsinθi=±mλ;本发明不仅能够同时测量沿x轴、y轴、z轴三个方向的直线位移,而且相比已有技术该系统的z向位移量程得到了极大的扩展。

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