在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103060764B

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201310021022.1

    申请日:2013-03-08

    Abstract: 本发明在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法,涉及材料表面改性领域。所述方法:将金属材料进行表面抛光处理和清洗,放入磁控溅射炉内,氧化锌置于靶位,金属材料与氧化锌的极间距为3-5 cm;将磁控溅射炉抽真空至真空度为1.0×10-4Pa-5.0×10-4Pa,充入氩气至压强为1-10 Pa,清洗和活化金属材料;充入氧气和氩气的混合气体至压强为20-35Pa,溅射功率50-80W,磁控溅射炉内的温度至320-380°C,保温;关闭电源,将磁控溅射炉内抽真空,冷却至室温出炉。该方法工艺简单,生产成本低;ZnO薄膜在磨损过程中具有明显的发光特性,且摩擦系数低、耐磨性好。

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