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公开(公告)号：CN114505969A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210261719.5
申请日：2022-03-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种晶棒自动化运输装置及其方法，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
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公开(公告)号：CN114290230A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111675188.6
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了激光诱导等离子体辅助双面研磨透明材料的装置及方法，装置包括激光器、上磨盘、金属磨料、透明工件和下磨盘；该上磨盘、下磨盘都固装有上述的一激光器和一金属磨料，该上磨盘、下磨盘都设有贯穿的孔，该透明工件设在上磨盘和下磨盘间；该激光器发出激光束穿过孔并透过透明工件聚焦在金属磨料表面且产生等离子体，等离子体反向轰击透明工件表面以实现改性，通过上磨盘和下磨盘研磨加工透明工件表面。它具有如下优点：能有效消除机械加工表面损伤层，改善加工表面形状精度，既能有效保障加工零件表面达到纳米级表面粗糙度，又能保障整个零件表面达到亚微米级面型精度。
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公开(公告)号：CN111168485A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010086423.5
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
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公开(公告)号：CN110491814A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910721870.0
申请日：2019-08-06
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法，工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒；所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器；所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点：能自动上料-传送-下料，提高生产过程自动化，减少生产过程中的劳动力需求，提高传片效率，有利于降低生产成本。
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公开(公告)号：CN109764993A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910086662.8
申请日：2019-01-29
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法，通过双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的起偏臂发出的调制偏振光以透射模式垂直照射在被测样件表面，透过样件后进入检偏臂，并被检偏臂里的光谱仪接收得到透射后的椭偏光谱曲线，进而计算出被测样件的全穆勒矩阵；通过穆勒矩阵求得应力双折射相位差δ的大小和方向，结合被测样件的应力光学常数(c1-c2)求得被测样件的应力σ的大小；σ的表达式为： 其中，λ为被测样件透射光的中心波长，d为被测样件的厚度。上述的基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法，克服了目前衬底材料应力测量所存在的测量深度小以及测量精度低等问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108982274A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811156693.8
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮沿砂轮基体的轴向分布着多层不同粒径的磨料层。砂轮表面层与层之间设有凹槽，凹槽中安装金刚石压头；测力仪固定在高速平面磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于测力仪上，采用多层结构砂轮对试样表面进行粗磨、精密和抛光，以获得与砂轮表面曲率相同的光滑圆弧凹面，将金刚石压头安装在多层结构砂轮的凹槽螺纹孔中，通过砂轮的高速旋转和轴向进给运动，在抛光后的试样表面产生固定切深的划痕。测力仪通过信号放大和数据采集获得试样划擦力数据。本发明可实现固定切深的高速单点划擦试验，装置简单，使用方便，对研究高速磨削材料去除机理具有重要意义。
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公开(公告)号：CN108044500A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201810035153.8
申请日：2018-01-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了基于仿生植物脉络的研磨盘，包括层叠设置的基体层和工作层；所述工作层仿生于各种不同的植物叶片脉络分布设置有沟槽结构，并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽；所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸，并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布；所述副沟槽位于相邻两个主沟槽之间，并且所述副沟槽具有多个连接主沟槽或工作层边缘的分支末端，并且具有多个分支脉络交汇端，本发明还提供了上述研磨盘的制作方法。上述的研磨盘由于根据植物脉络传输的原理使得沟槽分布的均匀性好，在研磨过程中研磨液分布更加均匀，利于研屑的及时排出，防止研磨盘堵塞磨损，从而提高研磨加工的质量和效率。
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公开(公告)号：CN106217235B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201610572926.7
申请日：2016-07-20
Applicant: 华侨大学 , 福建晶安光电有限公司
Abstract: 本发明公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工方法，它通过对双面研磨后的晶片进行第一次腐蚀‑粗抛‑第二次腐蚀‑精抛复合加工，即先通过强酸腐蚀以在较短时间去除双面研磨所产生的损伤层，接着通过粗抛较短时间，以在晶片表面重新产生一层较小的损伤层，再次通过强酸腐蚀后，以使晶片表面已较为光滑，最后只需通过较短时间的精抛即可获得符合要求的超光滑、无损伤的晶片表面，能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面，大大提高了蓝宝石晶片抛光效率，可在提高加工速率的前提下降低生产成本，同时提高产品优良率。
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公开(公告)号：CN106725943A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710063553.5
申请日：2017-02-03
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: A61C13/0019 , A61C11/025 , A61C2204/00
Abstract: 本发明公开了一种适用于3D打印牙模的咬合架，构造简单，操作简便，可实现3D打印个性化牙模的装夹定位，模拟上下颌骨运动过程中的牙齿咬合，方便技工的装配操作和拆卸操作，提高工作效率，制作优良的修复体。
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