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公开(公告)号：CN113343520B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202110578205.8
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京大学
IPC: G06F30/23 , G06F119/08
Abstract: 本申请实施例提供一种硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质，涉及微机电传感器技术领域，采用本申请提供的硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法，按照晶向角优化步长增加谐振式传感器的晶向角进行搜索，对于每一次搜索，在多个测试温度下对所述谐振式传感器进行模态仿真，获取在该晶向角下的谐振频率温度变化量，搜索完成后汇总谐振频率温度变化量找到最优晶向角。本申请可以高效、便捷地确定使硅谐振式传感器频率温度漂移最小的加工晶向，提升传感器的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN108955663B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201710366979.8
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容。内环框架内通过驱动折叠梁与中心轴相连，内环框架外通过检测X轴扭转梁与外环框架相连，外环框架外通过检测Y轴扭转梁与检测质量块相连。内环框架的内测和外侧分别连接驱动反馈梳齿电容的可动电极和驱动梳齿电容的可动电极。各梳齿电容的固定电极连接在衬底上，检测电容的可动电极连接在检测质量块上，固定电极连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可用于实现单质量块双轴陀螺，并可以实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN114129903A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111249046.3
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京大学(天津滨海)新一代信息技术研究院
IPC: A61N5/00
Abstract: 本发明涉及一种热疗恒温系统及设备，属于热疗领域，其包括线圈、储水箱、进出水路和循环泵，所述储水箱内储存有冷却液体；所述进出水路的一端与所述线圈配合，所述进出水路的另一端与所述储水箱连接；所述循环泵设置在所述储水箱内，所述循环泵设置成驱动所述冷却液体循环至所述线圈，以使所述冷却液体与所述线圈热接触。本发明具有解决对线圈进行温度控制，有效保证热疗过程的安全性问题的效果。
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公开(公告)号：CN113138292A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010050723.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 北京大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种电容式微机械加速度计，它包括衬底、固支框架结构、敏感质量块框架结构、在衬底上固定固支框架结构的锚点、在衬底上固定加速度计敏感质量块框架结构的锚点、连接固支框架结构与敏感质量块框架结构的单自由度弹性梁、连接敏感质量块框架结构与锚点的单自由度弹性梁、检测电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于加速度计敏感质量块框架结构的可动电极组成。本发明由于采用轴对称结构并将可动结构锚点置于同一条对称轴上，可以使加速度计性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应用于各种领域中物体线加速度的检测中。
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公开(公告)号：CN112444240A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201910811367.4
申请日：2019-08-30
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种用于硅微环形谐振陀螺的刚性主轴的定位与激光平衡匹配算法，包括正交耦合调零、模态频率匹配，刚性主轴定位、激光平衡匹配，四个步骤。加工不完美的环形陀螺存在一个刚度较大的刚性主轴，可以利用电学方法，求解得到刚性主轴的位置，并在谐振环的内侧的相应位置通过激光修调的方法去除小质量块，改变陀螺驱动轴和检测轴刚度失配的情况。这个算法可以从根本上消除硅微环形陀螺加工后的不对称和不完美，平衡匹配后的环形谐振陀螺的正交耦合误差将被彻底抑制，陀螺将工作在驱动模态和检测模态频率相等的匹配状态，可以实现的高精度、高稳定性的角速度检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112444239A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201910811280.7
申请日：2019-08-30
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种可以消除杨氏模量不对称的几何补偿式(100)硅微环形谐振陀螺，它由固定电极、锚点、中心轴、支撑梁，谐振环、衬底、电极引线组成。衬底、电极引线与其余部分的制造材料分别为7740玻璃、铬/金混合物与(100)单晶硅。陀螺的支撑梁有八根且等效刚度相同并沿圆周均匀分布，每两根之间互成45度，又分别与单晶硅的[110]和[100]晶向及其反向延长线互成22.5度。陀螺的谐振环为非等宽谐振环，在不同的位置增减小质量块以完成等效刚度的补偿。固定电极共有十七个，分别为一个中心电极、两个驱动电极，两个驱动检测电极，两个力平衡电极，两个敏感检测电极，八个静电调谐电极。本发明从设计上补偿了(100)硅材料的不对称，实现了环形陀螺的模态匹配。
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公开(公告)号：CN111693037A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201910187974.8
申请日：2019-03-13
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明提供一种硅微鸟盆式谐振陀螺仪及其制备方法，陀螺仪包括顶层打孔玻璃引线盖板，中间层单晶硅结构层和底层玻璃衬底。单晶硅结构层包括中心支撑柱、鸟盆式谐振子，十六个固定的电容式电极；打孔玻璃盖板包括一个中心引线电极和十六个按圆周均匀分布的引线电极，用于引出结构层信号。玻璃衬底淀积有吸气剂，用于真空封装。制备过程中，先由深硅刻蚀确定中心支撑柱位置，然后各向同性腐蚀得到硅微鸟盆式模子，接着在模子上沉积氧化硅牺牲层和多晶硅结构层，释放牺牲层后得到硅微鸟盆式谐振子。引线盖板和玻璃衬底通过阳极键合与单晶硅基底封装在一起。本发明通过传统半导体的工艺完成了硅微鸟盆式谐振陀螺仪的制造，具有批量化、低成本等优点。
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公开(公告)号：CN111689458A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201910187975.2
申请日：2019-03-13
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种高深宽高对称性高表面光滑度硅微半球曲面的制备系统及其工艺方法，其步骤为：采用热氧化的二氧化硅和低压力化学气相淀积低应力氮化硅为掩膜，通过深反应离子刻蚀开槽，使用体积比为3∶7∶1的HNA溶液(HF浓度为49％，HNO3浓度为70％，CH3COOH浓度为99.8％)，在30摄氏度恒温下，让硅片以20转每分钟的速度在溶液中进行各向同性腐蚀。腐蚀速率约为4μm/min，各向同性深度可达400μm以上，腐蚀结果的二维圆周不对称度可控制在0.5％以内，腐蚀后硅表面粗糙度小于10nm。该方法具有加工周期短，设备简单易用，加工效果好等优点，为后续制备高对称性、高表面光滑度和大深宽尺寸要求的微半球谐振子，微半球陀螺，微半球沟道，微半球透镜提供了良好的技术基础。
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公开(公告)号：CN111293210A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811491104.1
申请日：2018-12-07
Applicant: 茂丞科技(深圳)有限公司 , 北京大学深圳研究生院
IPC: H01L41/04 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/23 , H01L41/25 , G06K9/00
Abstract: 一种晶圆级超声波芯片模块，包含基板、复合层、传导材料以及底材，基板具有贯通槽，贯通槽连通基板的上表面及基板的下表面，复合层位于基板上，复合层包括超声波体及保护层，超声波体位于基板的上表面且贯通槽暴露出超声波体的下表面，保护层覆盖超声波体及部分的基板的上表面，保护层具有开口，开口暴露出部分的超声波体的上表面，传导材料位于开口内且接触超声波体的上表面，底材位于基板的下表面且覆盖贯通槽，以使贯通槽、超声波体的下表面与底材的上表面之间形成空间。
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公开(公告)号：CN109472182A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201710803335.0
申请日：2017-09-08
Applicant: 茂丞科技(深圳)有限公司 , 北京大学深圳研究生院
IPC: G06K9/00
Abstract: 一种超声波模块及其制造方法，该超声波模块包含基底、复合层、以及覆盖层。基底具有上表面。复合层具有顶面、底面及内陷于底面的内凹面。底面位于基底的上表面上，内凹面与上表面之间形成至少一空间。复合层具有至少一第一沟槽，第一沟槽由顶面朝内凹面延伸。第一沟槽将复合层区隔为电路结构与连接电路结构的超声波结构。覆盖层结合复合层的顶面。
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