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公开(公告)号：CN108955663B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201710366979.8
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容。内环框架内通过驱动折叠梁与中心轴相连，内环框架外通过检测X轴扭转梁与外环框架相连，外环框架外通过检测Y轴扭转梁与检测质量块相连。内环框架的内测和外侧分别连接驱动反馈梳齿电容的可动电极和驱动梳齿电容的可动电极。各梳齿电容的固定电极连接在衬底上，检测电容的可动电极连接在检测质量块上，固定电极连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可用于实现单质量块双轴陀螺，并可以实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN110702088B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201810742776.9
申请日：2018-07-09
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种轮式双轴微机械陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，驱动折叠梁，中心连接梁，内环框架，外环框架，多组扭转梁，检测质量块，驱动梳齿和驱动反馈梳齿。固定在衬底上的中心连接梁与内环框架连接，内环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，外环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，驱动折叠梁一端与外环框架连接，另一端固定连接在衬底上。检测质量块可以分别以X轴和Y轴为扭转轴进行面外扭摆运动，实现差分检测。本发明可同时检测两个轴的角速度输入，对线加速度不敏感、机械耦合小、工艺过程简单，可以大批量生产，并且有利于和其他元器件集成惯性测量单元，应用于汽车、航空航天、军事等领域。
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公开(公告)号：CN110702088A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201810742776.9
申请日：2018-07-09
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种轮式双轴微机械陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，驱动折叠梁，中心连接梁，内环框架，外环框架，多组扭转梁，检测质量块，驱动梳齿和驱动反馈梳齿。固定在衬底上的中心连接梁与内环框架连接，内环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，外环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，驱动折叠梁一端与外环框架连接，另一端固定连接在衬底上。检测质量块可以分别以X轴和Y轴为扭转轴进行面外扭摆运动，实现差分检测。本发明可同时检测两个轴的角速度输入，对线加速度不敏感、机械耦合小、工艺过程简单，可以大批量生产，并且有利于和其他元器件集成惯性测量单元，应用于汽车、航空航天、军事等领域。
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公开(公告)号：CN108946655B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201710366980.0
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种单片集成惯性器件工艺兼容方法，该工艺兼容方法用于包含离面运动器件和面内运动器件的单片多轴集成惯性器件，离面运动器件包含离面检测部分和其他部分，其特征在于，工艺加工时通过多次刻蚀在体背面形成多个背腔和不同高度的台阶，离面运动器件的离面检测部分的结构层厚度与离面运动器件的其他部分的结构层厚度不同，离面运动器件的其他部分结构层厚度与面内运动器件结构层厚度相同。工艺加工中进行结构释放时，离面运动器件的其他部分结构层与面内运动器件的结构层同时被刻蚀穿。
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公开(公告)号：CN108955663A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201710366979.8
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容。内环框架内通过驱动折叠梁与中心轴相连，内环框架外通过检测X轴扭转梁与外环框架相连，外环框架外通过检测Y轴扭转梁与检测质量块相连。内环框架的内测和外侧分别连接驱动反馈梳齿电容的可动电极和驱动梳齿电容的可动电极。各梳齿电容的固定电极连接在衬底上，检测电容的可动电极连接在检测质量块上，固定电极连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可用于实现单质量块双轴陀螺，并可以实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN108946655A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201710366980.0
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00531 , B81C1/00563 , B81C2201/0132
Abstract: 一种单片集成惯性器件工艺兼容方法，该工艺兼容方法用于包含离面运动器件和面内运动器件的单片多轴集成惯性器件，离面运动器件包含离面检测部分和其他部分，其特征在于，工艺加工时通过多次刻蚀在体背面形成多个背腔和不同高度的台阶，离面运动器件的离面检测部分的结构层厚度与离面运动器件的其他部分的结构层厚度不同，离面运动器件的其他部分结构层厚度与面内运动器件结构层厚度相同。工艺加工中进行结构释放时，离面运动器件的其他部分结构层与面内运动器件的结构层同时被刻蚀穿。
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