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公开(公告)号：CN113649570B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202110490603.4
申请日：2021-05-06
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Inventor： 田尾幸树
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够容易地制造龟裂得到抑制的烧结体的烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法。本发明的一实施方式的烧结体的制造方法包括：形成包含金属粉末及金属氧化物粉末的原料粉末的造粒物的步骤、以及对所述造粒物进行煅烧的步骤，所述原料粉末包含Mn、Cu及Zn作为金属元素，所述原料粉末中的所述金属粉末的体积比率为28.0体积％以上，所述煅烧步骤中的烧结压力为20MPa以上。
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公开(公告)号：CN109804099B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201780061583.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Abstract: 本发明的实施方式，是对于包含具有缺损部(24)的铜制的基底(22)的背板(20)进行修补的方法，其中，包括如下工序：对于所述缺损部(24)的表面进行研磨的工序；在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部(24)并使之堆积的工序，所述修补用粒子中含有铜粒子和陶瓷粒子。
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公开(公告)号：CN111465713A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201980006346.3
申请日：2019-02-12
Applicant: 株式会社钢臂功科研
IPC: C23C14/34 , C01G25/00 , C04B35/457 , G11B7/2578 , G11B7/26
Abstract: 本发明的一实施方式为一种溅镀靶材，其包含锌(Zn)的氧化物、锡(Sn)的氧化物及锆(Zr)的氧化物，其中相对于氧(O)以外的所有元素，锌的含量AZn为超过0at％且50at％以下，锡的含量ASn为20at％以上且80at％以下，及锆的含量AZr为超过0at％且40at％以下，而且Zn的含量AZn满足下述式(1)；经测定的多个比电阻值中最大值相对于最小值的比为3以下，及所述比电阻值为5×10-1[Ω·cm]以下；而且所述溅镀靶材不含有铟(In)。AZn/(AZn+ASn)≦0.6·····(1)。
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公开(公告)号：CN110662727A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201880032263.7
申请日：2018-04-17
Applicant: 株式会社钢臂功科研
IPC: C04B35/453 , C04B35/01 , C23C14/34 , H01L21/363
Abstract: 本发明涉及一种氧化物烧结体，其中，金属元素包括In、Ga、Zn及Sn，且所述氧化物烧结体包含由InGaO3(ZnO)m(m为1～6的整数)表示的六方晶层状化合物，当将相对于所述氧化物烧结体中所含的除氧以外的全部金属元素而言的In、Zn及Sn的含量的比例(原子％)分别设为[In]、[Zn]及[Sn]时，满足式(1)～式(3)。[Zn]≧40原子％…(1)、[In]≦15原子％…(2)、[Sn]≦4原子％…(3)。根据本发明，即便在添加有大量Zn的In-Ga-Zn-Sn系氧化物烧结体中，也可抑制接合时的破裂的发生。
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公开(公告)号：CN110205591A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910619403.7
申请日：2016-04-20
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Inventor： 高木胜寿
Abstract: 本发明是一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107614745B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201680029641.7
申请日：2016-04-20
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Inventor： 高木胜寿
Abstract: 本发明是一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。
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公开(公告)号：CN109804099A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780061583.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Abstract: 本发明的实施方式，是对于包含具有缺损部(24)的铜制的基底(22)的背板(20)进行修补的方法，其中，包括如下工序：对于所述缺损部(24)的表面进行研磨的工序；在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部(24)并使之堆积的工序，所述修补用粒子中含有铜粒子和陶瓷粒子。
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公开(公告)号：CN109312448A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780033719.7
申请日：2017-05-16
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Abstract: 本发明涉及一种铝合金溅射靶材，其含有超过6原子％、17原子％以下的Cu，剩余部分包含Al及不可避免的杂质。根据本发明可提供一种有助于成膜速率的提高，且靶材的制造性优异的铝合金溅射靶材。
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公开(公告)号：CN109073514A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201680084115.0
申请日：2016-12-14
Applicant: 株式会社钢臂功科研
Abstract: 采用气体捕集器，依次在不同的定时使多个流路开闭阀进行开闭动作，该气体捕集器具备：收容蓄电设备的试验容器；设为低于试验容器的内压的多个样本容器；使试验容器和多个样本容器连通的多个连通流路；分别设于多个连通流路的流路中途的流路开闭阀。在与样本容器连通的流路开闭阀进行了开闭动作的定时将试验容器的内部气体吸引并捕集到各个样本容器。然后对每个样本容器分析在不同的定时捕集的内部气体。
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