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公开(公告)号：CN112290901B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202010923553.X
申请日：2020-09-04
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器封装结构及其制备方法，该结构包括：衬底、基板、压电振荡堆和金属键合层，所述压电振荡堆和金属键合层位于衬底与基板之间，且金属键合层绕设于压电振荡堆四周，是由设于衬底和基板上的金属柱交叉键合形成，在压电振荡堆与衬底之间具有第一空腔，是通过直接刻蚀或腐蚀衬底形成，在压电振荡堆与基板之间具有第二空腔，是通过释放牺牲层形成；所述压电振荡堆包括下电极、压电层和上电极。该结构由特定处理后的衬底部分及基板部分通过金属柱直接交叉键合，再释放牺牲层而制得，本发明的方法可以有效解决空气隙型体声波谐振器薄膜应力积累及质量差、器件易坍塌、工艺复杂等问题，可以提高器件性能和成品率。
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公开(公告)号：CN116232273A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211629761.4
申请日：2022-12-19
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种薄膜体声波器件的制备方法，包括在硅衬底上刻蚀第一空腔，在第一空腔内沉积牺牲层，在牺牲层和部分衬底上沉积第一电极，在第一电极和另一部分衬底上依次一次性沉积压电薄膜、第二电极和保护层，刻蚀直到漏出压电薄膜，同时刻蚀分别得到Q值提升结构和漏出第二电极，在压电薄膜薄膜上刻蚀出沉积通孔和释放孔，通过沉积通孔沉积第一金属pad层,使得第一金属pad层与第一电极相连，在漏出的第二电极上沉积第二金属pad层，通过释放孔腐蚀牺牲层得到第二空腔，从而得到薄膜体声波器件；通过物理刻蚀的方法从保护层上刻蚀Q值提升层，使得Q值提升层的刻蚀profile控制在80‑90°。本发还公开了利用该制备方法制备得到的一种薄膜体声波器件。
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公开(公告)号：CN115313903A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210921242.9
申请日：2022-08-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于垂直石墨烯阵列的摩擦纳米发电机制备方法，包括：通过PECVD方法在第一金属电极上生长垂直石墨烯阵列，然后再所述垂直石墨烯阵列上旋涂一层第一聚合物薄膜，烘干，固化后得到正性摩擦层；在第二金属电极上旋涂一层第二聚合物薄膜得到负性摩擦层，所述第二聚合物薄膜与第一聚合物薄膜的电负性相差较大；在正性摩擦层和负性摩擦层之间使用海绵或弹簧进行垂直组装得到接触‑分离式的摩擦纳米发电机。该制备方法简单、高效，且制备得到的摩擦纳米发电机具有较高的能量输出。
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公开(公告)号：CN112836165B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202110088520.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 国网宁夏电力有限公司 , 浙江大学
IPC: G06F17/11 , G06Q50/06 , H02J3/00 , G06F113/04
Abstract: 本发明提供了一种基于全纯嵌入的暂态稳定网络方程方法，包括取以实部和虚部表示的含有非线性负荷的节点电压方程、发电机电压方程，将二者进行联合消去电网电流，得到非线性网络方程；将非线性网络方程中引入全纯嵌入因子，使非线性网络方程中待求的电压变量为关于全纯嵌入因子的全纯函数；根据全纯函数形式非线性网络方程计算发电机虚拟电流展开项，并逐项求出电压变量各项系数；选取数值逼近方法，根据电压变量各项系数还原出电压变量。本发明可以解决恒功率负荷时负荷电流在时间上不同步的问题，通过多次求解相同系数矩阵的线性方程组得到目标变量解析表达式展开项的系数来还原目标变量，避开了需要求解非线性系统的问题。
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公开(公告)号：CN114301327A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111392176.2
申请日：2021-11-19
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种基于摩擦纳米发电机的自驱动无线传感系统，包括：信号源电路，用于将外部机械能转化为电能，以向整个系统输出电信号；所述信号源电路包括摩擦纳米发电机、机械开关和第一电容，所述摩擦纳米发电机、机械开关和第一电容之间通过串联连接；谐振信号生成与发射电路，与所述信号源电路并联或串联连接，以使得所述摩擦纳米发电机直接向所述谐振信号生成与发射电路供电；和接收电路，用于通过磁场耦合的方式接收所述谐振信号生成与发射电路发射的携带传感信息的谐振信号，并实时发送所述谐振信号至固定负载。该系统传感结果稳定，灵敏度高，能够实现实时无线传感。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113810018A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202111003699.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H03H9/17 , H01L41/253 , H01L41/312 , H03H3/02
Abstract: 本发明公开一种激光剥离方式制备单晶薄膜体声波谐振器的方法，该方法通过离子注入的方式，仅对单晶压电薄膜生长衬底进行处理或者对已经沉积单晶压电薄膜层后的单晶压电薄膜生长衬底进行处理，从而使单晶压电薄膜生长衬底表面形成缺陷层，然后再通过退火工艺，使所述缺陷层表面形成衬底修复层；最后在器件制备过程中，通过激光辐照，使所述缺陷层分解，从而实现衬底与器件的分离。本发明的方法可以解决单晶FBAR制备过程中衬底机械减薄带来的单晶薄膜损伤而严重影响器件性能的问题，且能够回收利用衬底，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN112836165A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110088520.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 国网宁夏电力有限公司 , 浙江大学
IPC: G06F17/11 , G06Q50/06 , H02J3/00 , G06F113/04
Abstract: 本发明提供了一种基于全纯嵌入的暂态稳定网络方程算法，包括取以实部和虚部表示的含有非线性负荷的节点电压方程、发电机电压方程，将二者进行联合消去电网电流，得到非线性网络方程；将非线性网络方程中引入全纯嵌入因子，使非线性网络方程中待求的电压变量为关于全纯嵌入因子的全纯函数；根据全纯函数形式非线性网络方程计算发电机虚拟电流展开项，并逐项求出电压变量各项系数；选取数值逼近方法，根据电压变量各项系数还原出电压变量。本发明可以解决恒功率负荷时负荷电流在时间上不同步的问题，通过多次求解相同系数矩阵的线性方程组得到目标变量解析表达式展开项的系数来还原目标变量，避开了需要求解非线性系统的问题。
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公开(公告)号：CN112290901A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202010923553.X
申请日：2020-09-04
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器封装结构及其制备方法，该结构包括：衬底、基板、压电振荡堆和金属键合层，所述压电振荡堆和金属键合层位于衬底与基板之间，且金属键合层绕设于压电振荡堆四周，是由设于衬底和基板上的金属柱交叉键合形成，在压电振荡堆与衬底之间具有第一空腔，是通过直接刻蚀或腐蚀衬底形成，在压电振荡堆与基板之间具有第二空腔，是通过释放牺牲层形成；所述压电振荡堆包括下电极、压电层和上电极。该结构由特定处理后的衬底部分及基板部分通过金属柱直接交叉键合，再释放牺牲层而制得，本发明的方法可以有效解决空气隙型体声波谐振器薄膜应力积累及质量差、器件易坍塌、工艺复杂等问题，可以提高器件性能和成品率。
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公开(公告)号：CN112184617A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010824727.7
申请日：2020-08-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本文提出的发明称为一种基于深度学习的脊椎MRI影像关键点检测方法。本发明公开了一种基于深度学习的脊椎MRI影像关键点检测方法，该方法首先利用深度目标检测网络检测定位脊椎MRI影像中的椎骨并识别出S1(骶1)作为定位脊椎，然后结合脊椎的结构信息过滤假阳性检测结果和判断各块椎骨的细粒度标签。随后利用关键点检测网络分别检测各块椎骨上下边界UA、UM、UP、LA、LM、LP共计六个关键点，再结合边缘信息确定修正各个椎骨的关键点位置，最后可开发成交互式的可视化MRI脊椎影像关键点自动标注软件。本发明可自动提取脊椎MRI影像的关键点，在医学影像分析、辅助医疗等方面有着巨大的应用价值。
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公开(公告)号：CN107308727B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201710533395.5
申请日：2017-07-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种聚丁二酸丁二醇酯复合碳源滤料及其制备方法和应用，聚丁二酸丁二醇酯复合碳源滤料，由以下质量百分数的组分构成：聚丁二酸丁二醇酯30～55％；竹粉和/或桂圆核粉40～69％；发泡剂0.05～5％。本发明中，将竹粉和/或桂圆核粉掺杂到PBS滤料中，不仅降低了滤料的价格，且竹粉的掺入改变了滤料表面的性能，使微生物更容易附着和生长，所以实现了反硝化滤池的快速启动。特别是竹粉和桂圆核粉共同的加入，能够产生协同作用，使微生物更容易附着和生长，具有更好的反硝化效果，大大降低了出水DOC。
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