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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106164779A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580018364.5
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/24 , G03F9/00 , G03F9/7088
Abstract: 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘的图案彼此随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。测量装置的反射光检测部设于多个描绘单元的每一个上，当检测到因投射光束的点光而从支承构件的支承面或基板反射的反射光时，基于当支承构件的基准标记位于多个描绘单元各自描绘的描绘线上时从反射光检测部输出的信号，来测量多个描绘线的配置关系。
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公开(公告)号：CN106133610A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580017855.8
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/24 , G03F9/00 , G03F9/7088
Abstract: 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。
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公开(公告)号：CN103380483B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201280007251.1
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/1214 , H01L2251/5338
Abstract: 基板处理装置，基板处理装置具备：第一处理装置，对形成为带状的薄片基板进行第一处理；第二处理装置，对进行前述第一处理后的前述薄片基板进行第二处理；基板搬送装置，具有将前述薄片基板从前述第一处理装置搬出于长边方向的搬出滚筒、及将被搬出滚筒搬出后的前述薄片基板搬入至前述第二处理装置的搬入滚筒；以及振动除去装置，设置于前述第一处理装置与前述第二处理装置之间，将被前述基板搬送装置搬送的前述薄片基板的振动除去。
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公开(公告)号：CN104203785A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201280072239.9
申请日：2012-12-17
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65H23/04 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/6776 , B65H18/103 , B65H23/185 , B65H23/198 , B65H2220/02 , B65H2513/102 , B65H2513/11 , B65H2801/61 , H01L21/67706 , B65H2220/01
Abstract: 一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。
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公开(公告)号：CN102741754A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201180007819.5
申请日：2011-02-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: G03F9/00
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70991
Abstract: 本发明的基板处理装置，具备：搬送部，将带状的片材基板搬送于第一方向；复数个处理部，对片材基板中与第一方向交叉的第二方向的复数个区间分别进行处理；以及载台装置，系对应复数个处理部的各个而设置、用以支承片材基板。
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