-
公开(公告)号:CN101960717B
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN200880127827.1
申请日:2008-03-04
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/173 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明的压电薄膜谐振器具有:基板(1);中间层(7),其配置在基板(1)上,由绝缘体形成;下部电极(3),其配置在中间层(7)上;压电膜(4),其配置在下部电极(3)上;以及上部电极(5),其配置在隔着压电膜(4)与下部电极(3)相对向的位置处,在下部电极(3)与上部电极(5)相对向的谐振部(8)的区域内,在基板(1)和中间层(7)上,或在下部电极(3)与中间层(7)之间形成有空隙(6),空隙(6)的区域包括在谐振部(8)的区域内。根据该结构,能够抑制振动能量从谐振区域散逸到基板,从而能够提高品质因数。
-
公开(公告)号:CN102273073B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN200980154141.6
申请日:2009-01-09
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/584 , H03H9/0095 , H03H9/542 , H03H9/60 , H03H9/706
Abstract: 滤波元件具有:相互级联连接的多个层叠滤波器(101、102),各个层叠滤波器具有上下层叠的多个压电薄膜谐振器,各压电薄膜谐振器具有压电膜和上下夹着所述压电膜的一对第1电极;以及电容器(40),其连接在多个层叠滤波器之中前级的层叠滤波器(101)的输入端子与多个层叠滤波器之中后级的层叠滤波器(102)的输入端子之间,所述前级和所述后级的层叠滤波器的输入端子所连接的所述压电薄膜谐振器(10a)和(20b)的激振方向相互反转。
-
公开(公告)号:CN101841313B
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN200910261058.0
申请日:2009-12-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/605 , H03H9/706 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置。该压电薄膜谐振器包括衬底、在衬底上设置的下电极、在下电极上设置的压电膜、以及在压电膜上设置的上电极。上电极的至少一部分和下电极的至少一部分通过压电膜彼此相对,并且上电极的外围的至少一部分是逆锥形的。
-
公开(公告)号:CN102957397A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201210298819.1
申请日:2012-08-21
Applicant: 太阳诱电株式会社
Inventor: 横山刚
CPC classification number: H03H9/02015 , H01L41/187 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供了声波器件。声波器件包括:基板;下电极,其位于基板上;压电膜,其位于下电极上,并且由c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6的氮化铝制成;以及上电极,其位于压电膜上,并隔着压电膜面对下电极。
-
公开(公告)号:CN101447276B
公开(公告)日:2012-06-06
申请号:CN200810149790.4
申请日:2008-09-27
CPC classification number: H05K1/0269 , H01F17/0013 , H01L23/544 , H01L23/645 , H01L27/016 , H01L28/10 , H01L2223/54426 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/19105 , H01L2924/3011 , H05K1/165 , H05K2201/0391 , H05K2201/09663 , H05K2201/09781 , H05K2201/2054 , H01L2924/00
Abstract: 一种电子器件,所述电子器件包括:基板;线圈,所述线圈具有螺旋形状,并设置在所述基板上;以及导电图案,所述导电图案设置在所述线圈内部,并具有高于所述线圈的表面的光学反射率的光学反射率,所述导电图案分割成多片。
-
公开(公告)号:CN1855711B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200610078162.2
申请日:2006-04-28
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
Abstract: 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜,以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域,并且该隔膜区域具有椭圆形状,并且,下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
-
公开(公告)号:CN101841313A
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN200910261058.0
申请日:2009-12-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/605 , H03H9/706 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块和通信装置。该压电薄膜谐振器包括衬底、在衬底上设置的下电极、在下电极上设置的压电膜、以及在压电膜上设置的上电极。上电极的至少一部分和下电极的至少一部分通过压电膜彼此相对,并且上电极的外围的至少一部分是逆锥形的。
-
-
-
-
-
-