声波器件
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102957397A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201210298819.1

    申请日:2012-08-21

    Inventor: 横山刚

    CPC classification number: H03H9/02015 H01L41/187 H03H9/173

    Abstract: 本发明提供了声波器件。声波器件包括:基板;下电极,其位于基板上;压电膜,其位于下电极上,并且由c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6的氮化铝制成;以及上电极,其位于压电膜上,并隔着压电膜面对下电极。

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