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公开(公告)号:CN102818832A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201210290833.7
申请日:2012-08-16
Applicant: 宁波大学
IPC: G01N27/407 , G01N27/409
Abstract: 本发明公开了一种多孔扩散障极限电流型氧传感器,包括氧泵层和多孔扩散障层,氧泵层为采用La1-xSrxGa1-yMgyO3-δ材料制成的陶瓷片,氧泵层的上、下表面分别制有正电极层和负电极层,正、负电极层分别引出有正电极引线和负电极引线,多孔扩散障层为采用Al2O3材料烧结而成的圆形陶瓷薄片,该多孔扩散障层同轴心一体连接在负电极层的下表面,多孔扩散障层的上表面与负电极层的连接间形成有裸露的环形上平面,该环形上平面上以及氧泵层、正电极层和负电极层的外圆周面上密封有封装层。其制造方法包括坯片制备、一次高温烧结、电极层印刷、二次高温烧结、成品再烧结等步骤。本发明制造工艺简单,性能稳定、测量范围广,具有检测精度高,响应时间短及使用寿命长的特点。
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公开(公告)号:CN102721729A
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN201110308226.4
申请日:2011-10-12
Applicant: 宁波大学
IPC: G01N27/409
Abstract: 本发明公开了一种采用8YSZ和Al2O3材质叠层制备的极限电流型氧传感器,包括相整体配制而成的正集电极、电解质层、负集电极、支撑层及连接层,其整体配制方法包括有以下步骤:准备步骤、电解层成型步骤、电解层固化步骤、支撑层成型步骤、支撑层固化步骤、集电极配置步骤、整体组装配对步骤、整体上釉步骤及整体固化步骤;整个过程采用分次成型、烧结再最终烧结流程,工艺流程设计合理,整个结构成型后可靠性强,结构牢靠;分次模块结构,易于对各个零件质量的有效控制,产品质量可控性强,利于提高整个构件的使用寿命;采用高温烧结炉高温烧结方法,工艺制作技术成熟,生产效率提高,可以实现批量化生产;外置独立电源和电流表,做到电流的实时监控。
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公开(公告)号:CN101718743A
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200910154372.9
申请日:2009-11-30
Applicant: 宁波大学
IPC: G01N27/41
Abstract: 本发明提供了一种混合导体致密扩散障型氧传感器的制备方法,制得的氧传感器包括电解质层、致密扩散层、封装层、和多孔的正、负集电极等构成。电解质层氧化锆材料构成,致密扩散障层由氧化锆和La1-xSrxMnO3组成的混合导体材料构成,封装层为玻璃釉,电解质层和致密扩散障层是通过放电等离子烧结技术直接烧结而成,多孔的正、负集电极层用丝网印刷直接印刷在复合材料的上下表面并烧结而成,封装层涂覆在复合多层陶瓷的边缘。由于本发明采用放电等离子烧结技术制作,所以所得传感器不存在起翘、开裂等问题,且重复性好,性能稳定,制作过程简单,制作周期短,体积小,快速响应等特点,适用于较宽氧浓度的检测。
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公开(公告)号:CN119374470A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202411306205.2
申请日:2024-09-19
Applicant: 宁波大学
IPC: G01B7/16 , G01B21/04 , G01K7/18 , G01H11/08 , C30B31/22 , C23C28/00 , C23C16/44 , C23C16/34 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C16/50
Abstract: 提供一种形变检测集成微纳传感器,衬底为SOI硅片,衬底包括从下到上依次层叠贴合设置的底层硅(1)、埋氧层(2)、顶层硅(3),顶层硅(3)上面设置检测单元,包括形变检测单元(4)、温度检测单元(5),还包括振动检测单元(6);形变的最终检测数值以形变检测单元(4)检测的形变参数为基础数据,同时以温度检测单元(5)检测到的温度参数与振动检测单元(6)检测的振动参数给形变检测单元(4)检测的形变参数提供补偿;还提供其制作方法与检测方法;本发明利用半导体的压阻效应来检测应变,显著提高测量灵敏度。
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公开(公告)号:CN118501386A
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202410662882.1
申请日:2024-05-27
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明涉及一种自来水水质检测微纳传感器、制备方法和检测方法,其中,自来水水质检测微纳传感器包括衬底,衬底的正面上敷设有余氯测试电极、pH测试电极、电导率测试电极、化学需氧量测试电极、温度测试电极、参比电极和流速测试与温度补偿模组,参比电极用作为余氯测试电极、pH测试电极提供基准电位,流速测试与温度补偿模组用于温度补偿和流速测试,衬底的背面上敷设有浊度测试电极;制备方法和检测方法则是该传感器的一种制作方法和一种使用该传感器检测水质的方法;通过本发明能够克服检测准确度上各参数会交叉干扰、同时温度与流速会显著影响测试结果等问题,检测结果精确,具有较好的使用价值。
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公开(公告)号:CN114414734B
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN202111571254.5
申请日:2021-12-21
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明涉及测试技术领域,公开了一种气氛自纠正的氧传感器燃烧式测试系统,包括燃烧模块、测试模块、控制模块、显示模块和报警模块;燃烧模块燃烧经数字质量流量控制器控制后通入的空气和丙烷;测试模块获取待测氧传感器的性能参数信息;控制模块控制燃烧模块和测试模块的运行;显示模块将控制模块接收到的待测氧传感器的性能参数信息和系统运行状态信息显示在人机交互界面上;报警模块在温度超出预设温度值或者发生丙烷泄漏时发出报警警告。本系统采用数字质量流量控制器并通过内置的Lambda仪反馈控制实现自动调整和纠正燃烧模块的燃烧状态及模拟尾气的Lambda值,并内置点火器和热电偶实现自动点火、关火,具有稳定性和可靠性。
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公开(公告)号:CN117760486A
公开(公告)日:2024-03-26
申请号:CN202311520049.5
申请日:2023-11-15
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明涉及一种SOI基压力温度集成微纳传感器及其制备方法,其中,压力温度集成微纳传感器包括从上至下依次设置的绝缘层、金焊盘、温度敏感层和SOI顶层压阻敏感层、SOI埋氧层、SOI衬底层、玻璃层,金焊盘作为引出电极且与温度敏感层电连接,温度敏感层位于SOI顶层压阻敏感层的外围,SOI衬底层形成开口向下的空腔,SOI衬底层与玻璃层通过硅玻璃键合;此外还提供了该压力温度集成微纳传感器的一种制作方法;该压力温度集成微纳传感器具有高效实现电隔离、耐高温、使用寿命长的显著优点。
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公开(公告)号:CN109765277B
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN201910114416.9
申请日:2019-02-14
Applicant: 宁波大学
Abstract: 提供一种用于检测水中重金属的微纳传感器及其制作方法,包括键合成一体的硅基片(21)与玻璃基片(1),玻璃基片(1)键合面上分别设置消解电极(3)及其阴极铂对电极(4)、检测电极(10)及其检测对电极(9)与Ag/AgCl参比电极(7),消解电极(3)包括消解基层与消解微柱阵列,检测电极(10)包括检测基层与检测微柱阵列,硅基片(21)键合面上在以上各电极相对应位置分别开设消解池(20)、阴极电极池(16)、检测池(19)、储液腔(17);构建水样消解处理和检测一体化微芯片,实现现场实际水样中重金属快速手持式检测和分析。
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公开(公告)号:CN114414734A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202111571254.5
申请日:2021-12-21
Applicant: 宁波大学
Abstract: 本发明涉及测试技术领域,公开了一种气氛自纠正的氧传感器燃烧式测试系统,包括燃烧模块、测试模块、控制模块、显示模块和报警模块;燃烧模块燃烧经数字质量流量控制器控制后通入的空气和丙烷;测试模块获取待测氧传感器的性能参数信息;控制模块控制燃烧模块和测试模块的运行;显示模块将控制模块接收到的待测氧传感器的性能参数信息和系统运行状态信息显示在人机交互界面上;报警模块在温度超出预设温度值或者发生丙烷泄漏时发出报警警告。本系统采用数字质量流量控制器并通过内置的Lambda仪反馈控制实现自动调整和纠正燃烧模块的燃烧状态及模拟尾气的Lambda值,并内置点火器和热电偶实现自动点火、关火,具有稳定性和可靠性。
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