电源系统
    72.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111052529B

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN201880056896.1

    申请日:2018-08-27

    Abstract: 本发明是一方面满足FRT必要条件,一方面使用共同的分散型电源来同时实现无停电电源功能及负荷平准化功能的电源系统,其包括:分散型电源(2),连接于用以自商用电力系统(10)对重要负荷(30)供电的电力线(L1);切换开关(3),设置在电力线(L1)上使电力线(L1)开闭;阻抗元件(4),在电力线(L1)上与切换开关(3)并联连接;电压检测部(5),检测较切换开关(3)更靠商用电力系统(10)侧的电压;以及控制部(6),当电压检测部(5)的检测电压变为稳定值以下时开放切换开关(3),将分散型电源(2)与商用电力系统(10)经由阻抗元件(4)加以连接;且分散型电源(2)继续进行包含逆潮流的运转。

    薄膜晶体管的制造方法
    73.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116324019A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202180063924.4

    申请日:2021-11-22

    Inventor: 酒井敏彦

    Abstract: 一种薄膜晶体管的制造方法,包括:等离子体处理工序,使用包含氮及氧的混合气体作为工艺气体来对半导体层的表面进行等离子体处理;以及绝缘层形成工序,使用包含SiF4、氮、氧及氢的混合气体作为工艺气体,通过等离子体CVD法,在所述等离子体处理后的半导体层之上形成绝缘层。

    等离子体控制系统以及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN111886936B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN201980020153.3

    申请日:2019-03-15

    Inventor: 岩苔翼

    Abstract: 本发明提供一种等离子体控制系统以及计算机可读存储介质,等离子体控制系统包括:高频电源;第一天线,一端部与高频电源连接;第二天线,一端部与第一天线的另一端部连接;第一电抗可变元件,设置于第一天线与第二天线之间;第一电抗可变元件的第一驱动部;第二电抗可变元件,与第二天线的另一端部连接;第二电抗可变元件的第二驱动部;第一电流检测部,检测第二电抗可变元件的第二驱动部、以及第一天线的一端部的电流;第二电流检测部,检测第一天线与第二天线之间流动的电流;第三电流检测部,检测第二天线的另一端部的电流;以及控制装置,控制第一驱动部及第二驱动部。

    薄膜晶体管及其制造方法
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113169232A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980080222.X

    申请日:2019-12-04

    Abstract: 一种薄膜晶体管,在基板上依序配置有栅极电极、栅极绝缘层、氧化物半导体层、源极电极及漏极电极,所述薄膜晶体管的特征在于,所述氧化物半导体层自所述基板侧起依序具备第一半导体层与第二半导体层,所述第一半导体层与所述第二半导体层包括含有相互相同的构成元素的氧化物半导体膜,且构成所述第二半导体层的氧化物半导体膜的结晶性较构成所述第一半导体层的所述氧化物半导体膜的结晶性高。

    溅射装置
    76.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110709533B

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN201880036037.6

    申请日:2018-03-14

    Abstract: 本发明提供一种溅射装置,包括:真空容器,被真空排气,并且被导入气体;基板保持部,在真空容器内保持基板;靶材保持部,在真空容器内与基板相向而保持靶材;以及多个天线,在内部具有冷却液所流通的流路;并且天线包括:导体部件,至少两个,且呈管状;绝缘部件,设置于相互邻接的导体部件之间,使所述导体部件绝缘,且呈管状;以及电容元件,与相互邻接的导体部件电串联连接;电容元件包括:第一电极,与相互邻接的导体部件中的一者电连接;第二电极,与相互邻接的导体部件中的另一者电连接,并且与第一电极相向而配置;以及电介质,填满第一电极与第二电极之间的空间;并且电介质为冷却液。

    电源系统
    77.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112470358A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980048338.5

    申请日:2019-06-21

    Inventor: 柏原弘典

    Abstract: 本发明是一方面满足FRT必要条件,一方面在系统异常时也稳定地进行对于负载的电力供给的电源系统,其包括:分散型电源2,连接于用以自商用电力系统10对重要负载30供电的电力线L1;开闭开关3,设置在电力线L1上的较分散型电源2更靠商用电力系统侧;阻抗元件4,与开闭开关3并联连接;系统异常检测部5,检测商用电力系统10的异常;及开关控制部6,当检测到商用电力系统10的异常时,断路开闭开关3,将分散型电源2与商用电力系统10经由阻抗元件4加以连接;且在分散型电源2与商用电力系统10经由阻抗元件4而连接着的状态下,分散型电源2继续进行包含逆潮流的运行,分散型电源2具有旋转发电装置23及能量储存装置22,能量储存装置22具有:能量储存部221;双向电力转换器222,进行能量储存部221的充放电;及转换器控制部223,对双向电力转换器222进行控制来进行仿真旋转发电装置23的惯性力的动作。

    不断电电源装置
    78.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112106273A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201980031502.1

    申请日:2019-05-13

    Abstract: 本发明提供一种不断电电源装置,也可应对包括瞬时电压下降在内的电压下降及频率变动以外的各种系统异常。一种不断电电源装置100,设置于商用电力系统10与重要负载30之间,对重要负载30供给交流电力,所述不断电电源装置100包括:电源部2,包括与电力线L1连接的电力转换器22及蓄电池21,所述电力线L1是用以自商用电力系统10向重要负载30供电;断路开关3,在电力线L1上设置于较电源部2更靠商用电力系统一侧,使电力线L1断开或闭合;系统异常检测部5,检测系统异常,所述系统异常除了是包括瞬时电压下降在内的电压下降或频率变动中的至少一个以外,也是电压上升、相位变动、电压不平衡、高次谐波异常或闪烁中的至少一个,所述瞬时电压下降是在较断路开关3更靠商用电力系统一侧产生;以及控制部6,当检测到的系统异常是重要负载30或电源部2对系统异常的耐受量以上时,使断路开关3断路,而自电源部2向重要负载30供给交流电力。

    溅射装置
    79.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110709533A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201880036037.6

    申请日:2018-03-14

    Abstract: 利用天线高效率地产生溅射用的等离子体,并且使等离子体的均匀性提高而使成膜的均匀性提高。本发明包括:真空容器2,被真空排气,并且被导入气体;基板保持部3,在真空容器2内保持基板W;靶材保持部4,在真空容器2内与基板W相向而保持靶材T;以及多个天线5,在内部具有冷却液所流通的流路;并且天线5包括:导体部件51,至少两个,且呈管状;绝缘部件52,设置于相互邻接的导体部件51之间,使所述导体部件51绝缘,且呈管状;以及电容元件53,与相互邻接的导体部件51电串联连接;电容元件53包括:第一电极53A,与相互邻接的导体部件51中的一者电连接;第二电极53B,与相互邻接的导体部件51中的另一者电连接,并且与第一电极53A相向而配置;以及电介质,填满第一电极53A与第二电极53B之间的空间;并且电介质为冷却液CL。

    氧化还原液流电池
    80.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106463751B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201480078666.7

    申请日:2014-07-10

    Abstract: 本发明涉及一种氧化还源液电池,氧化还原液流型电池中所使用的正极电解液及负极电解液的pH值为2以上且8以下的范围内。对于正极电解液与负极电解液之间的隔膜,使用阴离子交换膜。阴离子交换膜是将具有阴离子交换性的取代基的单体接枝聚合至乙烯‑乙烯醇共聚物制的非多孔质基材而成。在使用pH值为2以上且8以下的范围内的电解液的情况下,对电池的零件所要求的耐化学品性得到缓和,因此能够避免使用昂贵的材料。

Patent Agency Ranking