公开(公告)号：CN1778478A

公开(公告)日：2006-05-31

申请号：CN200510114268.9

申请日：2005-10-21

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 末吉秀树 ,  矶明典

IPC: B08B1/04 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种可以不会发生轴心错位地沿处理槽的宽度方向来设置可旋转支撑刷子的两端的一对主轴的处理装置，其是通过设置在处理槽内的清洗装置(11)来处理在处理槽内搬送的基板的处理装置，其中，清洗装置包括：具有在同一垂直面上在水平方向上以规定间隔隔开的第一安装部(17)和第二安装部(18)的机架(12)、使轴线平行而在上下方向上配置的第一上部刷子(32)及第一下部刷子(33)、可旋转地支撑安装在第一安装部和第二安装部上的第一上部刷子的轴向两端部的一对第一主轴(27)、以及可旋转地支撑安装在第一安装部和第二安装部上的第二下部刷子的轴向两端部的一对第二主轴(28)。

公开(公告)号：CN1748878A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200510102881.9

申请日：2005-09-14

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 植木慎介 ,  西部幸伸 ,  矶明典

IPC: B08B3/10

Abstract: 本发明提供一种能用被加热到规定的温度的剥离液均匀地加热被倾斜输送的基板进行处理的基板的处理装置。这是一种利用加热至规定温度的处理液对被输送基板的表面进行处理的基板的处理装置，包括：以规定的角度使表面呈倾斜方向上侧而倾斜地输送基板的输送单元(1)；将处理液供给至由输送单元输送的基板的成为倾斜方向上侧表面的表面用喷嘴(14)；和将上述处理液供给至由输送单元输送的基板的成为倾斜方向下侧的背面的分支管(16)。

公开(公告)号：CN1705097A

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN200510074898.8

申请日：2005-06-03

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 西部幸伸 ,  矶明典 ,  原晓 ,  布施阳一

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/00

Abstract: 本发明提供一种在使基板倾斜后在处理腔室进行处理时，可有效地进行基板对处理腔室的移交的基板输送装置，具有：将以水平状态送来的基板倾斜到设定的倾斜角度后，移交到处理腔室(6)的搬入移交部(3)；接受在搬入移交部倾斜到设定角度的所述基板后，以该倾斜角度在所述处理部内输送的倾斜输送部(4)；和从倾斜输送部接受以设定的倾斜角度在所述处理部腔室内输送的处理过的基板后，恢复到水平状态的搬出移交部(5)，搬入移交部和搬出移交部的至少一方，由在沿基板的输送方向依次并列设置并可分别设定基板的倾斜角度而且按照长度尺寸以比基板的沿输送方向的长度尺寸短而设定的第一、第二搬入或者搬出输送机(31－34)组成。

公开(公告)号：CN1676231A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510068565.4

申请日：2005-03-29

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 末吉秀树 ,  矶明典 ,  丰岛范夫 ,  广濑治道 ,  高木慎一郎

IPC: B08B3/04 ,  B08B17/00

Abstract: 本发明提供了一种基板的处理装置，可以使腔内的气体相对该腔的宽度方向和长度方向均匀地排出。该装置具有装置主体(1)、传送辊(17)、主排气通道(6)以及多个分支排气通道(8)，其中装置主体(1)形成用处理液进行处理的腔(5a，5c)，传送辊(17)沿着上述腔内的预定方向传送基板，主排气通道(6)位于基板的上方，沿基板的传送方向设置在与基板传送方向相交叉的上述腔的宽度方向的中央部分上，分支排气通道(8)的一端连通上述主排气通道，另一端位于腔宽度方向的端部以形成抽吸腔内气体的抽气口(9)，并且分支排气通道(8)以主排气通道为中心在上述腔的宽度方向上对称地设置。