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公开(公告)号：CN204575680U
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201520290447.7
申请日：2015-05-07
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本实用新型公开了一种快速扫描原子力显微检测系统。它包括快速扫描原子力显微检测主体探头、光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块、计算机；光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块分别与快速扫描原子力显微检测主体探头、计算机连接。快速扫描原子力显微检测主体探头的X方向快速片状扫描器独立实现微探针的X方向快速扫描，Y方向快速扫描器独立实现样品的Y方向快速扫描，且Z方向反馈与Y方向扫描正交独立。本实用新型克服了常规型AFM的局限性，可实现微纳米样品的高速度、高精度、无畸变的快速扫描与原子力显微检测成像。
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公开(公告)号：CN202008549U
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201020573152.8
申请日：2010-10-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超高分辨率的光学显微成像装置。采用窄带滤光、环形孔径及暗视场照明相结合的特种照明及显微成像方法，同时设计了不同数值孔径、透过率和滤色特性的环形透光孔径，实现对微纳米尺寸物质的超高分辨率和高对比度的显微成像。它具有LED照明光源、挡光板、环形透光孔、聚光镜、样品台、遮光圆片及显微物镜组成的高分辨率光学显微系统和CCD图像传感器、图像采集卡及计算机组成的显微图像采集、处理系统。本实用新型的优点是既保持常规光学显微镜的实时、直接、无扫描的成像观测方式，同时具有出色的分辨率和图像对比度。
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公开(公告)号：CN2617004Y
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03230939.2
申请日：2003-04-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B21/08
Abstract: 本实用新型公开了一种双元原子力显微镜检测头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本实用新型的双元原子力显微镜检测头可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN2535972Y
公开(公告)日：2003-02-12
申请号：CN02216356.5
申请日：2002-03-21
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本实用新型的表面弹性波马达具有定子、动子，其定子包括压电材料基片和设置在基片左、右两端的将高频激振电压转换成表面弹性波的换能器，在基片的两侧分别固定有直线导轨，动子为多触点动子，它包括沿直线导轨滑动的滑块和动子基板，在动子基板与滑块之间设有压簧片，在动子基板的底部有与定子基片表面接触的触点群。工作时，当在换能器上施加超高频激振电压时，触点群和压电基片表面质点将存在相互运动趋势，表面弹性波通过摩擦力推动多触点动子作直线运动。本实用新型的表面弹性波马达的优点在于结构简单、发热损耗小、效率高、噪音小、响应快、易于实现微型化和满足小步长、高速度和大推力的要求。
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公开(公告)号：CN202794222U
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201220297739.X
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/06
Abstract: 本实用新型公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本实用新型的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202631568U
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201220275151.4
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本实用新型公开了一种显微监控型可选区原子力显微成像装置。采用将光学显微监控与原子力显微镜（AFM）显微成像相结合以及将AFM扫描器与二维步进微动台相结合的方法，实现AFM扫描区域的显微监控及可选区AFM成像。它具有由激光器、半透半反棱镜、微探针、位置敏感元件、样品、样品台、扫描器、显微物镜、CCD、二维步进微动台等组成的AFM探头，以及由前置放大器、XY扫描与Z反馈控制单元、XYZ高压放大模块、步进控制模块、视频采集模块、计算机及硬件接口等组成的AFM成像与控制系统。本实用新型的优点是：实现微纳米样品扫描区域的实时监控与选区，可监控光路的调节与对准以及样品与微探针的逼近过程，克服了常规AFM技术在这些方面的随机性、盲目性和局限性。
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公开(公告)号：CN202599978U
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201220275149.7
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本实用新型公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本实用新型的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。
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公开(公告)号：CN202285373U
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201120372294.2
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种激光诱导表面波马达。由脉冲激光、压电晶片定子、基底、聚焦透镜、配重块、第二动子、不锈钢微珠、导向杆、第一固定块、第二固定块构成直线型马达。由包括脉冲激光、聚焦透镜、固定轴、透明有机玻璃转子、环形压电晶片定子、微沟槽、周边开孔转子构成旋转型马达。本实用新型的激光诱导表面波马达实现了真正意义上的激光直接驱动新方法，具有结构简洁、速度快、步距小、推动力(矩)大、无需叉指电极、无需导线连接、不受电磁干扰、可实现非接触控制和遥控、马达主体可微小化等优点。
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公开(公告)号：CN202008492U
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201120018378.6
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光学显微－原子力显微双探头成像装置。它包括原子力显微探头、光学显微探头、第一滑动块、第二滑动块、光学平台、Y向步进电控平移台、样品台、待测样品、第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁、X向步进电控平移台；原子力显微探头和光学显微探头分别固定在第一滑动块和第二滑动块上，然后安装在X向步进电控平移台上，X向步进电控平移台固定在支撑梁上，光学平台上依次安装有Y向步进电控平移台和样品台，以及由第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁构成的支撑架。本实用新型可以同时解决大范围的实时光学显微观察和局部的高分辨纳米结构和性能的观察和测量。
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公开(公告)号：CN201429627Y
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200920124491.5
申请日：2009-07-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本实用新型的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
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