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公开(公告)号：CN214992011U
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202120341225.9
申请日：2021-02-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。炉盖组件包括：盖板，盖板形成有液槽，液槽的底壁上设置有支撑件；护套，护套支撑于支撑件上并盖住液槽，以使护套与盖板之间形成液体流道，支撑件将液体流道分成第一流道以及第二流道，且支撑件设有连通第一流道与第二流道的通口，护套设有与第二流道连通的进液口、以及与第一流道连通的避让孔；以及排液筒，排液筒设置于液槽的底壁上并穿设于避让孔，且排液筒的外壁与避让孔的孔壁密封配合，排液筒设有与第一流道连通的第一排液口以及与第一排液口连通的第二排液口，第二排液口位于液体流道的外部。上述的炉盖组件可以避免因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。
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公开(公告)号：CN214937967U
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202120349561.8
申请日：2021-02-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备，自动开盖炉包括：炉本体，炉本体包括炉身以及设置于炉身上的炉盖组件，炉盖组件与炉身可拆卸连接；以及开盖机构，开盖机构包括驱动源、与驱动源驱动连接的传动组件以及与传动组件传动连接的开盖臂组件，开盖臂组件与炉盖组件连接，驱动源用于驱动传动组件运动，以使开盖臂组件带动炉盖组件靠近或远离炉身；其中，传动组件包括能够受驱动源控制而自转的丝杠、与丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于丝杠外并与丝杠相间隔的升降轴，升降轴的一端与螺母固定连接，另一端与开盖臂组件固定连接。上述的自动开盖炉无需人工手动开盖，可以避免因炉内高温而烫伤。
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