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公开(公告)号:CN213353238U
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN201821691984.2
申请日:2018-10-18
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本实用新型公开了一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备,包括微滴喷射装置、采集液滴成膜过程图像的图像采集装置及控制成膜设备工作的中控单元;所述的微滴喷射装置包括喷头、基板及运动机构,所述的基板设于运动机构的运动台上;所述的图像采集装置包括显微镜及高速相机。本实用新型装置能够实时监测液滴沉积成膜过程,通过观察监测到的液滴沉积形成图像,获取成膜过程信息,作为后续工作的基础或者获取经验数据。
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公开(公告)号:CN204746662U
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:CN201520467027.1
申请日:2015-07-02
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本实用新型公开了一种基于热释电效应的纳米喷射-微纳复合喷射装置。该纳米喷射装置包括喷射机构、热释电晶体、压力源、热源以及控制机构,该装置通过热释电晶体在热源作用下产生电场,将溶液拉出形成纳米级液滴,其可避免传统纳米喷射装置上直接施加电场所需的高电压和复杂电路引起的诸多问题。该微纳复合喷射装置还增加了传统喷射装置的压电机构,当需制作微米级液滴时,断开热源,即可采用进行微米级喷射,从而实现微纳米的复合转换。
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