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公开(公告)号：CN110560280A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910835776.8
申请日：2019-09-05
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明公开了一种多喷嘴喷头微滴喷射设备，包括多喷嘴喷头、工作台、XY轴移动装置、Z轴移动装置、溶液箱、支撑架以及控制系统；该多喷嘴喷头安装在Z轴移动装置上，且其位于该工作台上方，该工作台安装在XY轴移动装置；该支撑架用于安装各部件；所述的多喷嘴喷头包括主体、芯轴、电机及多喷嘴结构，其内容设有由溶液流入孔、环槽、溶液流出孔及喷嘴通道组成若干溶液通道，溶液通道的出口设有喷嘴，各喷嘴环形均布设置。这种外部固定内部旋转的设计，使溶液输入口固定，而输出端以旋转方式进行喷涂材料更换，简化了传统多喷头机构的复杂性，操作简单，又可避免传统多喷头装置在喷头转换过程中出现的溶液供给管扭管和定位不准等诸多问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110560280B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201910835776.8
申请日：2019-09-05
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明公开了一种多喷嘴喷头微滴喷射设备，包括多喷嘴喷头、工作台、XY轴移动装置、Z轴移动装置、溶液箱、支撑架以及控制系统；该多喷嘴喷头安装在Z轴移动装置上，且其位于该工作台上方，该工作台安装在XY轴移动装置；该支撑架用于安装各部件；所述的多喷嘴喷头包括主体、芯轴、电机及多喷嘴结构，其内容设有由溶液流入孔、环槽、溶液流出孔及喷嘴通道组成若干溶液通道，溶液通道的出口设有喷嘴，各喷嘴环形均布设置。这种外部固定内部旋转的设计，使溶液输入口固定，而输出端以旋转方式进行喷涂材料更换，简化了传统多喷头机构的复杂性，操作简单，又可避免传统多喷头装置在喷头转换过程中出现的溶液供给管扭管和定位不准等诸多问题。
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公开(公告)号：CN211334585U
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201921468943.1
申请日：2019-09-05
Applicant: 厦门理工学院
IPC: B29C64/112 , B29C64/209 , B33Y30/00
Abstract: 本实用新型公开了一种多喷嘴喷头，包括主体、芯轴、电机及多喷嘴结构；该芯轴安装在该主体的中空腔内，在该主体与芯轴之间设有若干间隔设置的环槽，各环槽之间互不相通；该主体的外壁内设有溶液流入孔；该芯轴内设有溶液流出孔；所述电机的旋转轴与所述芯轴相连接；所述的多喷嘴结构固定安装在所述芯轴下方，该多喷嘴结构内设有若干喷嘴通道；所述溶液流入孔、环槽、溶液流出孔及喷嘴通道的数量相同，且依序相通，并组成若干溶液通道。这种多喷嘴喷头各喷嘴均设置独立的材料供给口及溶液通道，实现了多材料的喷射，且该结构简化了传统多喷头机构的复杂性，又可避免传统多喷头装置在喷头转换过程中出现的溶液供给管扭管和定位不准等诸多问题。
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公开(公告)号：CN213353238U
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201821691984.2
申请日：2018-10-18
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本实用新型公开了一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，包括微滴喷射装置、采集液滴成膜过程图像的图像采集装置及控制成膜设备工作的中控单元；所述的微滴喷射装置包括喷头、基板及运动机构，所述的基板设于运动机构的运动台上；所述的图像采集装置包括显微镜及高速相机。本实用新型装置能够实时监测液滴沉积成膜过程，通过观察监测到的液滴沉积形成图像，获取成膜过程信息，作为后续工作的基础或者获取经验数据。
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公开(公告)号：CN209020363U
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201821693412.8
申请日：2018-10-18
Applicant: 厦门理工学院
IPC: B01J19/00
Abstract: 本实用新型公开了一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板；所述运动台的上方设有工作腔；所述成膜装置还设有pH调节装置，该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置，该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道，该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。本实用新型可实现在外部对喷射出的微滴进行pH调节，从而在成膜过程中对pH值的控制，进而完成均匀沉积薄膜，图案成型的要求。
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