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公开(公告)号：CN104777330A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201410014008.3
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明单岛多电极石英加速度计属于利用多电极石英力敏谐振器为敏感核心元件进行线加速度测量的领域。这种加速度计将加速运动时所产生的惯性力作用到多电极石英力敏谐振器，通过检测谐振器谐振频率的变化量得到对应的待测加速度。这种加速度计由底座、外壳、电路板、敏感元件及航空插座组成。底座与外壳构成密闭腔体，敏感元件安装在底座上，电路板安装在敏感元件上，插座安装在外壳上。敏感元件的单岛基座和密封罩紧密配合构成密封腔体，腔体内中央单岛的两则安装多电极石英力敏谐振器，单岛基座及中央单岛由一体加工而成，单岛基座上装有限位螺钉。该加速度计测量范围为10-4g～102g，可用于飞行器、车辆、舰船等的检测控制系统。
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公开(公告)号：CN114034880B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202111387670.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
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公开(公告)号：CN118603347A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202411008893.4
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种五边辐式柔性温压双模态传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性衬底层和柔性封装层，衬底层的上表面设置有五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元；一个纵向分布的金属温敏薄膜作为压力检测单元；柔性衬底层设有空腔，且与封装层的密闭连接。五边辐式温敏薄膜的均匀分布可以有效地分散压力，减小局部应力集中所造成的测量误差，结构稳定性强。温敏薄膜采用MEMS技术进行加工制作，具有轻量化、造价低、制作工艺简单等优点，可广泛应用于可穿戴电子设备等领域。
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公开(公告)号：CN116625346A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668551.4
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，该独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺包括敏感层、和盖板；敏感层上表面有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽；四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个独立敏感单元，共两个独立敏感单元，用于敏感Z轴的角速度；盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间。本发明继承了MEMS热膨胀流陀螺的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。本发明采用独立敏感单元，使陀螺具有较高的灵敏度。本发明的敏感元件中无悬臂梁结构，具有良好的抗冲击性能、结构简单、成本极低、可靠性高等特点。
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公开(公告)号：CN113985057A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111389942.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器及其加工方法，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113985056A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111389930.7
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本申请公开了一种动热源Z轴微机械角速度传感器及其加工方法，该Z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
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公开(公告)号：CN113124846A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110560715.2
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种半桥式推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有一对加热器、一对热敏电阻、一对平衡电阻和一根隔离电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明由于其采用半桥式的推挽流，较其他工作原理的微型惯性传感器，其特点是灵敏度是单一工作臂的2倍，本发明采用推挽式热流，响应速度快，稳定性好；采用半桥，平衡电阻的阻值是热敏电阻的数百倍，有利于电压信号进一步放大时的阻抗匹配，防止干扰，抗干扰性强。
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公开(公告)号：CN113124845A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110560712.9
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种全桥式双推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有两对加热器、两对热敏电阻和一根隔离电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用全桥加双推挽式热流，四个电桥桥臂都参加工作，灵敏度是单臂的4倍，是灵敏度最较高的一种，其功耗不大；提取电路为等臂电桥，等臂电桥桥臂电阻变化和电桥输出不平衡电压的关系非线性度最小，陀螺的线性好。
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公开(公告)号：CN111623763A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010584311.2
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和四对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一矩形凹槽；两对加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN111595323A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584713.2
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四根加热器和六对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器、一对Z轴热敏电阻和一根X/Y轴热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的热流，这种对流式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度。
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