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公开(公告)号：CN105891041A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610216567.1
申请日：2016-04-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
CPC classification number: G01N5/02
Abstract: 本发明提供一种CO2传感材料性能的测试方法，为使用谐振式微悬臂梁作为质量型测试元件，将CO2传感材料负载于谐振式微悬臂梁的敏感区域，在一定温度下通入CO2气体，获得谐振式微悬臂梁的频率随谐振式微悬臂梁上吸附CO2气体量变化的实时测试曲线，然后进一步计算所述CO2传感材料的动力学参数，并由得到的动力学参数对所述CO2传感材料进行特性评估。该方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉，能够克服传统的反复试验方法存在工作量大、缺乏定量比较依据、测试价格高、材料用量多、测试气体的品种单一等缺点，可用于吸附型CO2传感材料的设计、评估与优化等。
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公开(公告)号：CN105067471A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510443118.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/00
Abstract: 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭，仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面，从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上，使敏感材料的固定实现批量化。
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公开(公告)号：CN105004626A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434139.1
申请日：2015-07-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度的氨类气体传感器，以谐振式微悬臂梁为质量型敏感检测平台，以高羧基含量（重量百分比为20%以上）的介孔纳米颗粒材料为敏感材料，依靠酸性基团与具有碱性的氨类气体之间存在的酸碱特异性吸附作用，获得灵敏度为ppb量级的氨类气体传感器。本发明采用共缩聚方法和后嫁接方法相结合制得高羧基含量的氨类气体敏感材料，其具有高羧基含量、高比表面积、短介孔孔道等优点，克服了传统的SBA-15型介孔粉末类氨气敏感材料存在的羧基含量少、比表面积小以及介孔孔道过长，使得氨类气体分子难以扩散至介孔孔道内部等缺点。本发明实施方案先进，可用于氨气、三甲胺以及甲胺磷等分子的高灵敏度检测，具有现实的应用意义。
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公开(公告)号：CN103991841A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410250429.6
申请日：2014-06-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法，包括步骤：1)提供一表面具有微通道和储液池的基底，生长第一自组装单层膜；2)提供一具有镂空结构的硬掩膜，对准后，利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域，使所述第一自组装单层膜的局部区域被氧化去除；3)在去除第一自组装单层膜的区域生长第二自组装单层膜。4)重复步骤2)，局部去除所述第一自组装单层膜的另一局部区域，并在这一区域生长第三自组装单层膜；5)继续重复上述去除和生长步骤，实现多重自组装单层膜在圆片级基底表面的集成生长。该方法可应用于多功能微流控芯片的批量制造，且材料制备简单成熟，易于操作，单次操作成本低廉，具有较强的推广及应用价值。
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公开(公告)号：CN103626193A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210306247.7
申请日：2012-08-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法，属于纳米功能材料制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（简称为CES，25wt%）为制造具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的关键原材料，以表面活性剂CTAB（十六烷基三甲基溴化铵）为模板剂，碱性环境下与TEOS（正硅酸乙脂）在适当的反应条件下反应，即制得具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102689869A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201110072710.1
申请日：2011-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微梁和敏感微梁，其中，驱动微梁作为驱动电阻，与驱动电源连接，敏感微梁作为敏感压阻，与所述参考电阻区所具有的多个电阻区共同形成电桥；所述驱动微梁与敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度。该结构工作在平面内谐振模态，通过激励微悬臂梁的平面内谐振模态可减少其在液体环境中工作的阻尼力，提高品质因数，进而改善传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN119818222A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411887049.3
申请日：2024-12-20
Applicant: 上海交通大学医学院附属第九人民医院 , 西安交通大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种集成MEMS传感器的正畸压力实时检测装置，包括多个封装于柔性印刷电路板上的内部终端系统和通过无线网络信号连接的外部主机系统，并将所述内部终端系统集成安装在隐形矫治器膜片内或者隐形矫治器树脂附件中，也可制作成独立的可用于正畸力测量的MEMS柔性膜片；其中，所述内部终端系统包括ASIC芯片组件和天线，所述ASIC芯片组件包括ASIC芯片和与所述ASIC芯片连接的MEMS传感器阵列；本发明具有以下有益效果：本发明利用体积小、易集成的MEMS传感器阵列能够同时对每个牙齿实现多点受力测量，而且通过MEMS传感器阵列采集用户牙齿的压力信息后将其发送给ASIC芯片，ASIC芯片将其信息发送至计算机上，从而能够在矫治过程中实时监测牙齿受力情况。
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公开(公告)号：CN117233230A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210641408.1
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/327 , G01N27/30 , G01N27/48
Abstract: 本发明提供一种碱性磷酸酶活性检测电极及其制备方法、用途，所述检测电极为三维多孔石墨烯材料，所述三维多孔石墨烯材料的孔径为0.1～3.0μm，比表面积为215～450m2/g。本发明利用激光直写技术原位生长三维石墨烯材料作为碱性磷酸酶活性检测电极，制备方法简单，而且保留了纳米材料的三维多孔结构，一方面能够使检测电极具有极大的比表面积，可大幅提升通过π‑π共轭作用吸附在石墨烯上的酶水解产物1‑萘酚的数量，另一方面使工作电极具有极高的电子转移速率，最终提升了检测的灵敏度与电极的检测性能。
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公开(公告)号：CN113267546B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202110545808.8
申请日：2021-05-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途，所述改性电极包括电极，所述电极的工作区域覆盖有复合材料层，所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极，基于电化学技术与丝网印刷电极，能够快速准确的检测液体中甲醛含量；测定方法简便快捷，无需复杂的仪器操作和前处理过程；检测成本低，甚至改性电极可一次性使用；检出时间快，仅需100秒就能完成测试；具有良好的灵敏度，可满足饮料中甲醛含量测试的要求。
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公开(公告)号：CN115955902A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211574807.7
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS热电堆器件及其制作方法，该器件包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜；隔热空腔位于单晶硅衬底内；多个单晶硅热偶对串联且悬设于隔热空腔之上，单晶硅热偶对包括N型热偶及P型热偶，串联后的多个单晶硅热偶对的一端作为热端，相对的另一端作为冷端；支撑膜位于单晶硅热偶对的上方以支撑单晶硅热偶对，热端及冷端分别位于支撑膜的中心区域及边缘区域。本发明的制作方法采用单面微加工方法从器件正面释放支撑膜和单晶硅热偶对以形成隔热空腔，使单晶硅热偶对悬浮于衬底之上，降低热耗散，提高传感器的温差检测灵敏度；此外，本发明的制作方法使得器件兼具良好的机械稳定性、批量制造一致性和低成本。
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