公开(公告)号：CN106356313A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610972493.4

申请日：2016-11-04

Applicant: 东南大学

Inventor： 孙伟锋 ,  杨翰琪 ,  薛颖 ,  叶然 ,  魏家行 ,  刘斯扬 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

CPC classification number: H01L22/30 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2608 ,  H01L22/14

Abstract: 一种横向绝缘栅双极型晶体管界面态的测试方法及5端口器件，横向绝缘栅双极型晶体管界面态的测试方法特征为，包括沟道区、鸟嘴区、多晶硅栅场板区及场板末端区电荷泵电流的测试，进行测试时，先在同一晶圆上目标器件旁边制造5端口器件，对辅助5端口器件进行系统搭建并设置测试条件，最后进行电荷泵电流测试操作；一种用于横向绝缘栅双极型晶体管界面态的测试方法的5端口器件，其特征为，包括一个电荷泵电子提供区和一个电荷泵专用测试电极，所述电荷泵电子提供区和阳极P+区并排处于N型缓冲区的上部，且单独与电荷泵专用测试电极相连；本发明可以解决传统方法不能测试横向绝缘栅双极型晶体管多晶硅栅场板区及场板末端区的界面损伤的问题。