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公开(公告)号：CN208330655U
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201820743366.1
申请日：2018-05-18
申请人： 南京华东电子真空材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种带有形状记忆合金弹簧的吸气剂泵，包括加热及固定组件、金属垫片、带孔的多孔吸气材料、底座、形状记忆合金弹簧；其中，多个带孔的多孔吸气材料通过金属垫片分隔开，串在加热及固定组件上，通过形状记忆合金弹簧和螺母固定，加热及固定组件固定在底座上。优点：1）形状记忆合金制成的弹簧放气速率明显小于传统弹簧钢的放气速率，有利于吸气剂泵获得更高的极限真空。2）避免传统弹簧钢在吸气剂泵反复再生激活时因退火而失去弹性的现象。3）直接使用带孔的多孔吸气材料，简化了多孔吸气材料的加工步骤。
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公开(公告)号：CN201092948Y
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200720070902.8
申请日：2007-06-11
申请人： 上海三井真空设备有限公司
发明人： 郑主安
IPC分类号： F04B37/04
摘要： 本实用新型公开了一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、箱体内安装有溅射离子泵，同时在箱体内还设置了固定形式放置的吸气剂，吸气剂为镀有锆、钒、钛合金的金属薄板，该吸气剂金属薄板在箱内与溅射离子泵相对的另一侧安放，并可多片成折摺平行排列，其横截面成开口矩形、开口梯形或圆弧形状；由于采用了特殊的吸气剂材料，其激活温度低，约为150℃，与超高真空烘烤除气温度相当，不必配备加热装置，吸气剂制成合理的形状与离子泵有机结合，因此本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵抽氢能力提高，故极限真空度大大提高，体积小，质量轻，抽速质量比大。
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公开(公告)号：CN218882457U
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202221355139.4
申请日：2022-06-01
申请人： 上海晶维材料科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种高强度自热型吸气剂，包括螺旋加热丝、加固套管、绝缘陶瓷体、吸气金属、多孔金属加固层；螺旋加热丝被绝缘陶瓷体包裹，绝缘陶瓷体整体被多孔金属加固层包裹，绝缘陶瓷体与多孔金属加固层之间填充有吸气金属；螺旋加热丝两端延伸出多孔金属加固层外侧，并在与多孔金属加固层交界处设置有加固套管。通过增加加固套管，可以大大提高加热丝与粉体接触部位的强度，避免加热丝根部在振动冲击中的破坏；表面的多孔金属加固层不损坏吸气性能又具有高强度，完全避免吸气剂振动冲击中的开裂、破坏、掉粉现象；同时，随着吸气材料尺寸的增大，螺旋加热丝大大提高了发热体快速升温与温度的均匀性，能够保证吸气材料有效、充分激活。
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公开(公告)号：CN218717317U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222837145.X
申请日：2022-10-26
申请人： 浙江博开机电科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及真空技术领域，公开一种便于快速再生的吸附阵及低温泵，包括吸附板(10)和活性炭(11)；吸附板(10)一体式，吸附板(10)包括顶板(101)和数量为多块的侧板(102)，所有侧板(102)环绕形成棱锥体，顶板(101)设在棱锥体的顶部，侧板(102)内、外侧壁上都吸附有活性炭(11)。相邻的侧板之间设有向外延伸的翅片(103)，翅片设在侧板(102)的外侧壁上，翅片(103)的两侧壁上都吸附有活性炭(11)。本吸附阵在满足氢气吸附的情况下，由于多面棱锥体的侧板的内外侧壁上都吸附有活性炭，其再生时间大大的缩短。本吸附阵利用率极高，满足抽气容量的情况下，大大减轻的吸附阵的质量。
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公开(公告)号：CN217682146U
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202221392754.2
申请日：2022-06-01
申请人： 上海晶维材料科技有限公司
发明人： 鲁涛
摘要： 本实用新型涉及一种用于空间氢原子钟上的大型轻量化吸附泵，属于真空领域。本发明的大型及轻量化吸附泵由无磁轻量的钛合金外壳、无磁轻量的吸附泵底盘、无磁轻量的吸附泵支架、无磁轻量的钛合金垫片、吸气剂片、吸气单元、加热装置构成；其中吸气单元为每组10个吸气剂片与无磁轻量的钛合金垫片相互间隔，装配于无磁轻量的吸附泵管状支架上，最终，将多个吸气单元集成于底盘上，管状支架内部的空心结构装有加热Ni‑Cr丝，用于吸气剂的加热激活。本实用新型一具有重量轻、体积小、清洁无油、吸气速率大抽速高、吸气量大使用寿命长、无磁性、无需额外电源持续供电。
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公开(公告)号：CN214660693U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202120794879.7
申请日：2021-04-19
申请人： 上海晶维材料科技有限公司
发明人： 向杰
IPC分类号： F04B37/04
摘要： 本实用新型公开了真空、电子元器件制造领域的一种高可靠大吸气量组装型吸气剂，包括多孔金属壳体、多孔金属盖、加热组件、吸气金属；所述多孔金属盖设置为倒凸形，所述多孔金属盖与多孔金属壳体上部镶嵌配合固定；所述加热组件包括加热体，还包括与加热体连接的加热棒；所述加热棒穿过多孔金属盖并插入多孔金属壳体内部，所述加热棒底部设置有加热体；所述多孔金属壳体内部填充有吸气金属。本实用新型通过采用预先制作的高强度高孔隙率金属壳体、吸气金属粉末和加热体，通过组装焊接成吸气剂，即可保持吸气金属粉末的巨大吸气量，又不会有吸气金属颗粒掉落，且能承受反复激活、振动、冲击而不会开裂。
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公开(公告)号：CN211598940U
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201922457811.5
申请日：2019-12-31
申请人： 有研工程技术研究院有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种吸气剂微泵，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本实用新型的吸气剂微泵提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211474384U
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201922316191.3
申请日：2019-12-21
申请人： 淄博水环真空泵厂有限公司
摘要： 一种真空泵用止回阀，属于真空泵配件技术领域。其特征在于：包括阀体（1）以及与阀体（1）转动连接的阀盖（3），阀体（1）为圆环状，阀盖（3）设置在阀体（1）一侧，并将阀体（1）内孔封闭，阀盖（3）为中部朝向远离阀体（1）的方向凸出的球形，阀盖（3）朝向阀体（1）的一侧设置有衬胶层（4）。本真空泵用止回阀的阀盖为球形，抗变形能力强，保证了与阀体之间密封效果好，在大的压差下能够保持不变形，且利于打开和闭合，阀盖朝向阀体的一侧设置有衬胶层，进一步保证了密封效果，且衬胶层不容易发生脱落，使止回阀的使用寿命长。
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公开(公告)号：CN208441988U
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201821080774.X
申请日：2018-07-09
申请人： 安徽省紫蓬医药科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种生产真空系统，包括真空泵，所述真空泵底部设有缓冲板，所述缓冲板底部设有缓冲装置，所述缓冲装置底部设有固定板，所述缓冲装置一侧设有缓冲槽，所述真空泵一侧设有干燥箱，所述干燥箱一侧设有第一抽气管，所述第一抽气管一侧设有冷凝装置，所述冷凝装置一侧设有第一电磁阀，所述第一抽气管底部设有第二抽气管。本实用新型通过设有第三抽气管、挡板、通风管、三通阀和出气口，有利于第三抽气管在对挡板一侧进行抽真空时，气压降低使得在出气口的作用下挡板另一侧的气体通过通风管进入到三通阀内，第三抽气管将进入的高气压的气体快速的抽出，有效的减少与低气压气体的混合率，大大提高抽真空的速度。
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公开(公告)号：CN205689389U
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201620561999.1
申请日：2016-06-13
申请人： 兰州大学
摘要： 本实用新型公开一种升华泵冷却装置，所述冷却装置位于所述升华泵的壳体内部，所述冷却装置包括冷却管道、导入装置和导出装置，所述冷却管道为螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升华蒸汽分子路径法向曲面螺绕升华泵泵芯，且与泵芯之间有一定距离，所述螺旋式管道一端连接导入装置，另一端连接导出装置。本实用新型以一种简单可行的方式为升华泵提供低温冷却装置，加快新鲜钛膜吸附速度从而加快抽真空的速度。与此同时维持升华泵泵体低温还可以促进升华泵表面吸附更多分子从而在实验过程中暂时性创造出相比于常温条件下更低的真空度。
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