公开(公告)号：CN112305262A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010739324.2

申请日：2020-07-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 惯性传感器、电子设备和移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着Y轴的摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在从与所述Y轴正交的Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，在所述检测电极与所述可动体之间形成静电电容；露出部，设置在所述检测电极的内侧，供所述基板的所述可动体一侧的面露出；突起，在从所述Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，并从所述基板的所述露出部向所述可动体一侧突出设置；以及覆盖电极，设置在所述突起的顶部，所述覆盖电极与所述可动体为等电位。

公开(公告)号：CN104297524B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201410342790.1

申请日：2014-07-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备、以及移动体，所述功能元件能够具有较高的检测灵敏度。本发明所涉及的功能元件(100)具备：可动体(20)；支承部(40)，其经由沿着第一轴(Q)而延伸的连结部(30、32)来对可动体(20)进行支承，在支承部(40)上设有连接区域(46)和接触区域(63)，所述连接区域(46)连接有连结部(30、32)且沿着第一轴(Q)而被设置，所述接触区域(63)在俯视观察时被设置于连接区域(46)的外侧且与被设置于基板(10)上的配线(60)电连接。

公开(公告)号：CN105776120B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201511019808.5

申请日：2015-12-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。

公开(公告)号：CN108663541A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810238636.8

申请日：2018-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及物理量传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体。物理量传感器包括：可动体；支承部，经由连结部支承所述可动体；基板，在俯视观察时配置成与所述可动体重叠，并且，沿与所述连结部的长边方向正交的第一方向，设置有第一固定电极及第二固定电极；第三固定电极，在俯视观察时未与所述可动体重叠，所述第三固定电极与所述第一固定电极及所述第二固定电极中任一方电连接，并设置于所述基板；以及第一虚拟电极，在俯视观察时与所述第三固定电极相邻配置，并与所述可动体为相同电位，所述第一虚拟电极设置于所述基板。

公开(公告)号：CN107063313A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610811648.6

申请日：2016-09-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种能够使检测精度提高的物理量传感器、具备所述物理量传感器的传感器器件、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其相对于底基板(2)而对置，并以能够绕轴aY而摆动的方式设置，并且在俯视观察时以轴aY为边界而被划分为第一可动部(421)、和与第一可动部(421)相比而面积较大的第二可动部(422)；第一固定电极(51)，其以与第一可动部(421)对置的方式被配置在底基板(2)上；第二电极(52)，其以与第二可动部(422)对置的方式被配置在底基板(2)上，第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)被构成为，对第一可动部(421)与第一固定电极(51)之间的第一边缘电容和第二可动部(422)与第二固定电极(52)之间的第二边缘电容的差分的至少一部分进行抵消。

公开(公告)号：CN105776120A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201511019808.5

申请日：2015-12-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。

公开(公告)号：CN105372452A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510497799.4

申请日：2015-08-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种能够减少静电电容偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：第一结构体(11)，其具有具备了可动电极指(333)的可动部(33)；第二结构体(12)，其具备与可动电极指(333)对置的方式而配置的第一固定电极指(381)；第三结构体(13)，其具备与可动电极指对置(333)的方式而配置的第二固定电极指(391)，第一静电电容形成部(71)，其在第一结构体(11)和第二结构体(12)之间形成静电电容。

公开(公告)号：CN104297524A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410342790.1

申请日：2014-07-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备、以及移动体，所述功能元件能够具有较高的检测灵敏度。本发明所涉及的功能元件(100)具备：可动体(20)；支承部(40)，其经由沿着第一轴(Q)而延伸的连结部(30、32)来对可动体(20)进行支承，在支承部(40)上设有连接区域(46)和接触区域(63)，所述连接区域(46)连接有连结部(30、32)且沿着第一轴(Q)而被设置，所述接触区域(63)在俯视观察时被设置于连接区域(46)的外侧且与被设置于基板(10)上的配线(60)电连接。

公开(公告)号：CN103292830A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310059401.X

申请日：2013-02-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01D5/241 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  B81B7/02

CPC classification number: G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0837

Abstract: 物理量传感器和电子设备。本发明的课题是提供一种具有高可靠性的物理量传感器。作为解决手段，物理量传感器（100）包含：基板（10）；可动体（20），其具有可动电极部（21）；轴部（30、32），其与可动体（20）连接，成为可动体（20）的旋转轴（Q）；固定部（40），其被固定在基板（10）上，经由轴部（30、32）支撑可动体（20）；以及固定电极部（5），其与可动电极部（21）相对地设在基板（10）上，在固定部（40）上，在旋转轴的轴线（Q）上设有开口部（46）。

公开(公告)号：CN102377402A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110213173.8

申请日：2011-07-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 和田充洋 ,  加藤达 ,  田中悟

IPC: H03H3/04

CPC classification number: H03H3/10 ,  H03H9/25 ,  H03H2003/0442 ,  Y10T29/42

Abstract: 提供一种能够一方面防止表面粗糙度的增大和构造破坏一方面使谐振频率上升的压电振动设备及其制造方法、谐振频率的调整方法。本发明是具有声表面波元件的压电振动设备的制造方法，其特征在于，包括在上述声表面波元件的表面上形成用于提高声表面波的速度的功能膜的工序。此外，上述功能膜的杨氏模量比上述激励电极的杨氏模量以及上述压电体的杨氏模量大，并且上述功能膜的密度比上述激励电极的密度及上述压电体的密度低。由此，能够在抑制质量附加效果对频率降低的影响的同时，发现基于弹性模量上升的频率上升，能够使声表面波元件的谐振频率上升。