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公开(公告)号：CN116459879A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310086569.3
申请日：2023-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B01L3/00
Abstract: 本申请提供流体设备及流体设备的控制方法，能够稳定地产生驻波。流体设备具备：流路，沿着第一轴延伸，流体在所述流路的内部流通；超声波发送部，配置于所述流路，通过驱动信号的输入沿着与所述第一轴正交的第二轴向所述流路内发送超声波；以及控制部，控制所述超声波发送部，所述控制部使所述驱动信号的驱动频率在预定范围内变化以测量驱动所述超声波发送部时所述超声波发送部的阻抗，并确定所述阻抗为极大时的驱动频率并设为第一驱动频率，并将所述第一驱动频率的所述驱动信号输入到所述超声波发送部。
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公开(公告)号：CN107887501B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710885766.6
申请日：2017-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制压电膜产生裂缝的压电元件及电子设备。压电元件具备：压电元件主体，是第一电极层、设于第一电极层的压电体层及设于压电体层的第二电极层的层叠体；以及金属层，隔着绝缘层而设于第二电极层，压电体层在从第一电极层、压电体层及第二电极层的层叠方向观察的俯视观察下，从与压电元件主体的外周缘重叠的第二电极层的外周缘的重叠部的至少一部分的内侧向外侧延伸设置，金属层和绝缘层在俯视观察下，从重叠部的至少一部分的内侧向外侧延伸设置，与比第二电极层的外周缘更靠外侧的压电体层重叠。
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公开(公告)号：CN114550684A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111404472.X
申请日：2021-11-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G10K11/172 , H02N2/04 , H02N2/06 , H04R17/00
Abstract: 一种压电致动器、超声波元件、超声波装置及电子设备，能够抑制不必要频率振动。所述压电致动器包括：振动板，具有堵塞设置在基板上的开口部的第一表面、和设置有多个压电元件的第二表面；抑制部，抑制振动板的振动；以及第一立壁和第二立壁，从第一表面延伸到开口部，其中，在将第一电极、压电体层和第二电极重叠的部分作为压电元件的能动部时，在从第一电极、压电体层和第二电极的层叠方向俯视观察时，第一立壁和第二立壁设置成夹着能动部，第二立壁在宽度、高度、长度、物理特性中的至少一个方面不同于第一立壁。
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公开(公告)号：CN114504344A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202111347427.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置，能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备：振动板，具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面；抑制部，抑制振动板的振动；以及多个立壁，从第一面向开口部延伸，在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时，在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时，立壁设置于相邻的有源部之间，在与层叠方向正交的面内，相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。
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公开(公告)号：CN114067774A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110859575.9
申请日：2021-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G10K9/122
Abstract: 本发明公开了能够在流路内容易地产生较大的声音功率的驻波的流体设备。流体设备(10)具备：流路(20)，供流体(S)流通；压力室(51)，在与流路(20)内的流体(S)的流通方向正交的第一方向(Y方向)上与流路(20)之间隔开间隔地形成；连通路(52)，沿着Y方向形成，将流路(20)与压力室(51)连通；以及超声波发送部(40)，通过与流入压力室(51)内的流体(S)接触而向该流体(S)发送超声波，从而在流路(20)内沿着Y方向产生驻波(SW)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113219467A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110061476.6
申请日：2021-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种对超声波装置的精度下降进行抑制的超声波装置以及超声波传感器。本发明的超声波装置(1)具备：基板(150)；振动板(140)，其被设置在基板(150)上，且具有通过进行振动而生成超声波的一个以上的振动元件(124)，振动板(140)具有可动部(120)和固定部(110)，所述可动部(120)被设置有振动元件(124)且随着振动元件(124)的振动而进行振动，所述固定部(110)被固定在所述基板(150)上，超声波装置(1)以如下方式被构成，即，基于从可动部(120)发送并由可动部(120)接收的波的反射波的振动频率在振动元件(124)的振动频率范围之外。
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公开(公告)号：CN112887881A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202011367414.X
申请日：2020-11-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小岛力
Abstract: 本发明涉及超声波设备，以简单的结构抑制强度下降且能够抑制从超声波发送部向超声波接收部的串扰。超声波设备具备：基板，具备多个开口部以及壁部；振动板，封闭开口部；以及振动元件，设置于振动板，多个开口部包括第一开口部、隔着第一壁部与第一开口部相邻的第二开口部以及隔着第二壁部与第一开口部相邻的第三开口部，封闭第一开口部的第一振动部与振动元件构成第一超声波发送部，封闭第二开口部的第二振动部与振动元件构成第一超声波接收部，封闭第三开口部的第三振动部与振动元件构成第二超声波发送部，第一壁部的壁宽度大于第二壁部的壁宽度。
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公开(公告)号：CN106025058B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201610157590.8
申请日：2016-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/47
Abstract: 本发明提供超声波传感器及其制造方法，能够确保高可靠性。该超声波传感器具备：沿着XY平面的基板(10)；多个空间(12)，其沿X轴方向以及Y轴方向中的至少一个方向形成于基板；振动板(50)，其以封闭空间的方式设置于基板上，并具有靠基板侧的第1面(50a)以及与该第1面对置的第2面(50b)；压电元件(300)，其设置于振动板的第2面侧中的与空间对应的部分，发送以及/或者接收超声波；以及包围板(40)，其设置于振动板的第2面侧，并包围压电元件的周围的区域，在包围板的靠压电元件侧的面(40b)与振动板的第2面之间，并且在不与压电元件重叠的位置设置有支承部件(41)。
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公开(公告)号：CN108630802A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810222380.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及压电元件及其制造方法、喷出头、超声波及液体喷出装置。在基材的开口部和壁部设置支承膜，在支承膜的和开口部对应的第一区域以及和壁部对应的第二区域设置压电膜，使设置在第二区域之上的压电膜的膜厚小于设置于第一区域的压电膜的膜厚。因此，压电膜中用于振动的区域处的振动变大，不用于振动的区域处的振动变小，从而改善压电元件的振动特性损失等问题。
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