公开(公告)号：CN213411555U

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202022134426.X

申请日：2020-09-25

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 柴旭 ,  王宜豹 ,  盖志刚 ,  姜辛 ,  郭风祥 ,  张妹 ,  陈志刚 ,  王韶琰 ,  孙小玲 ,  胡鼎 ,  刘寿生 ,  张丽丽

IPC: B24B27/033 ,  B24B47/22 ,  B24B47/20 ,  B24B41/06 ,  B24C3/12 ,  B24C9/00 ,  B08B3/12 ,  C23F1/26

Abstract: 本实用新型属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备，集成抛光处理，化学处理，喷砂处理，将化学处理和物理处理有机结合，成本远远低于等离子刻蚀技术；有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。

公开(公告)号：CN210340503U

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201920822542.5

申请日：2019-05-31

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 郭风祥 ,  盖志刚 ,  张涛 ,  柴旭 ,  胡鼎 ,  邱慧敏 ,  张妹 ,  曹琳 ,  刘寿生

IPC: C02F9/02 ,  C02F101/30

Abstract: 本实用新型公开了一种金刚石薄膜净水装置，该装置包括位于密封结构内的两片掺杂金刚石薄膜，两片掺杂金刚石薄膜分别通过电流收集器与电源连接，所述密封结构内开设水流通道，两片掺杂金刚石薄膜通过水流通道与待净化水体接触，所述掺杂金刚石薄膜中间设置基底，两片掺杂金刚石薄膜之间设置离子交换膜。本实用新型公开的装置利用金刚石薄膜的机械-化学-电化学性能稳定、过氧电位高、电流效率高、无毒害杂质等优点，结合电路、水路结构优化设计，满足净水机的直饮净水处理，净水机后端出水管口灭菌及全屋分级供水系统灭菌等应用需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208568661U

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201820051113.8

申请日：2018-01-12

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 郭风祥 ,  盖志刚 ,  张涛 ,  惠超 ,  张妹 ,  邱慧敏 ,  胡鼎 ,  李恒 ,  李正军 ,  曹琳

IPC: G01N27/26 ,  G01N27/30

Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器，包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构，所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧，水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧，电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连，另一端与后端测量电路相连；所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极，内部两列探测电极为信号采集电极，外部两列探测电极为信号输入电极，本实用新型所公开的电导率传感器满足微型化的要求，化学稳定性高，抗生物附着能力强，稳定工作寿命长。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208568143U

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201821231269.0

申请日：2018-08-01

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 郭风祥 ,  盖志刚 ,  张涛 ,  张妹 ,  胡鼎 ,  刘寿生 ,  曹琳 ,  王韶琰 ,  柴旭 ,  王宜豹

IPC: G01L7/08 ,  G01L9/06

Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测仪器技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳；其中，基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极包括四个，分别设置在形成所述压力敏感层的四块薄膜上；金属外壳安装在所述基底的顶面，并将所述绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内，在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本实用新型的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207502079U

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201721322903.7

申请日：2017-10-16

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 郭风祥 ,  盖志刚 ,  张涛 ,  张妹 ,  邱慧敏 ,  李恒 ,  李正军

IPC: G01K13/02

Abstract: 本实用新型公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器，包括一端密封的筒状金属耐压外壳，所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底，所述金刚石基底一侧设有温度响应元件，所述温度响应元件为双螺旋线状结构，所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线，所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层，所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触；所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料，同时公开了该温度传感器的制备方法，本实用新型所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利