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公开(公告)号:CN117012807A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202310924658.0
申请日:2023-07-26
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
Abstract: 本发明提供了基于指型介质的分布式峰值电场横向功率器件,属于基本电气元件的技术领域。通过在功率器件的漂移区内部引入长度不一的指型介质区域,并按照一定的规则进行排布设计。指型介质区域的指尖位置能够形成新的峰值电场,错峰设计也能防止相邻介质产生的电场峰值叠加而导致器件在指尖位置提前击穿,从而使得器件承受更高的耐压。在器件的正向导通阶段,所引入的指型介质能够提高漂移区掺杂浓度,这有助于增强器件载流子的漂移能力,增强器件的正向导通性能。采用该结构制造的硅基、SOI基、碳化硅基、氮化镓基横向功率器件具有击穿电压高、比导通电阻低等优良的性能。
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公开(公告)号:CN116825817A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202311019567.9
申请日:2023-08-14
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: H01L29/06 , H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了基于介质定位的浮空场限环功率器件及制备方法,包括器件主体、高K介质槽区和P型浮空场限环;器件主体包括N型掺杂的半导体漂移区;高K介质槽区等间距布设在半导体漂移区的顶部中心,且包括凹槽和填充在凹槽内的高K介质;位于高K介质槽区之间的有源层形成为半导体岛区;半导体岛区通过P型掺杂形成P型浮空场限环,且P型浮空场限环的结深大于高K介质槽区的深度。凹槽为条状槽、网状槽或矩形槽等。本发明的P型浮空场限环基于介质凹槽进行定位,能减少掩膜等工艺步骤,凹槽内淀积的高K介质能有效调制表面电场并避免表面电荷对P型浮空场限环的影响,从而提高击穿电压,同时提高漂移区浓度,降低器件导通电阻。
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公开(公告)号:CN116207163A
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202310234783.9
申请日:2023-03-13
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: H01L29/872 , H01L21/329 , H01L29/24 , H01L29/417 , H01L29/47
Abstract: 本发明属于功率半导体器件技术领域,具体地说,是一种氧化镓横向肖特基二极管的结构及制造方法,包括由下往上依次排列的衬底、氧化镓外延层和钝化层,阳极电极与阴极电极穿通所述钝化层并嵌于所述氧化镓外延层中,且所述钝化层、电极、外延层与衬底的形状、尺寸一一匹配,本发明主要通过阴极电极与阳极电极穿通钝化层并嵌于氧化镓外延层中,增加了金属电极与半导体材料的接触面积,利于形成稳定的金属与半导体之间的肖特基接触或欧姆接触,凹槽结构提高了金属半导体接触区域与整个功率器件的导电性和稳定性,使得功率器件的性能更稳定,且可用于高压功率电路于系统。
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公开(公告)号:CN115660109B
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202211653150.3
申请日:2022-12-22
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种机器学习模型的训练数据集均匀化处理方法,包括如下步骤:1、确定器件的数据集输入目标结构参数的变化范围;步骤2、根据数据的变化范围,进行数据预处理;步骤3、对预处理后的数据进行均匀化取值;步骤4、对数据集输入目标结构参数进行反预处理;步骤5、根据反预处理后的数据,进行训练数据集的收集;步骤6、建立机器学习模型。本发明通过训练数据集的均匀化处理技术,避免了模型训练过程中潜在的欠拟合和过拟合问题,可优化机器学习模型的应用能力,且该方案构建的模型具有泛化能力强,对随机器件目标结构参数的电学性能预测准确率高等优点。
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公开(公告)号:CN113505564B
公开(公告)日:2023-04-18
申请号:CN202110731873.X
申请日:2021-06-30
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: G06F30/398 , G06N3/048 , G06N3/084 , H01L29/78 , H01L29/06
Abstract: 本发明公开了一种基于深度神经网络的RESURF横向功率器件最优漂移区浓度设计方法,包括:S1:设定器件结构参数范围,获取不同结构参数下最优漂移区浓度的数据集,并对数据集进行预处理;S2:构建和训练由器件结构参数预测器件最优漂移区浓度的深度神经网络模型;S3:将器件结构参数输入预先训练好的深度神经网络模型,获得器件最优漂移区浓度。本发明能够实现对RESURF横向功率器件最优漂移区浓度的预测,其预测误差为5%左右,精准度较高,与传统方法比,快捷高效。
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公开(公告)号:CN115966596A
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN202310234418.8
申请日:2023-03-13
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: H01L29/06 , H01L29/423 , H01L21/336 , H01L29/78
Abstract: 本发明公开一种分离槽横向双扩散功率器件及其制造方法,属于基本电气元件的技术领域。该器件包括从下至上依次叠设的半导体衬底和有源区;有源区包括半导体漏区、半导体漂移区和半导体阱区,半导体阱区包含半导体源区和半导体体接触区;在半导体漂移区及栅极区域有源区刻蚀出分离槽及栅极凹槽,分离槽和栅极凹槽底部及四周填充高介电常数介质材料,随后使用二氧化硅将分离槽填满,分离槽及栅极凹槽的刻蚀、淀积均可同时进行;分离槽结构的漂移区纵向拓展电流传导区域并增加高介电常数介质调制面积,有效提高漂移区掺杂浓度;使用高介电常数介质材料制备的槽型栅MIS电容增大,电子积累层密度增大,在保证耐压不变的情况下降低器件导通电阻。
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公开(公告)号:CN114912342A
公开(公告)日:2022-08-16
申请号:CN202210312686.2
申请日:2022-03-28
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: G06F30/27 , G06Q10/06 , G06F119/02
Abstract: 本发明公开了一种基于多质量参数的封装引线键合工艺参数优化方法,先获取与引线键合质量参数相关的工艺参数和每个工艺参数的取值范围,随机组合工艺参数,通过实验和仿真收集不同工艺参数条件下的引线键合的质量参数,生成数据集,基于神经网络进行训练;结合质量参数预测模型生成目标函数,设置初始参数集合并导入质量参数预测模型,得到相应的质量参数的实时预测值;将新的工艺参数集合导入质量参数预测模型,得到满足设计要求的质量参数。本发明利用贝叶斯优化算法,自动简单地优化引线键合的工艺参数,使得最终优化过后的工艺参数的质量参数能够达到目标值,从而降低人力、物力耗费,具有成本低,速度快,精度高等优势。
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公开(公告)号:CN114284354A
公开(公告)日:2022-04-05
申请号:CN202111485216.8
申请日:2021-12-07
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: H01L29/423 , H01L29/78 , H01L21/336 , H01L21/28
Abstract: 本申请涉及一种阶梯负电容层鳍式场效应晶体管及其制备方法。该晶体管包括:半导体衬底,覆盖于半导体衬底上表面的埋氧层,位于埋氧层上方的鳍式有源区,鳍式有源区从埋氧层表面的第一方向上鳍式凸起,鳍式有源区的长度与半导体衬底的长度相同,鳍式有源区的宽度小于半导体衬底宽度,鳍式有源区包括源区、沟道区和漏区,鳍式有源区的源区和漏区之间的沟道区的上表面和第一方向上的左右两个侧表面覆盖了栅氧化层,栅氧化层上覆盖三向负电容层,三向负电容层的厚度顺着第一方向阶梯性增厚或变薄,三向负电容层上覆盖了金属层。提高的饱和区电流以及降低的亚阈值摆幅,从而降低晶体管的功耗并提升晶体管性能。
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公开(公告)号:CN113505564A
公开(公告)日:2021-10-15
申请号:CN202110731873.X
申请日:2021-06-30
Applicant: 南京邮电大学 , 南京邮电大学南通研究院有限公司
IPC: G06F30/398 , G06N3/04 , G06N3/08 , H01L29/78 , H01L29/06
Abstract: 本发明公开了一种基于深度神经网络的RESURF横向功率器件最优漂移区浓度设计方法,包括:S1:设定器件结构参数范围,获取不同结构参数下最优漂移区浓度的数据集,并对数据集进行预处理;S2:构建和训练由器件结构参数预测器件最优漂移区浓度的深度神经网络模型;S3:将器件结构参数输入预先训练好的深度神经网络模型,获得器件最优漂移区浓度。本发明能够实现对RESURF横向功率器件最优漂移区浓度的预测,其预测误差为5%左右,精准度较高,与传统方法比,快捷高效。
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公开(公告)号:CN110416288A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910705903.2
申请日:2019-08-01
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L29/10 , H01L29/739
Abstract: 一种双栅隧穿晶体管结构,包括呈阶梯式厚度递增分布的沟道区5,沟道区5的厚度小的一侧设有源区9,其厚度大的一侧设有源区4,源区9远离沟道区的侧边设有源极8,漏区远离沟道区的侧边设有漏极3,沟道区5的上、下表面分别覆盖第一栅介质层2和第二栅介质层6,第一栅介质层2的上表面覆盖第一栅极1,第二栅介质层6的下表面覆盖第二栅极7,第一栅极1和第二栅极7构成双栅结构。本发明所提供的器件结构既能有效地提高开态隧穿几率和开态电流,又能降低双极态隧穿几率和双极电流。
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