公开(公告)号：CN103023454A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210539946.6

申请日：2012-12-13

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 康中波 ,  司朝伟 ,  宁瑾 ,  韩国威

IPC: H03H9/15 ,  H03H9/02 ,  H03H3/02

Abstract: 一种采用压电材料制备的阵列微机电谐振器结构，包括：一激励平板谐振器；一输出平板谐振器；多个储能平板谐振器，其为菱形矩阵式叠置，其是通过边角直接互相接触连接，其中最上面的两个储能平板谐振器与激励平板谐振器通过边角直接接触连接，最下面的两个储能平板谐振器与输出平板谐振器通过边角直接接触连接；一输入电极对，该输入电极对覆盖在激励平板谐振器上下表面；一输出电极对，该输出电极对覆盖在输出平板谐振器上下表面；一支撑锚点对，该支撑锚点对分别与激励平板谐振器和输出平板谐振器的外边角相连接，该支撑锚点对将激励平板谐振器、输出平板谐振器、多个储能平板谐振器、输入电极对和输出电极对支撑起，为悬空状；一衬底，所述支撑锚点对固定在该衬底上。

公开(公告)号：CN101984557B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201010534603.1

申请日：2010-11-03

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 宁瑾 ,  李永梅 ,  韩国威 ,  杨富华

IPC: H03H9/24

Abstract: 一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路；一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接；一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接；一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接；一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接；一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。

公开(公告)号：CN102594260A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210051847.3

申请日：2012-03-01

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 司朝伟 ,  韩国威 ,  宁瑾 ,  刘晓东

IPC: H03B5/04

Abstract: 一种基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一低通滤波器的输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一高增益反相器的输入端与低通滤波器的输出端连接；一窄脉冲发生器的输入端与高增益反相器的输出端连接，该窄脉冲发生器的输出端与MEMS谐振器输入端连接；一可控寄生电容包含三个端口，为输入端、输出端和控制端，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接，输出端与地连接；一自动控制电路的输出端与可控寄生电容的控制端连接；一温度传感器的输出端与自动控制电路的输入端连接；一MEMS振荡器回路由一MEMS谐振器、一低通滤波器、一高增益反相器和一窄脉冲发生器连接成的闭合回路组成；一温度补偿电路结构由可控寄生电容、自动控制电路和温度传感器组成。