薄膜光电变换装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102239571A

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200980148258.3

    申请日:2009-11-20

    CPC classification number: H01L31/022425 H01L31/0463 H01L31/0465 Y02E10/50

    Abstract: 包括:第1工序,以使相邻的薄膜光电变换单元之间电串联连接的方式,在透光性绝缘基板上,依次形成第1电极层、光电变换层、以及第2电极层,其中,该光电变换层是依次层叠了第1导电类型半导体层、第2导电类型半导体层和第3导电类型半导体层;第2工序,形成从所述第2电极层的表面到达所述第1电极层的分离槽,从而进行单元分离为多个薄膜光电变换单元;以及第3工序,在所述第2工序之后对所述光电变换层的所述分离槽的侧壁部进行氧化处理而使所述光电变换层的所述分离槽的侧壁部改性为绝缘层。

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