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公开(公告)号：CN117116818A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311239513.3
申请日：2023-09-25
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种晶圆盒存储交换中心设备，包括存储柜本体，所述存储柜本体一侧开设有人工交互平台和设备交互平台进行FOUP盒交换，所述存储柜本体内腔滑动安装有移栽单元对所述人工交互平台和所述设备交互平台的物料进行自动移栽；所述移栽单元，包括以有线或无线信号与交换中心控制器控制端相连接的移动驱动部、调节部和抓取部；所述抓取部转动安装于所述调节部机械臂行动端，以使FOUP盒在任意存储位与交互口之间进行交换。对单一机械臂上的移栽抓手进行分体式的设计，以此来处理不同的工作状态,提高内部FOUP盒交互效率，在不增加存储库空间的同时，极大减小FOUP盒的搬运时间，解决了现有设计中，搬运效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN114927452A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210612295.2
申请日：2022-05-31
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明提供了一种防止OHT倾斜的双平稳机构，属于OHT设备技术领域，包括安装板，安装板上固定连接有滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑块，滑块上固定连接有支撑板，两个支撑板的相背面的下端均固定连接有支撑块，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有支撑槽，支撑槽内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板上设有用于驱动两块滑块相对或相向运动的驱动机构，本发明具有使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况的优点。
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公开(公告)号：CN114890317A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210610343.4
申请日：2022-05-31
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种AMHS系统中的防撞控制装置及其方法，属于半导体生产加工设备技术领域，包括具有分叉口的轨道，所述的轨道包括主轨道和与主轨道汇流的分叉轨道，主轨道与分叉轨道相交于汇流点，主轨道与分叉轨道供天车通行，所述主轨道的外侧固定有光带一，分叉轨道的外侧固定有光带二，所述的主轨道位于汇流点的后侧固定有若干光电传感器一，分叉轨道上固定有若干光电传感器二，所述的天车上固定有能够识别光源的光电传感接收器，所述的轨道上还固定有汇流控制器，所述的光带一、光带二、光电传感器一、光电传感器二和光电传感接收器均与汇流控制器电连接。本发明能够有效防止来自不同轨道上的天车在汇流处发生碰撞，从而使天车有序运行。
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公开(公告)号：CN114132704A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111528307.5
申请日：2021-12-14
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： B65G35/00
摘要： 本发明提供了一种轨道小车的双向伸缩装置，属于自动化物料搬运技术领域。本轨道小车的双向伸缩装置，包括固定板，所述固定板的下方滑动设置有一上滑动板，所述上滑动板的下方滑动设置有一下滑动板，且上滑动板与下滑动板的滑动方向相同，所述固定板和上滑动板之间设置有驱动机构，所述上滑动板和下滑动板之间设置有联动机构，所述下滑动板的下方设置有夹持装置；所述固定板下表面一侧的两端分别固定有第一传感器和第二传感器，所述固定板下表面另一侧的一端还固定有原点传感器。本发明既节省了成本，又节省了运动时间，在驱动电机出现故障时没有按照设定的行程运行时，可以对夹持装置起到保护作用。
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公开(公告)号：CN113642349A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110916503.3
申请日：2021-08-11
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种自动识别晶圆铁烤架与ID读取的设备及方法，设备包括自动扫码装置和分选机上位机系统，所述自动扫码装置设在晶圆装卸机上，用于对设在所述晶圆装卸机面板上的晶圆铁烤架的ID进行读取并发送至分选机上位机系统，分选机上位机系统根据自动扫码装置发送的ID信息自动识别当前晶圆装卸机上放置的是铁烤架，对当前铁烤架的尺寸进行判断，并将铁烤架的ID信息进行上报，达到晶圆跟踪的目的。本发明解决了半导体客户厂内的铁烤架的自动识别问题，在原本不能用于自动化的工艺制程实现了自动化，降低了客户的人力成本，同时降低了人为失误造成的破片率，增加了晶圆装卸机自动识别晶舟的兼容性。
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公开(公告)号：CN217050302U
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202123157168.8
申请日：2021-12-14
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： B65G35/00
摘要： 本实用新型提供了一种轨道小车的双向伸缩装置，属于自动化物料搬运技术领域。本轨道小车的双向伸缩装置，包括固定板，所述固定板的下方滑动设置有一上滑动板，所述上滑动板的下方滑动设置有一下滑动板，且上滑动板与下滑动板的滑动方向相同，所述固定板和上滑动板之间设置有驱动机构，所述上滑动板和下滑动板之间设置有联动机构，所述下滑动板的下方设置有夹持装置；所述固定板下表面一侧的两端分别固定有第一传感器和第二传感器，所述固定板下表面另一侧的一端还固定有原点传感器。本实用新型既节省了成本，又节省了运动时间，在驱动电机出现故障时没有按照设定的行程运行时，可以对夹持装置起到保护作用。
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公开(公告)号：CN217426702U
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202221360750.6
申请日：2022-05-31
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本实用新型提供了一种防止OHT倾斜的双平稳机构，属于OHT设备技术领域，包括安装板，安装板上固定连接有滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑块，滑块上固定连接有支撑板，两个支撑板的相背面的下端均固定连接有支撑块，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有支撑槽，支撑槽内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板上设有用于驱动两块滑块相对或相向运动的驱动机构，本实用新型具有使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况的优点。
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公开(公告)号：CN217405399U
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202220988774.X
申请日：2022-04-26
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本实用新型提供了一种用于8寸晶圆的抓手，属于晶圆生产设备技术领域，包括安装板，在安装板下表面上安装有一导向杆，在导向板下表面上固定连接有一定位板，定位板呈十字设置，在定位板的四端下表面上均固定连接有一导向块，在两个相对的导向块的相对面的下端均开设有一导向面，在安装板两端下表面上均安装有一夹板，在两块夹板相对面的下端均固定连接有一提升板，提升板与夹板呈垂直设置，在安装板下表面上设有用于驱动两块夹板相对运动的驱动机构，本实用新型具有方便了对8寸晶圆盒的取放，提高了对晶圆盒的取放稳定性的优点。
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公开(公告)号：CN220914185U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202322598985.X
申请日：2023-09-25
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , B65G35/00
摘要： 本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种空中稳定运作的轨道物料搬送车，包括：悬挂架设于工厂车间天花板处的行进轨道，行进轨道按照物料搬送路径进行设置；行进轨道踏面上架设有行进部，行进部可沿行进轨道路径方向进行移动；行进轨道下方设置有可容纳物料的主体部，主体部通过连接部被吊挂并被支撑于行进部底部；主体部和行进部之间设置有平衡保持部，且平衡保持部位于行进轨道的下方，平衡保持部被可被拆卸安装于主体部顶部，平衡保持部与驱动组件传动连接。实现了当车体本体重心发生偏移时，能够同步对车身姿态进行调整，解决了车体在进行移栽动作时车身发生倾斜的问题。
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