发明公开
- 专利标题: 晶圆盒存储交换中心设备及控制方法
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申请号: CN202311239513.3申请日: 2023-09-25
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公开(公告)号: CN117116818A公开(公告)日: 2023-11-24
- 发明人: 龚昱 , 朱飞 , 余君山
- 申请人: 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道福善线钟南段288号智创园G3栋北侧1-4楼
- 专利权人: 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
- 当前专利权人: 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道福善线钟南段288号智创园G3栋北侧1-4楼
- 主分类号: H01L21/673
- IPC分类号: H01L21/673
摘要:
本发明涉及半导体设备技术领域,提供了一种晶圆盒存储交换中心设备,包括存储柜本体,所述存储柜本体一侧开设有人工交互平台和设备交互平台进行FOUP盒交换,所述存储柜本体内腔滑动安装有移栽单元对所述人工交互平台和所述设备交互平台的物料进行自动移栽;所述移栽单元,包括以有线或无线信号与交换中心控制器控制端相连接的移动驱动部、调节部和抓取部;所述抓取部转动安装于所述调节部机械臂行动端,以使FOUP盒在任意存储位与交互口之间进行交换。对单一机械臂上的移栽抓手进行分体式的设计,以此来处理不同的工作状态,提高内部FOUP盒交互效率,在不增加存储库空间的同时,极大减小FOUP盒的搬运时间,解决了现有设计中,搬运效率低的技术问题。
IPC分类: