正型光致抗蚀剂组合物
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103270451B

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201180054438.2

    申请日:2011-10-25

    CPC classification number: G03F7/004 C08G8/04 C08G8/20 C08L61/12 G03F7/0236

    Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物,其特征在于,其含有将下述通式(1)或(2)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性,能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。(式中,R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基。另外,m、n和p分别独立地为0~4的整数,q为1~(5-p)的整数,s为1~(9-p)的整数。)。

    热固性环氧树脂组合物的搜索方法、信息处理装置以及程序

    公开(公告)号:CN118202421A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202380014278.1

    申请日:2023-06-08

    Abstract: 改善热固性环氧树脂组合物的搜索技术。一种热固性环氧树脂组合物的搜索方法,由信息处理装置执行,所述热固性环氧树脂组合物的搜索方法包括以下步骤:使用与热固性环氧树脂组合物有关的实际数据来训练与多个目标变量分别对应的多个预测模型;以及通过使用所述多个预测模型的逆向解析来搜索具有期望的物性平衡的热固性环氧树脂组合物,其中,所述实际数据包括与热固性环氧树脂有关的聚合物组分、结构式、环氧当量以及配混条件,所述目标变量包括弯曲弹性率、弯曲应变、弯曲强度以及玻璃化转变温度。

    抗蚀剂材料
    48.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110959138B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN201880048675.X

    申请日:2018-07-03

    Abstract: 本发明目的在于,提供涂膜的平滑性、均质性高、分辨率等图案化性能也优异的抗蚀剂材料,提供一种抗蚀剂材料,其含有:具有下述结构式(1)所示的分子结构的杯芳烃化合物(A)、和树脂成分(B)。(式中,R1为全氟烷基或具有全氟烷基的结构部位。R2为氢原子、极性基团、聚合性基团、具有极性基团或聚合性基团的结构部位。R3为氢原子、任选具有取代基的脂肪族烃基、任选具有取代基的芳基中的任意者。n为2~10的整数。*为与芳香环的键合点。)

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