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公开(公告)号：CN103210349A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201180054437.8
申请日：2011-10-25
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作在由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的抗蚀剂。
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公开(公告)号：CN103270451B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201180054438.2
申请日：2011-10-25
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: G03F7/004 , C08G8/04 , C08G8/20 , C08L61/12 , G03F7/0236
Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。（式中，R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基。另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。）。
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公开(公告)号：CN103384850A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201280010407.1
申请日：2012-04-10
Applicant: DIC株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G8/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/039 , C08G8/08 , C08G8/12 , C08G8/20 , C08L61/06 , C08L2205/02 , C09D161/06 , G03F7/0233 , G03F7/0236
Abstract: 本发明的目的在于，提供显影性及耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物和使用其的涂膜，提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，树脂(B)具有式(1)〔式中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基。X为式(2)(式中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。t为1或2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)。〕所示的结构单元作为重复单元，前述结构(x1)相对于结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。
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公开(公告)号：CN103384850B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201280010407.1
申请日：2012-04-10
Applicant: DIC株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G8/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/039 , C08G8/08 , C08G8/12 , C08G8/20 , C08L61/06 , C08L2205/02 , C09D161/06 , G03F7/0233 , G03F7/0236
Abstract: 本发明的目的在于，提供显影性及耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物和使用其的涂膜，提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，树脂(B)具有式(1)〔式中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基。X为式(2)(式中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。t为1或2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)。〕所示的结构单元作为重复单元，前述结构(x1)相对于结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。
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公开(公告)号：CN103430006A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280013916.X
申请日：2012-06-25
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: G01N11/142 , G01N2011/0053 , G01P3/26 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种检测反应产物的粘度的方法，该方法具有粘度检测过程，该粘度检测过程包括旋转速度检测过程等，所述旋转速度检测过程是检测供给功率P时的功率损耗PL由功率损耗A和功率损耗B构成的感应电动机的旋转速度的过程，包括：步骤I，将功率损耗A与功率损耗B的差视为感应电动机的机械输出的一阶近似值PM1，由感应电动机的输出PM1与滑差S1的关系式PM1=κS1求出旋转速度的一阶近似值N1=NS(1-S1)；步骤II，根据N1求出功率损耗B1；步骤III，将二阶近似值PM2视为P-(A+B1)，由输出PM2与滑差S2的关系式PM2=κS2求出二阶近似值N2=NS(1-S2)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103210349B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201180054437.8
申请日：2011-10-25
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作在由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的抗蚀剂。
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公开(公告)号：CN103415541A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201280012171.5
申请日：2012-03-05
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08F122/14 , C07C57/42 , C07C69/54 , C08F20/20 , C08F222/1006
Abstract: 本发明的目的在于提供能够得到耐热性优异的固化物的自由基固化性化合物，为了达成该目的，提供下述通式(1)所示的自由基固化性化合物。一种自由基固化性化合物，其特征在于，其由下述式表示。(式中，R1、R2分别独立地为碳原子数1～8的烷基，R3、R4分别独立地为氢原子或甲基。m及n分别独立地为1～4的整数。X为芳香族烃基或被碳原子数1～8的烷基取代了的芳香族烃基。)
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公开(公告)号：CN103430006B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201280013916.X
申请日：2012-06-25
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: G01N11/142 , G01N2011/0053 , G01P3/26 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种检测反应产物的粘度的方法，该方法具有粘度检测过程，该粘度检测过程包括旋转速度检测过程等，所述旋转速度检测过程是检测供给功率P时的功率损耗PL由功率损耗A和功率损耗B构成的感应电动机的旋转速度的过程，包括：步骤I，将功率损耗A与功率损耗B的差视为感应电动机的机械输出的一阶近似值PM1，由感应电动机的输出PM1与滑差S1的关系式PM1=κS1求出旋转速度的一阶近似值N1=NS(1-S1)；步骤II，根据N1求出功率损耗B1；步骤III，将二阶近似值PM2视为P-(A+B1)，由输出PM2与滑差S2的关系式PM2=κS2求出二阶近似值N2=NS(1-S2)。
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公开(公告)号：CN103415541B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201280012171.5
申请日：2012-03-05
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08F122/14 , C07C57/42 , C07C69/54 , C08F20/20 , C08F222/1006
Abstract: 本发明的目的在于提供能够得到耐热性优异的固化物的自由基固化性化合物，为了达成该目的，提供下述通式(1)所示的自由基固化性化合物。一种自由基固化性化合物，其特征在于，其由下述式表示。(式中，R1、R2分别独立地为碳原子数1～8的烷基，R3、R4分别独立地为氢原子或甲基。m及n分别独立地为1～4的整数。X为芳香族烃基或被碳原子数1～8的烷基取代了的芳香族烃基。)
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公开(公告)号：CN103270451A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180054438.2
申请日：2011-10-25
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: G03F7/004 , C08G8/04 , C08G8/20 , C08L61/12 , G03F7/0236
Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。（式中，R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基。另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。）
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