公开(公告)号：CN114323395A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111595510.4

申请日：2021-12-23

Applicant: 西安交通大学 ,  杭州电子科技大学

Inventor： 赵立波 ,  谭仁杰 ,  高文迪 ,  韩香广 ,  卢德江 ,  王路 ,  李敏 ,  董林玺 ,  杨萍 ,  林启敬 ,  蒋庄德

IPC: G01L5/165 ,  G01L1/14 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法，芯片由SOI器件层和玻璃器件层键合组成；SOI器件层包括顶层硅结构、埋氧层结构和衬底层硅结构；顶层硅结构包括第一中心质量块，第一中心质量块通过蟹腿型梁和顶层边框连接，顶层边框和中心质量块之间设有梳齿电容；埋氧层结构包括释放区和非释放区；衬底层硅结构包括第二中心质量块，第二中心质量块通过T型梁和衬底层边框连接，第二中心质量块中部设有安装腔体，外部的载荷传递立柱安装于安装腔体当中，将力/力矩传递到第二中心质量块；本发明实现六轴力的解耦检测，易于电路集成；以SOI晶圆和玻璃圆片为基础，结合光刻、浅刻蚀等工艺实现芯片的制备，工艺简单，易于批量制造。

公开(公告)号：CN114244056A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202111583234.X

申请日：2021-12-22

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 前田龙太郎 ,  费振轩 ,  王路 ,  王骞 ,  段从升 ,  张俊龙 ,  赵立波 ,  韩香广 ,  蒋庄德

IPC: H02K35/00 ,  H02N1/04 ,  H02N2/18 ,  H02J7/32

Abstract: 本发明公开了用于人体运动能量收集的能量收集器及装置及方法，能量收集器包括弹性基底、电磁发电机、压电发电机和摩擦发电机，弹性基底的形状为环形；电磁发电机的第一载体封装盒和第二载体封装盒分别设置于弹性基底内表面且上下正对，并分别设有磁铁和带铁芯线圈，磁铁和带铁芯线圈相对设置；摩擦发电机的电极层设置于第一载体封装盒的下表面，介电层设置于电极层的下表面，金属层设置于第二载体封装盒的上表面，金属层与介电层之间具有空隙；压电发电机的第一压电单晶片和第二压电单晶片分别对称设置于弹性基底左右两侧的内壁。本发明将电磁式、压电式和摩擦电结合来收集人体产生的能量。三种发电机优势互补，提高了能量收集器的工作效率。