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公开(公告)号：CN205582893U
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201620239428.6
申请日：2016-03-25
Applicant: 盟立自动化股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实用新型涉及一种整合式药液槽，特别适用于湿式制程。所述整合式药液槽包括一操作腔室、一液体槽以及一泵。所述操作腔室，用于执行湿式制程。所述液体槽，设置于所述操作腔室下方以及用于储存至少一液体。所述泵，用于自所述液体槽抽取所述至少一液体至所述操作腔室。所述至少一液体于所述操作腔室中使用后，通过所述操作腔室的至少一底板回收至所述液体槽。使用过的液体能够直接回到所述液体槽，而不需要通过管线输送，进而解决了漏液的问题。
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