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公开(公告)号：CN102735878A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210209374.5
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/06
Abstract: 本发明公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本发明的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。
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公开(公告)号：CN102707094A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210192186.6
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本发明的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。
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公开(公告)号：CN102162115B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110022873.9
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法。根据模拟的多孔氧化铝膜系推导出计算公式，由预期所要得到的调控色所对应的波长，计算得到与之匹配的模板孔深，进而通过精确控制多孔氧化铝制备过程中的二次阳极氧化时间，制备所需孔深的多孔氧化铝模板，并在其表面利用单原子沉积技术沉积高反射率纳米膜层，使模板呈现出预期的调控色，实现了对多孔氧化铝颜色的调控。本发明大大提高了多孔氧化铝作为二维光子晶体的分光特性，制备出具有不同调控色的多孔氧化铝，实现了对其颜色的调控。该方法有望在激光器、集成光路、光通信、光学互连、光计算、光学信息处理等相关仪器中的微器件制备中发挥重大作用。
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公开(公告)号：CN102355158A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110295658.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导表面波马达及其驱动方法。基底上设有压电晶片定子，压电晶片定子两端分别固定有第一固定块、第二固定块，压电晶片定子上从上到下顺次设有配重块、第二动子、不锈钢微珠，第二动子中间穿有两根平行的导向杆，导向杆两端分别固定在第一固定块和第二固定块上，压电晶片定子一端上方从上到下顺次设有脉冲激光、聚焦透镜，脉冲激光通过聚焦透镜照射到压电晶片定子上，构成直线型马达。本发明的激光诱导表面波马达实现了真正意义上的激光直接驱动新方法，具有结构简洁、速度快、步距小、推动力（矩）大、无需叉指电极、无需导线连接、不受电磁干扰、可实现非接触控制和遥控、马达主体可微小化等优点。
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公开(公告)号：CN102305776A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110139222.8
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质微球的超分辨显微成像系统，该系统采用基于传统的宽场光学显微镜系统进行改进的装置，即，在传统的宽场光学显微镜系统中，在样品表面放置一微米量级的透明小球。该系统采取的方法为：使用白光照明样品，激发样品表面产生表面等离子体倏逝波；使用微米量级的透明小球耦合表面等离子体倏逝波，并进行空间放大产生样品放大的虚像；对虚像进行二次成像并观察，从而获取样品表面的超分辨细节的显微图像，实现基于白光宽场照明的远场宽场超分辨。本发明系统分辨率精细度高，获取图像真实可靠，图像获取速度高，可以获取观察样品的即时动态图像；结构简单，成本低廉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102226855A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110139216.2
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质小球的三维超分辨聚焦方法及装置。该方法包括：将径向偏振光束入射到微米量级的透明介质小球进行聚焦，在透明介质小球的出射端得到聚焦光斑。该装置依次包括：用于产生径向偏振光束的器件、显微物镜、微米量级的透明介质小球、和用于固定所述微米量级的透明介质小球的盖玻片，径向偏振光束通过显微物镜初步聚焦后，再通过微米量级的透明介质小球进一步聚焦得到聚焦光斑。本发明利用单一光束作为系统工作光束，节约了系统成本，增加了实用性，同时聚焦后的光斑不但纵轴长度减小到0.17λ以下，而且光束质量也有提高，聚焦光斑横向尺寸也可达到系统本身的衍射极限以下，聚焦光斑体积尤其小，更有利于实际应用。
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公开(公告)号：CN102162115A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110022873.9
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法。根据模拟的多孔氧化铝膜系推导出计算公式，由预期所要得到的调控色所对应的波长，计算得到与之匹配的模板孔深，进而通过精确控制多孔氧化铝制备过程中的二次阳极氧化时间，制备所需孔深的多孔氧化铝模板，并在其表面利用单原子沉积技术沉积高反射率纳米膜层，使模板呈现出预期的调控色，实现了对多孔氧化铝颜色的调控。本发明大大提高了多孔氧化铝作为二维光子晶体的分光特性，制备出具有不同调控色的多孔氧化铝，实现了对其颜色的调控。该方法有望在激光器、集成光路、光通信、光学互连、光计算、光学信息处理等相关仪器中的微器件制备中发挥重大作用。
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公开(公告)号：CN1850581A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610050674.8
申请日：2006-05-11
Applicant: 浙江大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，XY移动平台。本发明可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN1187597C
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN03116770.5
申请日：2003-04-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种双元原子力显微镜。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由X、Y轴压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本发明的双元原子力显微镜可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN1445790A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN03116339.4
申请日：2003-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G12B21/08
CPC classification number: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种卧式原子力显微镜探头。它具有XYZ压电陶瓷及样品台组成的扫描与反馈控制器和由微悬臂探针、激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统。本发明的优点是结构简洁，技术条件易于实现。由于采用了卧式结构，使原子力方向与微悬臂的重力方向相互垂直，从而有效地避免了重力对原子力的影响，提高了原子力的作用效率和精度。因此，本发明除了原理新颖，结构简洁，易于操作等特点外，更主要的是克服了立式原子力显微镜探头的局限性。因此可获得更好的纳米检测与成像性能。广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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