-
公开(公告)号：CN104203785B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280072239.9
申请日：2012-12-17
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65H23/04 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/6776 , B65H18/103 , B65H23/185 , B65H23/198 , B65H2220/02 , B65H2513/102 , B65H2513/11 , B65H2801/61 , H01L21/67706 , B65H2220/01
Abstract: 一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。
-
公开(公告)号：CN104203779B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201280072170.X
申请日：2012-11-01
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/04
Abstract: 一种搬运基板的搬运装置，具有：支承构件，具有支承基板的一方的面的支承面，形成有贯通支承面和所述支承面的背面的多个贯通孔；保持机构，其具有气体吸引部，该气体吸引部与支承构件的背面中的、包含多个孔的第一区域相对配置；和气体供给部，该气体供给部与支承构件的背面中的第二区域相对配置，其中，第二区域是与第一区域不同的区域，所述保持机构通过相对于支承构件的背面进行气体的供给及吸引，以非接触状态保持支承构件的背面，并且经由多个贯通孔使基板吸附在支承面上。
-
公开(公告)号：CN105467627A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510795430.1
申请日：2013-04-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02F1/13 , B65H19/18 , B29C65/00 , B29C65/18 , B29C65/50 , B29C65/74 , B29C65/78 , C03B33/023 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1303 , B29C65/18 , B29C65/5057 , B29C65/7451 , B29C65/7847 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/8221 , B29C66/83221 , B29C66/83241 , B29C66/853 , B29C66/934 , B65G2249/04 , B65H19/1852 , B65H19/1873 , B65H2301/46172 , B65H2301/4621 , B65H2301/46312 , B65H2408/2171 , B65H2801/61 , C03B33/0235 , G02F1/133351 , G02F2001/133354 , Y02P40/57
Abstract: 一种基板处理装置，具有：第1安装部，其安装卷绕有长条状的第1基板的第1辊；第2安装部，其安装卷绕有长条状的第2基板的第2辊；处理机构，其将所述第1基板和所述第2基板的某一个作为处理基板，一边沿所述长边方向输送一边实施规定处理；缓冲机构，其配置在所述处理机构与所述第1安装部之间，将从所述第1辊供给的所述第1基板在规定的最长储存范围内暂时储存后，向所述处理机构送出；和基板连接更换机构，其在所述缓冲机构与所述第1安装部之间切断所述第1基板，并且将从所述第2辊供给的所述第2基板的前端部接合在所述切断的所述第1基板的终端部，并向所述缓冲机构送出。
-
公开(公告)号：CN102803109B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201180008588.X
申请日：2011-02-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65H23/038 , B65H23/32
CPC classification number: B65H23/32 , B65H23/0216 , B65H23/038 , B65H2301/31122 , B65H2553/42
Abstract: 本发明提供一种用于带状片材基板的搬送装置及处理装置，其中，搬运装置包括：第一导引滚筒(G1)及第二导引滚筒(G2)。带状片材基板（FB）即树脂薄膜或箔(膜)，是藉由以第一导引滚筒(G1)被斜向弯折并反转，亦藉由第二导引滚筒(G2)被斜向弯折并反转。根据基板(FB)上的对准标记(AM)的对准摄影机(51)进行的检测，调整机构(52、53)是使导引滚筒(G1、G2)位移或倾斜。该位移(平行移动)或倾斜是将第一及第二导引滚筒(G1、G2)之间的基板(FB)往横截方向移动。处理装置(10)是于基板(FB)的面(FP)上形成有机EL元件。替代导引滚筒(G1、G2)可使用圆锥(G3、G4)。可附加第三导引滚筒(G23)或圆锥(G27)。进而可附加第四导引滚筒(G24)或圆锥(G28)。导引滚筒及圆锥并不接触于基板(FB)的被处理面(Fp)。且基板(FB)向横截方向移动时，于基板(FB)并未产生皱折。
-
公开(公告)号：CN103380483A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201280007251.1
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/1214 , H01L2251/5338
Abstract: 基板处理装置，其具备：多个处理部，对形成为带状的基板分别进行处理；第一处理室，收容多个处理部中能执行共通次程序的第一处理部；第二处理室，收容多个处理部中的第二处理部；以及搬送部，将基板分别搬送至第一处理室及第二处理室。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102803109A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201180008588.X
申请日：2011-02-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65H23/038 , B65H23/32
CPC classification number: B65H23/32 , B65H23/0216 , B65H23/038 , B65H2301/31122 , B65H2553/42
Abstract: 本发明提供一种搬送装置，其中，搬运装置包括：第一导引滚筒(G1)及第二导引滚筒(G2)。带状片材基板（FB）即树脂薄膜或箔(膜)，是藉由以第一导引滚筒(G1)被斜向弯折并反转，亦藉由第二导引滚筒(G2)被斜向弯折并反转。根据基板(FB)上的对准标记(AM)的对准摄影机(51)进行的检测，调整机构(52、53)是使导引滚筒(G1、G2)位移或倾斜。该位移(平行移动)或倾斜是将第一及第二导引滚筒(G1、G2)之间的基板(FB)往横截方向移动。处理装置(10)是于基板(FB)的面(FP)上形成有机EL元件。替代导引滚筒(G1、G2)可使用圆锥(G3、G4)。可附加第三导引滚筒(G23)或圆锥(G27)。进而可附加第四导引滚筒(G24)或圆锥(G28)。导引滚筒及圆锥并不接触于基板(FB)的被处理面(Fp)。且基板(FB)向横截方向移动时，于基板(FB)并未产生皱折。
-
公开(公告)号：CN116507960A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202180073728.5
申请日：2021-11-02
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02B26/10
Abstract: 图案曝光装置，其具有：第1光分割器，其设置于第1光束的从第1光源装置到在基板上描绘图案的第1描绘单元之间的光路中，将第1光束的一部分分割为第1测量用光束；第2光分割器，其设置于第2光束的从第2光源装置到在基板上描绘图案的第2描绘单元之间的光路中，将第2光束的一部分分割为第2测量用光束；变动检测光学单元，其接受第1测量用光束和第2测量用光束，并检测第1光束与第2光束的相对的位置变动或者相对的倾斜变动；第1导光系统，其形成基于第1测量用光束的光路；以及第2导光系统，其形成基于第2测量用光束的光路。
-
公开(公告)号：CN107957660B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711205151.0
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。
-
公开(公告)号：CN107255908B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201710545966.7
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明涉及器件制造系统及图案形成装置，目的在于进一步减少对曝光单元带来的振动，通过曝光单元良好地进行曝光。基板处理装置(U3)具有：设在设置面(E)上的减振台(131)；设在减振台(131)上且对供给的基板(P)进行曝光处理的曝光单元(121)；和设在设置面(E)上且与曝光单元(121)以非接触的独立状态设置、并作为对曝光单元(121)进行处理的处理单元的位置调整单元(120)及驱动单元(122)。
-
公开(公告)号：CN106164779B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201580018364.5
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘的图案彼此随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。测量装置的反射光检测部设于多个描绘单元的每一个上，当检测到因投射光束的点光而从支承构件的支承面或基板反射的反射光时，基于当支承构件的基准标记位于多个描绘单元各自描绘的描绘线上时从反射光检测部输出的信号，来测量多个描绘线的配置关系。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
75
records
(took 0.026 seconds)
