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公开(公告)号：CN221360651U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202323289930.7
申请日：2023-12-04
申请人： 山东芯源微电子有限公司
IPC分类号： B05B14/00
摘要： 本实用新型公开了一种半导体膜余料回收装置，涉及半导体膜加工制造技术领域，包括支撑机构、驱动机构、夹持机构和抽吸机构，驱动机构与夹持机构连接，抽吸机构与夹持机构连接；抽吸机构包括抽吸容器和气泵，抽吸容器包括主体、抽吸管、抽气管和储存仓，主体的侧壁分别与抽吸管和抽气管连通，抽吸管的下端设有抽吸口，抽吸口低于存仓的底面；抽气管通过气管与气泵连接。负压气泵抽取抽吸容器内的空气，抽吸管下端的抽吸口产生负压，将喷涂在工作台上的流体状半导体膜余料抽吸进入储存仓，实现对半导体膜余料的回收。驱动机构包括第一驱动轨、第二驱动轨，能够带动抽吸机构的抽吸口接触或远离工作台上表面的余料，实现对抽吸作业启停状态的控制。
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公开(公告)号：CN221310515U
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202323289929.4
申请日：2023-12-04
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种半导体加工用自动配料设备，涉及半导体加工技术领域，包括传送机构和配料机构；所述传送机构包括传送带和设置在所述传送带上表面的底座，所述底座内设有重量传感器；配料机构包括流体配料组件和粉末配料组件；所述粉末配料组件包括储存仓、输料轴、齿轮组、电机和出料仓，所述储存仓设有第一出料口，出料仓与所述储存仓通过第一出料口连通；所述输料轴设置在所述第一出料口内。所述输料轴与所述第一出料口之间设有间隙，输料轴转动时能够将储存仓内腔底部的粉末状原料经间隙挤出。本实用新型结构简单，性能可靠，操作简便，实现了半导体原料的顺序、定量与自动配料，减少人力损耗，提高配料精度，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN221122910U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202323127486.9
申请日：2023-11-20
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种电子原件表面膜烘干设备，包括箱体，所述箱体一侧顶端开设有进料口，所述箱体侧壁且远离进料口的底端开设有出料口，所述箱体内部从上至下等距离设有多个传送结构，相邻两个所述传送结构呈错位设置，所述箱体外侧壁固定安装有与每个传送结构匹配的电机。本实用新型中，设置箱体、进料口、出料口、多个传送结构和电机，并且设置壳体、第二进风口、电动风扇和电加热丝组成热风结构对进入箱体内部的电子元器件表面成型膜烘干，多个传送结构在箱体内部从上到下呈交错设置，电子元器件需要经过每个传送结构表面，使得需要烘干的电子元器件可以在箱体内部停留时间更长，保证烘干效果。
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公开(公告)号：CN221066572U
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202323067776.9
申请日：2023-11-14
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型属于半导体膜技术领域，具体涉及一种半导体膜高精度冲切设备，包括工作台，工作台上安装有固定装置，固定装置上固定有半导体膜，工作台上安装有移动装置一，移动装置一的上方安装有移动装置三，移动装置三的两侧均安装有移动装置二，两个移动装置二之间可拆卸连接有冲切机；相比现有技术，本实用新型在工作台上安装有固定装置，且固定装置上固定有半导体膜，避免半导体膜在裁切的过程中发生位移或褶皱的问题，提高了半导体膜裁切的准确性和半导体膜的裁切效率，减少了裁切人员的工作量。
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公开(公告)号：CN218609666U
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202220789263.5
申请日：2022-04-07
申请人： 山东芯源微电子有限公司
IPC分类号： B02C15/12
摘要： 本实用新型属于研磨设备技术领域，具体涉及一种研磨装置，包括上支架、外罩、底座、研磨杆和驱动装置；研磨杆包括杆体、多个研磨球、挡板、弹簧和挡块；多个所述研磨球在底座内，所述底座内开设有与研磨球匹配的空腔，所述空腔的中心为凸起；相比于现有技术，利用本实用新型的研磨装置(1)只需设置驱动装置带动底座转动，底座的空腔与研磨杆和研磨球配合就能将物料研磨成微细颗粒，结构简单，成本低；(2)底座转动和研磨杆反复升降过程中，研磨球的外表面大部分能够对物料进行研磨，研磨效率高；(3)研磨杆带有弹簧，弹簧在研磨装置中始终为压缩态，能够使得研磨球对底座内表面施加压力，省去了往复电机和摆动电机。
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公开(公告)号：CN216901459U
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202220579930.7
申请日：2022-03-17
申请人： 山东芯源微电子有限公司
IPC分类号： G05D27/02
摘要： 本实用新型公开了一种长方体生产空间内温湿度控制设备，包括温湿度控制器主体，所述温湿度控制器主体底壁四个拐角处固定连接有连接座，所述温湿度控制器主体一侧侧壁固定安装有温控箱，所述温湿度控制器主体另一侧侧壁下方固定安装有固定架，所述连接座底壁中心位置固定连接有安装螺杆。本实用新型通过设置有良好的控温机构，实际进行长方体生产空间内温度控制工作时，其可以进行快速高效的加热或是制冷工作，且设置有良好的整体安装结构，实际进行整体温湿度控制设备的安装布置工作时，其安装布置的便利便捷性较好，此外设置有良好的主动加湿机构，可以主动进行长方体生产空间内的加湿工作，实际湿度控制效果较好。
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公开(公告)号：CN214554043U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202120546057.7
申请日：2021-03-15
申请人： 山东芯源微电子有限公司
IPC分类号： B02C15/14 , F16F15/067
摘要： 本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源原料研磨装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、研磨桶、定位板，上基板两端与定位板密切接触，在上基板上设有伺服电机，伺服电机通过转轴连接研磨桶内部的研磨碾轮，在上基板的下端面设有左右对称的上固定支座，在研磨桶的顶部设有左右对称的下固定支座，上固定支座和下固定支座之间设有相互铰接的上刚性杆、下刚性杆，上刚性杆、下刚性杆通过铰接轴连接，上刚性杆铰接上固定支座，下刚性杆铰接下固定支座，上固定支座和下固定支座通过复位弹簧连接，定位板通过拉紧弹簧连接铰接轴，具有良好的竖向变形能力，可以保持稳定的较小的刚度，实现对外界竖向激励的延迟响应和缓冲传递。
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公开(公告)号：CN217431942U
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202221178464.8
申请日：2022-05-17
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型涉及了一种用于含铁杂质细粉的过滤筛桶，包括净粉收纳桶和筛分桶，净粉收纳桶用于固定连接在筛分桶的底部；筛分桶的上部设有进料口，进料口处设有方便拆装的桶盖；筛分桶的下部设有筛网，筛网与净粉收纳桶之间设有第二筛网，第二筛网上分散固定有多个磁铁块，每个磁铁块的周围都紧密设有若干个落料小孔。本技术方案的过滤筛桶为全封闭空间，与相应的摇动装置或振动装置匹配使用，筛选过程扬尘量极少，有利于改善操作工的工作环境，且铁杂质去除效果好，适宜于推广使用。
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公开(公告)号：CN217093709U
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202220579835.7
申请日：2022-03-17
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种粉末材料研磨装置，包括箱体，所述箱体上下两侧壁中心位置之间开设有研磨槽，所述箱体顶壁两侧固定连接有弹簧伸缩杆，所述箱体底壁两侧固定安装有转轴座，两个所述弹簧伸缩杆顶壁固定连接有同一安装板，安装板为弹性可升降式设计，所述转轴座下方转动端固定连接有连接板，所述研磨槽内侧壁上方转动连接有研磨盘，所述研磨槽内侧壁下方滑动连接有挡板。本实用新型通过设置有弹性的粉末材料研磨机构，实际进行粉末材料研磨工作时，可以进行自适应的高效粉末材料研磨工作，且设置有良好的可调节式配合粉末材料研磨机构，实际针对不同量的粉末材料研磨时，其可以进行适应性的配合调节工作。
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公开(公告)号：CN214569825U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202120502377.2
申请日：2021-03-09
申请人： 山东芯源微电子有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源收卷装置，属于生产成型设备技术领域，包括套筒，在所述套筒外部周向等距设有伸缩杆，所述伸缩杆贯穿定位环，所述伸缩杆端部设置弧形撑板，所述伸缩杆的外侧且位于定位环与弧形撑板之间套接支撑弹簧，在所述套筒设有转轴，转杆一端铰接转轴、另一端铰接伸缩杆，所述能转轴围绕套筒定位转动，通过转杆连接的伸缩杆、弧形撑板来弹性调节卷绕直径，使得收卷半导体膜状扩散源的时候能够更加紧凑，聚氨脂海绵材质的弧形撑板在卷绕过程中利于保护半导体膜状扩散源不受损坏，有效提高卷绕效率。
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