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公开(公告)号：CN105464929A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201511016650.6
申请日：2015-12-29
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京航天长征飞行器研究所
Abstract: 本发明涉及低温真空技术领域，特别涉及一种低温泵冷屏，包括圆桶状的冷屏本体，冷屏本体的桶底固定在低温制冷机的冷头上，冷屏本体的桶壁和/或桶底朝向桶腔内侧设置有凸起。设置凸起之后使得冷屏的表面积有了较大增加，也就增加低温泵对被抽气体的冷凝接触面积，同时凸起之间的间隙提升了被抽气体与冷凝面的碰撞路径和次数，增大了对被抽气体的捕获几率，从而有效的提升低温泵对被抽气体的抽速。
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公开(公告)号：CN105422855A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510997756.2
申请日：2015-12-25
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F16J15/06
CPC classification number: F16J15/062
Abstract: 本发明公开了种高低温真空环境下玻璃与金属间直接密封结构，包括有石英玻璃、金属密封腔体端面法兰，金属密封腔体端面法兰的上端面设有半圆形凹槽，石英玻璃的下端面为平面端、上端面上设有斜面端凸台；半圆形凹槽中填充有密封用铟丝，石英玻璃的平面端置于金属密封腔体端面法兰上并与密封用铟丝接触，石英玻璃的凸台外周的台阶上设置有非金属垫片，非金属垫片上盖设有金属盖板，金属盖板的截面为台阶形，金属盖板的内侧部分盖设在非金属垫片上、外侧部分盖设在金属密封腔体端面法兰的边缘上，金属盖板与金属密封腔体端面法兰通过螺钉和垫片紧固。本发明简化了制作工艺、节约了成本，在结构上实现了玻璃的可拆并拓宽了玻璃的结构形式。
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公开(公告)号：CN102998424A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210496933.5
申请日：2012-11-29
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明公开了一种高低温测试装置，包括支撑架，还包括有内胆筒体、外罩筒体，内胆筒体固定在支撑架上，内胆筒体顶部设置有带翅片换热器的样品架，样品架周围固定有电加热装置，外罩筒体顶部设置有抽空接口，外罩筒体罩在内胆筒体外且固定在内胆法兰上，支撑架内设置有低温制冷机，低温制冷机的一级冷头、二级冷头分别伸入内胆筒体内，其中一级冷头外套有一级氦气隔离层，二级冷头外套有氦气导流隔离层。本发明体积小，温区范围宽，控温精度高，最低温可到-260℃，可实现样品在同一位置完成高温和深低温测试。
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公开(公告)号：CN116066342B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202310028913.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。
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公开(公告)号：CN116221066A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116066342A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310028913.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。
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公开(公告)号：CN113566469B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202110875057.6
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔，所述压缩机通过管道与配气腔相连通，所述配气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与液氮储罐相连通，所述阀组通过管道与预冷腔相连通，所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔，当阀组打开时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通，当阀组关闭时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断，通过引入液氮，对制冷工质先进行辅助降温，使得进入到膨胀腔的气体温度降低，可以提高制冷量效率，提升有效制冷量，并且通过一个配气阀门，同时控制氦气和液氮进入及排出，有效的提供了工作效率，同时能够有效降低液氮的消耗量，有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号：CN115324868A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211145493.9
申请日：2022-09-20
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开抽水汽低温泵，包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件；所述壳体连接所述制冷机，所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台，所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台，所述障板连接所述辐射冷屏的顶部，所述辐射冷屏位于所述壳体的内部，所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置，所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面，所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口，所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果：缩短低温泵再生时间，提高再生效果，避免对前级泵造成不利影响，提高镀膜设备的运行效率；低温泵水汽测试方法，能够优化理论计算参数，提高计算精度。
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公开(公告)号：CN114739030A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210224520.5
申请日：2022-03-07
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法，包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通，滤油器与吸附器通过气路连通，吸附器与进气连接管通过气路连通，进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通，平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通，吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀；本发明的优点在于：有效降低系统振幅，避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。
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公开(公告)号：CN112523993A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011394940.5
申请日：2020-12-03
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种吸附阵及具有该吸附阵的低温泵，吸附阵包括传热板、连接板，传热板上设置若干个低温板，低温板的外侧轮廓为圆弧形，所有低温板的外侧轮廓位于同一个虚拟的球面上；低温板上设置吸附材料。低温泵包括上述吸附阵、制冷机、壳体，壳体中设置辐射冷屏，吸附阵通过连接板安装在二级冷却台端部，连接板垂直于二级冷却台轴线，二级冷却台及吸附阵均位于辐射冷屏内部；辐射冷屏开口处设置障板，壳体开口处设置泵口法兰，辐射冷屏开口朝向与壳体开口朝向相同，辐射冷屏的轴线与壳体的轴线重合，一级冷却台、二级冷却台的轴线垂直于辐射冷屏的轴线。本发明的优点在于：H2能够直接快速的到达吸附材料并被捕获，提高低温泵对H2的抽速。
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