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公开(公告)号:CN207229325U
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201721240662.1
申请日:2017-09-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种大容量低温泵。低温泵安装于真空腔室中,其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温板组件包括:一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件,与二级冷却台热连接,吸附、冷凝来自于吸气口部的气体,且其上设有加热装置;以及至少两套远离低温泵吸气口部的二级低温板组件,与二级冷却台热连接,吸附、冷凝来自于一级低温板组件加热状态下散发的气体。该低温泵具有容量大、吸附效率高的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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