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公开(公告)号:CN201634760U
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN201020033133.6
申请日:2010-01-15
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型属于MOCVD反应设备技术领域,具体涉及MOCVD反应器。该MOCVD反应器包含反应腔,该反应腔设中放置基板的衬底托盘可通过机械传动旋转,并且薄膜生长过程中,加热器与衬底间采用真空密封,从而完全隔绝,反应气体不可能与加热组件直接接触,从而简化了设计。同时采用基片更换机构,能够反应时完成后,运动到基片更换位置,使操作人员不用打开反应腔就能方便地交换基片。
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公开(公告)号:CN2141608Y
公开(公告)日:1993-09-01
申请号:CN92221673.8
申请日:1992-11-18
Applicant: 复旦大学
Abstract: 一种引导用户正确选择三相异步感应电动机转向的接插器。目前三相电机在使用之前都要经过试运行来判断电源线是否接对,给三相电动机的安装和使用带来不便。本实用新型是能直接选定三相电机的电源相序并用于它的定转向,它主要是两组阻容移相比较电路和电源接线端、接插片(阴)组成接插器的主体,固定在电机上代替电机接线盒的座中有接插片(阳),主体与座的接插片可以正反向自由接插,电路中氖泡指示电源相序正确与否,且能反映缺相情况。
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公开(公告)号:CN2394194Y
公开(公告)日:2000-08-30
申请号:CN99240231.X
申请日:1999-11-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型涉及一种多探头的薄膜厚度测控装置。它由主计算机、计算机接口卡、数据采集卡、石英晶体探头、光探头、挡板驱动器等经电路连接构成。数据采集卡有两部分构成,分别对应石英晶体探头和光探头。探头可以多至16个。数据采集卡与接口卡之间由长屏蔽线连接。本实用新型使用多探头和微机测控,可以监测多个蒸发源,测量整个系统中的膜厚分布,并可同时监测风各镀膜机。本装置操作方便,工作稳定,成本低廉,易于推广使用。
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