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公开(公告)号：CN104034311A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410179245.5
申请日：2014-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01C9/20 , G01C2009/062 , G01C2009/185
Abstract: 成对三等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置属于角度测量技术，其中传感器单元的环形共面电容测头由一个圆形金属板和三个三分之一圆环形金属板组成，四块金属板共面同心，三个三分之一圆环形金属板沿周向均匀分布，每一块与圆形金属板形成电容，将两个上述环形共面电容测头分别安置于两个圆形绝缘基板上，两个圆形绝缘基板作为圆柱体容器的两个底面，并将此圆柱体容器横置，在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体，电位引线将八块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连，电容测量单元与倾角计算单元连接；容器发生倾斜时，两个环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化，通过测量电容容值的变化，可求得倾角值。
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公开(公告)号：CN104034264A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410263595.X
申请日：2014-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于可溯源精测尺的半导体激光器测距装置与方法属于相位激光测距技术，所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元；其测距方法包括步骤如下：步骤一、开启频率基准激光器和半导体激光器；步骤二、一束作为参考激光束，另一束作为测量激光；步骤三、以作为精测尺；步骤四、以作为粗测尺；步骤五、移动测量棱镜至目标端，分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2，最后通过公式得到被测距离值；本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾大功率、多测尺同步性与可溯源性的激光测距装置与方法的问题，具有测距灵活性高、测量效率和测量精度高、稳定性和实时性强的特点。
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公开(公告)号：CN104034256A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410179252.5
申请日：2014-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 同心共面四等分环-四等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置属于角度测量技术，其中传感器单元的环形共面电容测头由四个四分之一圆形金属板和四个四分之一圆环形金属板组成，八块金属板共面同心，四个四分之一圆环形金属板沿周向均匀分布且与四个四分之一圆形金属板一一对应、形成电容，将此环形共面电容测头安置于圆形绝缘基板上，圆形绝缘基板作为圆柱体容器底面，并将此圆柱体容器横置，在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体，电位引线将八块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连，电容测量单元与倾角计算单元连接；容器发生倾斜时，环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化，通过测量电容容值的变化，可求得倾角值。
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公开(公告)号：CN104019798A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410179235.1
申请日：2014-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C9/20
CPC classification number: G01C9/20 , G01C2009/062 , G01C2009/185
Abstract: 同心共面三等分环-圆嵌套极板倾角测量方法与装置属于角度测量技术，其中传感器单元的环形共面电容测头由一个圆形金属板和三个三分之一圆环形金属板组成，四块金属板共面同心，三个三分之一圆环形金属板沿周向均匀分布，每一块与圆形金属板形成电容，将此环形共面电容测头安置于圆形绝缘基板上，圆形绝缘基板作为圆柱体容器底面，并将此圆柱体容器横置，在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体，电位引线将四块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连，电容测量单元与倾角计算单元连接；容器发生倾斜时，环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化，通过测量电容容值的变化，可求得倾角值。
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公开(公告)号：CN103777308A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051637.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置属于光学元件调整技术领域；该装置包括反射镜、反射镜座、两个调整脚座总成、一个固定脚座总成，反射镜粘接在反射镜座上并通过三个拉簧补偿反射镜的重力变形，在反射镜座上安装有两个调整脚座总成和一个固定脚座总成，通过调整脚座和固定脚座上的防脱螺钉将反射镜座安装在测量框架上，通过调节调整脚座的差分螺钉可以实现反射镜座相对测量框架的调整，实现反射镜的调整；本发明调整精度高、结构简单，并且具有锁紧功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103528525A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310475481.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使三条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103528506A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310475593.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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公开(公告)号：CN103528503A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310475485.5
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光轴补偿及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499289A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475607.0
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499288A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475586.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，三条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使三条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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