公开(公告)号：CN101229590A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810064030.3

申请日：2008-02-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  张飞虎 ,  张龙江 ,  陈明君 ,  许乔

IPC: B23B19/02 ,  B23Q5/04 ,  F16C32/06 ,  H02K7/08

Abstract: 超精密气体静压电主轴系统，它涉及一种电主轴系统。本发明解决了现有的超精密加工装备中的主轴系统存在着回转精度差、无法实现直接驱动、电机和主轴动力的传递效果不好的问题。直流无刷驱动电机(15)上的电机轴(14)与上止推板(3)的上端面固接，主轴(4)和轴套(5)均位于上止推板(3)和下止推板(6)之间，轴套(5)套装在主轴(4)上，上止推板(3)的下端面与主轴(4)的上端面固接，主轴(4)的下端面与下止推板(6)上端面固接，所述电机轴(14)与主轴(4)同轴，所述轴套(5)上开有若干个径向节流小孔(8－1)和若干个轴向节流小孔(8－2)。本发明采用了气体静压轴承做轴向和径向支撑，保证主轴的回转精度，由于气体静压轴承具有均化轴和轴套本身几何精度的效应，可以使轴系具有很高的回转精度。

公开(公告)号：CN101157181A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200710144617.0

申请日：2007-11-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  张龙江 ,  张飞虎 ,  张景和 ,  许乔

IPC: B23Q5/00 ,  B23Q5/34

Abstract: 超精密驱动机构，它涉及一种驱动机构。本发明的目的是为解决现有直线运动的超精密工作台的缺点是静、动态刚度较低，抵抗外界干扰的能力较差的问题。本发明中间推动板的上部设置在前推动板和后推动板之间，中间推动板的下端与气浮转换块的上端相连接，前推动板内设有第一节流小孔，后推动板内设有第二节流小孔，中间推动板与前推动板之间形成第一气体静压气膜腔，中间推动板与后推动板之间形成第二气体静压气膜腔，气浮转换块内设有静压节流小孔。本发明的优点是：结构简单、工作可靠，彻底消除了丝杠驱动方向之外的两个方向的力干扰。精度高，大行程超精密工作台的直线度达到了0.17μm/600mm。承载能力高，应用范围广，可应用于多种形式的超精密工作台的驱动。

公开(公告)号：CN1253285C

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200410013586.1

申请日：2004-02-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙涛 ,  闫永达 ,  胡振江 ,  梁迎春 ,  张龙江 ,  董申

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q5/00

Abstract: 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。

公开(公告)号：CN2917929Y

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200620021020.8

申请日：2006-06-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张巨帆 ,  王波 ,  张龙江 ,  董申

IPC: B24B1/00

Abstract: 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种常压等离子体抛光设备。本实用新型的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和内炬管易腐蚀，成本高，系统的维护性不好，等离子体火焰外形难以控制等问题。本实用新型阴极(6)的外壁与外套(9)的内壁之间形成水冷环形空间(13)，阳极水冷导管(1)设置在阳极(5)的内腔(16)内。本实用新型不需要真空室，其等离子体火焰的外形可根据需要更换不同的端部盖板加以控制，有利于控制加工轨迹的重复性。不会像真空等离子体那样对超光滑表面造成表面损伤、亚表层损伤和表面污染，实现了光学零件的高效率高质量加工。

公开(公告)号：CN201988730U

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201120131133.4

申请日：2011-04-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  孙雅洲 ,  刘海涛 ,  张飞虎 ,  张龙江 ,  陈明君 ,  许乔

IPC: B23B19/02

Abstract: 一种立式超精密液体静压电主轴系统，它涉及一种静压电主轴系统。本实用新型为了解决现有的超精密加工机床中，其主轴系统刚度低，电机和主轴间的动力驱动效果差的问题。本实用新型的轴套上开设环形凹槽，轴套上开设多个轴向回路和多个径向回路，多个轴向回路和多个径向回路相连通，且多个轴向回路和多个径向回路相交于环形凹槽的槽底拐角处，两个第一半环相对套装在轴套上且位于环形凹槽内，油室套与轴套之间形成储油腔，轴套固定安装在轴系支架上，且轴套位于轴系支架内，主轴设置在轴套内，且轴套与主轴之间留有间隙，主轴的上端通过止推板与直流电机系统的输出轴固定连接，主轴的下端与刀盘固定连接。本实用新型用于立式超精密机床中。