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公开(公告)号：CN113985946A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111388290.8
申请日：2021-11-22
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G05D23/20
Abstract: 本发明公开了一种应用于MEMS倾角传感器的微型恒温腔，是在底座上设置有外壳，在外壳的顶部设置有散热片，在外壳的顶部设置有隔热环，该隔热环套装在铝导热工件上，在铝导热工件的上部分的环形凸台与隔热环的内侧壁之间的空腔中设置有TEC制冷片；在铝导热工件底部的环形腔上设置有电路板；在电路板上，并处于环形腔内设置有传感器模块；在散热片上开设有通向所述电路板的通讯线孔以及通向TEC制冷片的TEC驱动线孔，用于将所述传感器模块和TEC制冷片的与外部的控制模块连接；在所述外壳与底座组成的封闭空间内填充有聚氨酯隔热材料。本发明通过为MEMS倾角传感器构建恒温的工作条件来解决温漂问题，从而极大地提高了输出精度。
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公开(公告)号：CN113676078A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110948467.9
申请日：2021-08-18
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明公开了一种大行程和大有效行程面积比的二维压电定位台，属于压电驱动技术领域。包括底板、压电定位台、载物平台和预紧机构；预紧机构包括第一预紧机构和第二预紧机构，分别设于与两个位移放大机构的压电定位台对应侧边的底板上；压电定位台包括载物平台框架、第一位移放大机构、第一解耦机构、第二位移放大机构和第二解耦机构；第一位移放大机构和第一解耦机构为一组实现所述压电定位台在Y方向的位移输出，第二位移放大机构和第二解耦机构为一组实现压电定位台在X方向的位移输出。本发明通过两个位移放大机构的结构设计，使整体放大比达到14.4；通过调整两个解耦机构的机械机构参数，使压电定位台在X方向和Y方向的耦合误差降低至0.35%。
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公开(公告)号：CN113067497A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110326662.8
申请日：2021-03-26
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷驱动器的迟滞分割建模与补偿方法，其步骤包括：S1：利用电压放大器放大数模转换器输出的模拟电压，驱动压电陶瓷驱动器运动；S2:加载压电陶瓷驱动器至极限电压，得到其迟滞主环曲线；S3：利用S2已完成的迟滞主环，对压电陶瓷驱动器加载其他输入电压(其电压包含在主环电压范围内)，所形成的迟滞次环都可由迟滞主环得到；S4：利用高阶有理分式逼近模型中的迟滞主环，通过递推算法完成迟滞分割建模与补偿。本发明能够准确描述迟滞非线性的数学模型，并开发出一种模型简单、并且精度高的压电陶瓷驱动器迟滞模型，从而为研究压电陶瓷驱动器在超精密位移驱动系统的精确控制奠定模型基础。
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公开(公告)号：CN110361116A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910749657.0
申请日：2019-08-14
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种四压力膜结构差动型石英梁谐振压力传感器，包括压力膜层和谐振层；所述压力膜层上形成有第一压力膜、第二压力膜、第三压力膜和第四压力膜，第一压力膜的正面设有第一凸台，第二压力膜的正面设有第二凸台，第三压力膜的正面设有第三凸台，第四压力膜上的正面设有第四凸台；所述谐振层上具有镂空区，所述镂空区中形成有第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点、双端固支第一悬空石英梁以及双端固支第二悬空石英梁，各凸台与各锚点接合。本发明通过设计两组石英梁和四个压力膜，改变石英梁在压力膜上的偏置程度，使两组石英梁的谐振频率产生差值，提高传感器的灵敏度，并同时减小因环境温度波动而产生的热误差的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106225667B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610640509.1
申请日：2016-08-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置，其特征是激光器发出的光束经偏振分光棱镜分束后，其透射光投射至直角棱镜，并返回偏振分光棱镜形成参考光S；其反射光投射至平面反射镜，并返回偏振分光棱镜形成测量光P；在参考光路放置沿S方向的线偏振片；在测量光路放置沿P方向的线偏振片，实现非正交误差补偿；在线偏振片的出射光路中设置半透半反镜，使参考光和测量光合束后经消偏振分光棱镜均匀分束，其透射光经四分之一波片，再经偏振分光棱镜产生干涉信号I1和I2；其反射光经偏振分光棱镜产生干涉信号I3和I4；I1，I2，I3和I4的相位互差90°。本发明使单频激光干涉仪的非线性误差得到有效的补偿。
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公开(公告)号：CN108448928A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810425140.1
申请日：2018-05-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H02N2/06
Abstract: 本发明提供了一种多叠层压电致动器独立分时驱动装置及方法，涉及应用在精密位移平台领域，包括各层压电致动器独立驱动；驱动信号按照等电压间隔规则分离成时序相连的子信号；施加到每一层独立压电致动器上的信号为分别放大后的子信号；电压等间隔规则通过信号分离电路实现；驱动信号可以为任意需要的信号。相对于多叠层压电致动器并联的压电堆栈，通过本发明所示的驱动方法可以有效的消除其由于并联驱动导致的迟滞累加，在同一个时刻有且仅有一层压电致动器迟滞的存在，有效的降低了多叠层压电致动器位移过程中的迟滞，提高运动定位精度，同时具有操作简单、成本较低等特点。
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公开(公告)号：CN107175194A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710399333.X
申请日：2017-05-31
Applicant: 合肥工业大学
CPC classification number: B06B1/0655 , G01H17/00
Abstract: 本发明公开了一种一维闭环微纳米振动台，是以铍铜簧片作为弹性部件，在铍铜簧片的上表面设置工作台面构成弹性结构，使工作台面仅能在竖直方向形成振动位移；在工作台面的底面设置转接板，转接板与压电陶瓷致动器的位移输出头呈T形连接，由压电陶瓷致动器通过转接板驱动工作台面竖向运动；利用迈克尔逊干涉仪实时检测转接板的运动状态作为检测信号，信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器输出控制信号，实现实验台的闭环控制。本发明能够获得高精度的微纳振动，同时具有振幅和频率范围宽、输出振动重复性高、成本低、装调方便以及可以闭环控制等优势。
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公开(公告)号：CN120050620A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510234680.1
申请日：2025-02-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于电磁屏蔽场景的无线传感器数据采集系统，包括工控机、无线指令收发单元、无线信号中继单元和数据采集单元。分别采用ZigBee、Wi‑Fi方式搭建指令链路和数据链路，系统数据链路的运行受控于指令链路，使得系统节点在保持了较低功耗的情况下拥有较高的数据传输带宽；系统指令链路采用两级ZigBee星型网络通过硬件串联搭建，可以实现对处于相对封闭、存在电磁屏蔽效果的物品内部的采集节点的稳定通信，拓宽了无线传感器网络的应用场景。整个系统的控制运行由通过配套的上位机软件完成，软件主要向操作人员提供当前系统各单元状态，并提供自动化的处理操作，简化操作。
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公开(公告)号：CN119727448A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411869717.X
申请日：2024-12-18
Applicant: 江淮前沿技术协同创新中心 , 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了本发明公开一种谐振型非对称刚度压电惯性驱动直线马达，包括凹槽基座及能够相对凹槽基座移动的惯性驱动机构；所述惯性驱动机构包括主惯性体、惯性体一、惯性体二、压电位移放大机构一、压电位移放大机构二。本发明中，通过调整菱形位移放大机构斜边角度能够得到两个对称刚度的压电位移放大机构，从能够得到第一纵向振动模态和第二纵向振动模态两个有效的振动模态，使两个有效振动模态下的固有频率比值为2:1，通过激励压电位移放大机构一和压电位移放大机构二能够使惯性驱动机构产生第一纵向振动模态固有频率和第二纵向振动模态固有频率下的正弦运动，匹配频率方便，提高了功率输出能力。
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