一种带有金属衬底的微型集成波导分束器件及其加工制备方法

    公开(公告)号:CN108535806A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810457229.6

    申请日:2018-05-14

    Applicant: 台州学院

    Abstract: 本发明公开一种带金属衬底的微型集成波导分束器,包含以下组件:纳米天线、波导层、耦合层及金属衬底。所述的纳米天线采用高折射率的纯电介质材料。所述的纳米天线尺寸与入射光波长同量级。所述的耦合层根据工作波长,满足FP共振条件。本发明还公开一种制备所述的带金属衬底的微型集成波导分束器的微纳米加工方法,包含以下步骤:硅片清洗、镀金膜、退火、镀SiO2膜、镀Si膜、样品清洗、光刻、镀Si膜与剥离、样品清洗、离子束刻蚀加工。

    机械手式自动插片方法

    公开(公告)号:CN105013788B

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510517781.6

    申请日:2015-08-23

    Abstract: 本发明涉及自动化技术领域,尤其涉及一种机械手式自动插片方法及控制器,该方法包括设备准备、机械手试教、复位检查、上料、自动分片、自动插片、洗篮走位步骤。该控制器采用机械手内部控制器电连接有限位开关、电磁阀、继电器、步进驱动器,控制器预设程序,限位开关分别检测推板的左极限位、右极限位,限位开关与控制器的输入端口电连接。本发明采用工业通用的六自由机械手作为自动插片的核心部件,分片机构和洗篮平移机构配合机械手,机械手沿固定轨迹运动,缩短了运动时间,提高了生产效率,开发周期也大幅减少;六自由机械手为工业级机械手,其通用性好,移植率高;整个装置自动程度高,可节约人工成本。

    机械手式自动插片方法及控制器

    公开(公告)号:CN105013788A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510517781.6

    申请日:2015-08-23

    CPC classification number: B08B13/00 B08B3/12

    Abstract: 本发明涉及自动化技术领域,尤其涉及一种机械手式自动插片方法及控制器,该方法包括设备准备、机械手试教、复位检查、上料、自动分片、自动插片、洗篮走位步骤。该控制器采用机械手内部控制器电连接有限位开关、电磁阀、继电器、步进驱动器,控制器预设程序,限位开关分别检测推板的左极限位、右极限位,限位开关与控制器的输入端口电连接。本发明采用工业通用的六自由机械手作为自动插片的核心部件,分片机构和洗篮平移机构配合机械手,机械手沿固定轨迹运动,缩短了运动时间,提高了生产效率,开发周期也大幅减少;六自由机械手为工业级机械手,其通用性好,移植率高;整个装置自动程度高,可节约人工成本。

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