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公开(公告)号：CN103913226B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410113837.7
申请日：2014-03-25
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种光谱测量装置，属于光学测量技术领域。本发明的光谱测量装置，包括光学准直装置、光散射器件、阵列式探测芯片，以及与所述阵列式探测芯片连接的数据采集与分析系统；经由光学准直装置准直后的入射光经由光散射器件形成散射光，并被阵列式探测芯片接收；所述光散射器件可令不同频率的入射光形成不同的散射光强角分布，且相同频率的入射光在光散射器件的不同部位所产生的散射光强分布也不同。本发明还公开了一种采用上述装置的光谱测量方法。相比现有技术，本发明具有体积更小、结构复杂度及制作成本更低的优点，并提出了一种新的光谱测量技术途径。
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公开(公告)号：CN104142178B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201410357523.1
申请日：2014-07-24
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种基于滤波膜阵列的光谱测量装置，包括沿入射光传播方向依次设置的光学准直装置、滤波膜阵列、探测阵列芯片；所述滤波膜阵列包括一组平行且在入射光方向上互不重叠的滤波膜，各滤波膜在所述探测阵列芯片的测量波段范围内的透射谱线互不相同；所述滤波膜阵列中的每一片滤波膜均有至少一个所述探测阵列芯片的像素元与其正对。本发明还公开了使用上述光谱测量装置的光谱测量方法。相比现有技术，本发明易于制作，成本低廉，利于实现批量生产。
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公开(公告)号：CN104713646A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510066648.3
申请日：2015-02-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种宽频光谱仪及其光谱复原方法。该光谱仪包括分光器件、阵列式探测芯片，以及数据采集与分析系统；分光器件可令不同频率的入射光经过后在阵列式探测芯片表面形成不同的光强分布，且相同频率的入射光经过分光器件的不同部位所产生的光强角分布也不同；该光谱仪还包括设置于所述分光器件之前或之后的光波长转换部件，所述光波长转换部件包括波长转换层，所述波长转换层中包含至少一种波长转换光学材料；波长转换光学材料的部分或全部吸收光谱超出所述阵列式探测芯片的探测范围，而其发射光谱全部在所述阵列式探测芯片的探测范围内。相比现有技术，其具有结构简单、价格低廉、灵敏度高、光谱测量范围宽等优点。
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公开(公告)号：CN102636491B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210111269.8
申请日：2012-04-17
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体波的半导体缺陷检测方法，用于检测半导体表面平整度或半导体薄膜内部缺陷。本发明利用频率小于半导体等离子体频率的电磁波入射向刀片刃口与待测半导体之间的狭缝，从而在半导体表面产生表面等离子体波。该表面等离子体波可以从另一刀片刃口与待测半导体之间的狭缝位置处耦合为空间辐射电磁波，从而被探测器接收。通过改变刀片与半导体在水平方向的相对位置，当待测半导体表面或内部存在的缺陷的位置有表面等离子体波经过时，出射电磁波信号会产生相应变化，从而可根据此原理对半导体表面不平整或半导体内部缺陷进行检测。相比现有技术，本发明方法具有适用范围广、使用灵活、检测精度高、检测样品无损伤等优点。
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公开(公告)号：CN102564586B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201210004166.1
申请日：2012-01-09
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明提供一种衍射孔阵列结构微型光谱仪及其高分辨率光谱复原方法，衍射孔阵列结构微型光谱仪基本结构包括：一个构建在基底表面挡光层上的孔径大小不等的微型衍射孔二维阵列；基底材料采用透明材料；在基底的下方对应设有探测阵列芯片，一个衍射孔对应一个探测阵列芯片的像素元；在基底和探测阵列芯片中间有一层遮光板，遮光板把每个CCD像素元的大部分面积遮住，遮光板上有一系列孔径相同的透光孔；每一个衍射孔都正对着一个透光孔，其下是每个CCD像素元。由于入射光通过基底上方的衍射孔后会发生衍射现象，因此下方所对应的CCD像素元能探测到一定的衍射光光功率。因为阵列上的各个衍射孔孔径大小不等，其下方所对应的各个CCD像素元所测得的衍射光光功率大小也不同，对各个CCD像素元所测得数据进行反演就可以得到入射光的光谱信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102928079A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210391637.9
申请日：2012-10-16
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括：入射光准直装置；一层基底，采用透明材料制作；一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同；包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接；所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。本发明在保证与现有衍射孔阵列结构微型光谱仪性能相当的前提下，更易于加工，制作成本更低。
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公开(公告)号：CN102721670A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210216218.1
申请日：2012-06-28
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/55
Abstract: 本发明公开了一种半导体等离子体频率测量方法。本发明首先将两个金属刀片平行设置在待测半导体表面上方，然后向其中一个刀片刃口与待测半导体表面之间的狭缝发射宽频电磁波，在待测半导体表面激发出表面等离子体波，并利用设置在另一刀片外侧的光谱分析装置接收耦合出的电磁波；通过调整宽频电磁波频率以及两个刀片的间距，使得光谱分析装置刚好不能接收到入射宽频电磁波的全部频率信号，记录下此时光谱分析装置所能探测到的最大频率值；将该最大频率值乘以，即为待测半导体的等离子体频率。本发明方法利用表面等离子体波在半导体表面的传播特性对半导体等离子体频率进行准确实时地测量，具有实现成本低、对半导体无损伤、测量范围广等优点。
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公开(公告)号：CN101858786B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN200910264251.X
申请日：2009-12-29
Abstract: 相位调制台阶阵列微型光谱仪，包括一个构建在基底(3)上表面的微型干涉仪二维阵列，每个微型干涉仪设有第一台阶(1)，第一台阶(1)在不同的微型干涉仪中高度不同，在基底(3)的下表面设有CCD(4)，在基底(3)和CCD(4)中间有一层遮挡物(7)；遮挡物(7)把大部分CCD面元遮住，在每一个微型干涉仪下方的遮挡物(7)上留有透光孔，透光孔的孔径小于CCD(4)所能探测到的入射光波的最小波长，第一台阶的宽度与入射光波波长处于同一量级，第一台阶的最大高度也为入射光波波长量级，在微型干涉仪二维阵列的上方有两个共焦的透镜(6)，在两个共焦的透镜(6)之间的焦点处的遮光板中有一个小孔(5)。解决了体积较大、对振动敏感、制作成本较高、分辨率较低、测量频带宽度较窄等技术问题。
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公开(公告)号：CN101788473B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200910264254.3
申请日：2009-12-29
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明是一种微型自相干生物化学传感器及其检测方法，该传感器自上至下顺序设有覆盖层(2)、生物化学溶液(3)、基底(4)、遮挡板(6)、探测器(5)，台阶(1)插入覆盖层(2)、生物化学溶液(3)位于基底(4)上，平行入射单色光(7)垂直入射于台阶(1)和覆盖层(2)的上表面；在遮挡板(6)中设有透光孔(8)，该透光孔(8)位于台阶(1)边缘下方的位置。解决了背景技术中器件所占体积较大、检测需要加入标记、制作复杂、成本较高等技术问题。
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公开(公告)号：CN101881663B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200910264253.9
申请日：2009-12-29
Abstract: 本发明是一种相位调制阵列微型光谱仪光谱复原方法，该方法为：1)对入射光进行光学整形，2)对CCD所得数据进行修正，3)根据CCD的频率探测范围[fa，fb]以及微型干涉仪的数量n，将该频段分成n等份，4)根据事先测得的各个频率的光通过各个微型干涉仪的透射率，以及各CCD实际所测值，组成一个线性方程组；5)该线性方程组用Tikhonov正则化方法求解；6)光谱辐射定标，得到入射光的光谱；7)如果需要较高的光谱频率分辨率，需要再次进行光谱复原。本方法解决了背景技术中入射光不均匀，测量频率范围宽的同时如何保证分辨率高且没有明显失真等技术问题。
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