公开(公告)号：CN209312705U

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201822123391.2

申请日：2018-12-17

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 李成明 ,  王琦 ,  王新强 ,  张国义

IPC: H01J29/58 ,  H01J29/56

Abstract: 一种紫外阴极射线光源系统，包括阴极射线发射装置、电子聚焦加速装置、第一反光杯、发光薄膜材料、光束整型器件、聚焦透镜和第二反光杯，光束整型器件设于第一反光杯内，发光薄膜材料同时位于第一反光杯焦点位置处和光束整型器件焦点位置处，聚焦透镜位于第一反光杯出口处、且聚焦透镜的聚焦点位于第二反光杯焦点位置处，阴极射线发射装置发出的电子束源经过电子聚焦加速装置加速、并注入发光薄膜材料，从发光薄膜材料发出的光经过第一反光杯反射和光束整型器件后形成平行光束出射光，该平行光束出射光经过聚焦透镜聚焦、并经过第二反光杯反射后形成相应尺寸的平行光束，大大提高了紫外光源的质量，可应用范围更广。

公开(公告)号：CN216237371U

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202121824546.0

申请日：2021-08-05

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 王忠强 ,  陶仁春 ,  王琦 ,  张国义 ,  王新强

IPC: C30B25/20 ,  C30B25/12 ,  C30B29/04

Abstract: 本实用新型涉及晶体合成技术领域，尤指一种金刚石圆片径向生长装置，包括升降式旋转支架和晶圆夹持单元，升降式旋转支架包括升降杆装置和至少两组平行设置的旋转轴，旋转轴安装在升降杆装置的顶端；晶圆夹持单元用于将多片金刚石圆片同轴夹持成圆柱状，晶圆夹持单元放置在两个旋转轴之间。本实用新型的装置通过晶圆夹持单元夹持多片金刚石圆片，其中外面的两片作为配片用于保护夹在中间的金刚石圆片的底面，使得中间的金刚石圆片只在侧面外延生长，在长周期的生长过程中能很好地保持金刚石圆片的圆度及厚度。