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公开(公告)号：CN102627256B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210111788.4
申请日：2012-04-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 基于微纳集成加工技术的三维减阻微流道结构及制备方法，涉及微加工技术领域。利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，增大其表面积和体积比；同时可在其表面淀积一层氟基聚合物，降低表面能，实现具有超疏水特性的表面结构，进而实现真正三维减阻微流道结构。本发明的有益效果：在不破坏原有微米尺度结构的基础上，生长高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，可实现纳米森林对微米尺度沟槽的100％覆盖，从而实现真正的三维减阻微流道。可以极大地提高其面积体积比，降低表面能，使得微流道表面具有超疏水特性，从而实现优异减阻的效果。工艺简单，成本低廉，易于产业化。
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公开(公告)号：CN102868318B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201210326051.4
申请日：2012-09-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种基于PVDF的微型复合式能量采集器及制备方法，利用柔性聚合物压电材料PVDF制备成悬臂梁结构，通过PVDF压电悬臂梁发生谐振，利用压电效应将振动能转化为电能；同时，与之固接的包含磁性纳米颗粒的PDMS质量块随着PVDF压电悬臂梁的振动也一起振动，使穿过电镀在基底上的平面螺旋线圈的磁通量发生变化，产生感应电动势，从而在外加负载上输出功率。本发明的复合式能量采集器采用聚合物压电材料PVDF来代替传统压电材料PZT，并通过压电式和电磁式两种方式进行能量采集，使得能量采集器的输出功率及效率可以显著提高，并且与生物兼容。
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公开(公告)号：CN103778867A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410016459.0
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种自驱动可视化电子皮肤，所述电子皮肤包含显示模块和发电模块，发电模块的两电极分别与显示模块的两电极相连，所述显示模块由m×n个显示单元组成，每个显示单元均为液晶显示屏或电润湿显示屏；所述发电模块由m×n个发电单元组成，每个发电单元均为摩擦发电机或压电发电机，其中，m、n为正整数。
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公开(公告)号：CN103391021A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310319347.8
申请日：2013-07-26
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明涉及一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法，所述方法包括步骤1：从已有纳米摩擦发电机中取出易得电子的摩擦材料层；步骤2：对等离子体设备进行初始化和等离子体稳定，以使等离子体辉光放电；步骤3：调控等离子体设备工艺参数，采用八氟环丁烷作为反应气体，对易得电子的摩擦材料层表面进行化学修饰；步骤4：将化学修饰后的易得电子的摩擦材料层装配回纳米摩擦发电机，即得高性能纳米摩擦发电机。本发明提出的一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法工艺简单、成本低、产率高、可批量生产，且工艺兼容性优异，不受器件结构、材料等限制，可广泛应用于已有摩擦式纳米发电机，提高其输出性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103389325A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310317692.8
申请日：2013-07-26
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统，所述系统包括：纳米摩擦发电机、控制电路和显示单元，其中，纳米摩擦发电机的上下电极板通过导线与控制电路和显示单元进行连接。本发明利用纳米摩擦发电机输出特性随环境湿度变化而变化的特性，通过控制电路采集变化的电信号，再通过显示单元进行湿度数值实时可视化显示。综上，本发明提出的一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统，利用纳米摩擦发电机，既可实现系统自供能，又能实现环境湿度检测，其结构简单、成本低、可批量生产，无需外部供能，在物联网领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103107737A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310024565.9
申请日：2013-01-23
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及MEMS集成加工领域，具体涉及一种基于压电摩擦复合式微纳发电机及其制备方法，采用压电薄膜构成压电型发电机，利用压电薄膜金属电极与其它柔性聚合物材料对电荷束缚能力的差异构成摩擦型发电机。同传统的压电型发电机、摩擦型发电机相比，将压电与摩擦复合，并通过合理的外电路连接方式，可以高效地为电容充电，并提供高达百伏的电压输出。综上所述，本发明提出的压电摩擦复合式微纳发电机及其制备方法成本低、产率高、工艺简单，而且具有高电压输出和很强的充电能力。发电机结构包括：压电薄膜、压电薄膜电极、具有微纳复合结构的柔性聚合物材料、聚合物材料电极。
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公开(公告)号：CN103011061A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210551994.7
申请日：2012-12-18
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微机械系统制造领域，具体涉及微纳米加工技术领域，尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法，包括任选的处理基底；电镀Cu线圈；电镀Cu支撑柱；电镀Cu振动板与折形梁；电镀永磁体阵列；去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。这种能量采集器能够通过线圈的串联来提高输出电压。通过永磁体CoNiMnP合金的制备可以实现整体集成化加工的要求。同时新结构的设计使得能量采集器的输出电压有较大的提升，使得采集能量的效率得到了极大的提升。同时，通过改变永磁体阵列的几何尺寸和摆放位置，也可以实现对能量采集器的优化。通过振动板与折形梁的厚度和长度的改变，可以实现对输出电压和谐振频率的改变。
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公开(公告)号：CN103000362A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210526634.1
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微纳加工领域，特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感，和折叠之前相比，性能有明显提升；和传统工艺制备的三维立体电感相比，具有工艺步骤简单，成本低的优点。利用本方法制备的电感具有性能好，体积小，柔性（可弯曲可折叠），生物兼容性好，制备方法简单等特点，并可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。
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