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公开(公告)号：CN111247622B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980005186.0
申请日：2019-06-12
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K26/064 , B23K26/57 , H01L21/301 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种工件分离装置及工件分离方法。所述工件分离装置对层叠体的分离层均匀地照射脉冲激光。所述工件分离装置的特征在于，具备：保持部件，在隔着因吸收激光而变质成能够剥离的分离层层叠包括电路基板的工件和透过激光的支承体的层叠体中，将工件保持成装卸自如；激光照射部，透过保持于保持部件的层叠体的支承体而朝向分离层照射作为激光而脉冲振荡的高斯光束；及控制部，对激光照射部进行动作控制，控制部在从激光照射部脉冲振荡的激光中，将相邻的高斯光束的中心彼此的间隔控制为在将高斯光束的光束分布中的光束直径与照射强度的关系视为正态分布时小于标准偏差的3倍。
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公开(公告)号：CN105359203B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201380077770.X
申请日：2013-06-27
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/133308 , G02F1/133608 , G02F2001/133325 , G02F2202/28 , H01L51/5246
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造方法，其控制以第1基板及第2基板夹住的粘结剂的外缘部的伸展，从而以粘结剂涂满整个显示区域。在第1基板(1)或第2基板(2)中的任一个或双方，以配置于显示区域(D)内的方式供给粘结剂(3)之后，以粘度保持粘结性的状态下变得高于其他部位的粘度的方式对粘结剂(3)的外缘部(3a)中除特定部位(3a’)以外的填充部位(3b)进行半固化。之后，以夹住粘结剂(3)的方式重叠第1基板(1)与第2基板(2)，由此粘结剂(3)的外缘部(3a)中未半固化状态的特定部位(3a’)由于在第1基板(1)与第2基板(2)之间产生的毛细管现象或自然流动或加压流动而朝向比粘结剂(3)的外缘部(3a)更靠外侧的未填充区域(D1)伸展，从而遍及整个显示区域(D)内。
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公开(公告)号：CN104369517B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201410405931.X
申请日：2014-08-13
Applicant: 信越工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板保持于腔室内的第一保持部件且第二基板保持于第二保持部件后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向即Z方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下驱动机构的按压部通过空间部且沿厚度方向与第一基板的膨胀部抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此压扁膨胀部使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。
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公开(公告)号：CN104904004B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380069904.3
申请日：2013-01-09
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6838
Abstract: 本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触，从而板状工件(W)从粘附部(1)被剥离。之后，在保持使剥离部(2)的按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触的状态下，使板状工件(W)的周围大气开放，从而空气通过流路(2p)从剥离部(2)的外侧空间(S2)向内侧空间(S1)流入，剥离部(2)的内侧空间(S1)与板状工件(W)之间被真空破坏。
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公开(公告)号：CN106125352A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610294733.X
申请日：2016-05-06
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
CPC classification number: G02F1/1303 , H01L21/67121
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造方法及贴合设备的制造装置。能够与各形状无关地以所希望的厚度可靠地贴合第一工件及第二工件。该制造方法隔着粘结剂重叠对置的第一工件与第二工件，通过粘结剂固化来贴合第一工件及第二工件，包括：前工序，沿第一工件的第一接合面形成表面具有凹部及凸部的第一粘结剂来作为粘结剂；中间工序，供给成为粘结剂的液态的第二粘结剂并隔着第二粘结剂重叠第一工件与第二工件；及后工序，使第二粘结剂固化来贴合第一工件的第一接合面与第二工件的第二接合面，在中间工序中，以第二粘结剂被供给至第二工件或第一粘结剂来填充第一粘结剂的凹部且第二工件的第二接合面与第一粘结剂的凸部接触的方式，重叠第一工件与第二工件。
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公开(公告)号：CN101316777A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680000751.7
申请日：2006-09-29
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
IPC: B65G49/06 , H01L21/683
CPC classification number: B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , H01L21/67742 , H01L21/6831
Abstract: 本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件3使静电吸盘2附着到保持板1上；用附着的静电吸盘2吸附保持工件A，同时用隔离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离，据此工件A不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位置；停止静电吸盘2的静电吸附功能后，用附着部件3再度只将静电吸盘2附着到保持板1上，从移动到释放位置的工件A的表面剥离静电吸盘2，而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明，即使是薄且刚性低的工件，也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。
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公开(公告)号：CN117043836A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202180094651.X
申请日：2021-07-20
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
IPC: G09F9/00
Abstract: 本发明提供一种即使不利用特别的对准标记或布线等也能够高精度地贴合显示体构成要素图案形成到基板端部附近的显示基板的装置及方法。一种显示基板的贴合装置，其进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合，其特征在于，具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构，所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板的特征及所述第二基板的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点，所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理，以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点，然后完成位置对准，并且进行贴合。
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公开(公告)号：CN114121755A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110850800.2
申请日：2021-07-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种吸收因层叠体的自重引起的挠曲变形而实现稳定的保持的工件分离装置，其特征在于，具备：保持构件，拆装自如地保持工件或支承体中的任一方；以及光照射部，透过保持于保持构件的层叠体的支承体或工件中的另一方朝向分离层进行光照射，保持构件具有：工作台，与层叠体的工件或支承体中的任一方对置；固定支承部，从工作台朝向层叠体突出且在顶端具有无法向突出方向移动的静止吸引垫；以及可动支承部，从工作台朝向层叠体突出并在顶端具有向突出方向移动自如且能弹性变形的随动移吸引垫，将固定支承部和可动支承部组合并分别分散配置多个，并且随动吸引垫被配置为能比静止吸引垫朝向层叠体突出。
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公开(公告)号：CN111247622A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201980005186.0
申请日：2019-06-12
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K26/064 , B23K26/57 , H01L21/301 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种工件分离装置及工件分离方法。所述工件分离装置对层叠体的分离层均匀地照射脉冲激光。所述工件分离装置的特征在于，具备：保持部件，在隔着因吸收激光而变质成能够剥离的分离层层叠包括电路基板的工件和透过激光的支承体的层叠体中，将工件保持成装卸自如；激光照射部，透过保持于保持部件的层叠体的支承体而朝向分离层照射作为激光而脉冲振荡的高斯光束；及控制部，对激光照射部进行动作控制，控制部在从激光照射部脉冲振荡的激光中，将相邻的高斯光束的中心彼此的间隔控制为在将高斯光束的光束分布中的光束直径与照射强度的关系视为正态分布时小于标准偏差的3倍。
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公开(公告)号：CN106313858B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201610509484.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供贴合设备的制造装置及制造方法。去除残留在下侧工件的局部应力以平滑状态与上侧工件贴合。上侧保持部件具有上侧工件保持无法移动的保持部。下侧保持部件具有：浮起部，具备在与下侧工件间产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整分离压力及接近压力的机构。控制部相对下侧保持部件使下侧工件保持浮起部的分离压力及接近压力的平衡，下侧工件从下侧卡盘面浮起非接触地被支承。从浮起部切换为接触保持部，使接近压力比分离压力逐渐增大，下侧工件被接触保持在下侧卡盘面。通过升降驱动部使上侧保持部件或下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过保持部被保持在上侧卡盘面的上侧工件与下侧工件重叠。
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