有机电致发光显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN103035851A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210362751.9

    申请日:2012-09-26

    CPC classification number: H01L27/3211 H01L51/0018

    Abstract: 本发明涉及一种有机电致发光显示装置的制造方法。提供使得能够制造抑制显示故障的高分辨率有机电致发光显示装置的有机电致发光显示装置的制造方法。有机电致发光显示装置的制造方法包括各自包含至少包含发光层的有机化合物层的多个有机电致发光元件,该方法包括:在基板上形成有机化合物层;在有机化合物层上依次形成中间层和抗蚀剂层;通过光刻方法去除抗蚀剂层的一部分;和通过干式蚀刻选择性地去除抗蚀剂层的所述一部分被去除了的区域中的中间层和有机化合物层,遮光层具有阻挡具有大于或等于190nm且小于或等于360nm的波长的光的功能。

    半导体基片及其制备方法
    46.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1139969C

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN98109689.1

    申请日:1998-03-26

    CPC classification number: H01L21/2007

    Abstract: 提供一种制备高质量的SOI晶片且具有极好的可控性和生产率、经济的方法、以及用该方法制备的晶片。在利用键合晶片制备基片的方法中,相互键合第一基片部件和第二基片部件,然后在形成于第一基片部件主表面的第一层和第二层的界面分离第二基片部件与第一基片部件,由此第二层转移到第二基片部件。在分离过程中,通过改变多孔Si层的孔隙率的方法、使多孔Si的孔聚集形成容易分离面的方法、在界面进行离子注入的方法、或利用异质外延界面的方法来确保分离位置在第一第二层的界面。

    半导体衬底及其制造方法
    47.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1127120C

    公开(公告)日:2003-11-05

    申请号:CN99122409.4

    申请日:1999-09-03

    Inventor: 佐藤信彦

    Abstract: 本发明提供一种半导体衬底,该衬底包括在多孔层上形成的晶体缺陷较少的非多孔单晶层,并且提供制造该衬底的方法。该制造半导体衬底的方法包括:提供包含多孔硅层的衬底的步骤,热处理多孔硅层的热处理步骤,以及在多孔硅层上生长非多孔单晶层的生长步骤,其中,在包含氢气的还原气氛或惰性气体的气氛或超高真空气氛中进行热处理的步骤,使得因热处理而腐蚀的硅厚度不大于2nm,且使由热处理后的雾值与热处理前的雾值的比值所定义的热处理前后多孔硅层表面的雾值变化率r满足1≤r≤3.5的关系。

    半导体基片的制作方法
    48.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1099698C

    公开(公告)日:2003-01-22

    申请号:CN97105478.9

    申请日:1992-02-15

    Abstract: 本发明是关于多孔硅腐蚀液,使用该腐蚀液的腐蚀方法以及使用该腐蚀液制作半导体基片的方法,其优点在于,提供不给半导体工艺带来不良影响、不腐蚀非多孔硅、并能高效率、均匀地对多孔硅进行化学腐蚀的腐蚀液,该腐蚀液可以是氢氟酸;制作半导体基片的制造方法包括如下工序:形成具有非多孔硅单晶层和多孔硅层的衬底,将有绝缘性材料表面的衬底接合在该单晶层的表面上,用浸入氢氟酸的方法腐蚀除去多孔硅层。

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