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公开(公告)号:CN1736717A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200510092607.8
申请日:2005-08-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603
Abstract: 在具有与通电相应地产生为了喷出墨水而使用的热能的发热单元的喷墨头用基板上,可以高精度形成发热单元,在可以实现发热单元的小面积化的同时,抑制电极布线的腐蚀及其进行。为此,在基板上配置由耐腐蚀性金属构成的薄膜的第1电极101,在其上重叠用Al形成的第2电极103,进而配置发热电阻层107,用第1电极的间隙形成发热单元。由此可以不会产生大尺寸偏差地形成发热单元。即使在发热单元上或者附近产生保护层的缺陷,因为发热电阻层的材料比Al耐侵蚀强并且第1电极是耐腐蚀性电极,所以可以抑制腐蚀的进行。
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公开(公告)号:CN1736715A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200510092603.X
申请日:2005-08-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603
Abstract: 本发明是一种具有与通电对应地发生用于喷出墨的热能的发热部的喷墨头用基板,既可谋求对于发热部的布线电阻的减少,又可防止基板的大型化,可进行实现记录的高清晰化用的发热部的高密度安装。为此,通过用第1和第2电极布线层103、104构成电极布线,减小了对于发热部102的布线图形在基板上所占的面积。此外,为了防止热效率下降,进行发热部上的有效的保护绝缘层的薄膜化,根据电极布线层的厚度,在发热部上除去电极布线层上的一方的保护绝缘层。
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公开(公告)号:CN1732086A
公开(公告)日:2006-02-08
申请号:CN200380107491.X
申请日:2003-12-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 为了提高具有与用于喷墨头的衬底中的油墨相接触的部分的保护层与树脂层之间的粘着性,从而在长时间内确保质量上的可靠性,本发明提供了用于喷墨头的衬底,所述衬底包括构成生热部分的生热电阻器、与所述生热电阻器电连接的电极布线;以及设在所述生热电阻器和所述电极布线的上方的上部保护层,其特征在于,在形成其中Ta层被层压在由TaCr合金所形成的层上的上部保护层之后,选择性地对所述Ta层形成图案以及选择性地去除所述Ta层,从而在通过所述去除露出由所述TaCr合金所形成的层的部分中形成液体流径元件。
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公开(公告)号:CN1195629C
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN02128577.2
申请日:2002-08-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16 , H01L21/324
CPC classification number: B41J2/1604 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 在形成有墨水喷出能量发生元件的Si基板上,从形成有墨水喷出能量发生元件的面的相反侧面、即背面进行各向异性蚀刻来形成墨水供给口9。在进行各向异性蚀刻时,使存在于Si基板背面的OSF(氧化诱起叠层缺陷)的密度为2×104个/cm2以上,并且使该OSF的长度为2μm以上。
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公开(公告)号:CN1193882C
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN02140627.8
申请日:1997-08-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1604 , B41J2/14129 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 一种用于制造喷墨记录头的方法,所述喷墨记录头具有用于排放油墨的油墨排放开口,用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件,以及其中包括所述产热元件并同时和所述油墨排放开口导通地连接的油墨流动通路,所述产热元件使用由Ta-Si制成的合金靶,并且通过反应溅射系统在一种混合气体环境中形成,该产热元件具有不小于150Ω/□的薄膜电阻,所述混合气体包括氮气和碳气之一以及氩气。
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公开(公告)号:CN1192889C
公开(公告)日:2005-03-16
申请号:CN01132845.2
申请日:2001-07-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1646 , B41J2/14048 , B41J2/14129 , B41J2/1604 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种喷墨头基片,其包括一形成加热部分的发热电阻元件,一与该发热电阻元件电连接的电极布线,以及一经由绝缘保护层提供在发热电阻元件和电极布线上的抗空蚀膜,其中该抗空蚀膜由多于两层的不同材料构成。
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公开(公告)号:CN1136098C
公开(公告)日:2004-01-28
申请号:CN00120178.6
申请日:2000-06-02
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/14153 , B41J2/14048 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14354
Abstract: 本发明提供了一种排液头,其包括一基体,一连接到基体上的顶板,一成形在基体和顶板之间的液体流通通道,和一具有一固定在基体上的固定端和一延伸到液体流通通道中的自由端的悬臂状可移动元件,其中通过从基体的一侧面上依次堆叠一底部防护层,一发热电阻层,一下部电极层,一隔离层,一上部电极层,和一上部防护层而形成所述可移动元件,并且通过向发热电阻层的发热区供给电压使得可移动元件和基体之间的液体流通通道中的液体发泡而排出液体。
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公开(公告)号:CN1089692C
公开(公告)日:2002-08-28
申请号:CN97117706.6
申请日:1997-08-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1604 , B41J2/14129 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 一种用于喷墨记录头的基片,具有用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件。该产热元件由用TaxSiyRz表示的材料制成的薄膜构成,该薄膜具有4000μΩ·cm或更小的电阻率值,其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素,并且x+y+z=100。具有这样的结构,产热元件即使连续长时间使用,电阻值的改变也处在小的数量之内,因而可以提供高质量的记录图象,且寿命长、可靠性高。
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公开(公告)号:CN1174783A
公开(公告)日:1998-03-04
申请号:CN97117706.6
申请日:1997-08-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1604 , B41J2/14129 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 一种用于喷墨记录头的基片,具有用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件。该产热元件由用TaxSiyRz表示的材料制成的薄膜构成,该薄膜具有4000μΩ·cm或更小的电阻率值,其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素,并且x+y+z=100。具有这样的结构,产热元件即使连续长时间使用,电阻值的改变也处在小的数量之内,因而可以提供高质量的记录图象,且寿命长、可靠性高。
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公开(公告)号:CN111617651B
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202010122219.4
申请日:2020-02-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B01F23/235 , B01F35/93
Abstract: 本公开提供了能够高效地生成具有高纯度的含有超精细气泡的液体的超精细气泡生成装置和超精细气泡生成方法。超精细气泡生成装置包括在液体中生成超精细气泡的生成单元以及对由生成单元生成的含有超精细气泡的液体执行预定的后处理的后处理单元。生成单元通过使设置在执行过预处理的液体中的加热元件生成热以在液体和加热元件之间的界面上生成膜沸腾来生成超精细气泡。本公开还提供了一种含有超精细气泡的液体。
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