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实用新型
一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备有权

公开(公告)号：CN208621240U

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201821307429.5

申请日：2018-08-14

申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所

发明人： 盛文军 , 胡国俊 , 周金文 , 卢安安

IPC分类号： G01L19/00

摘要： 本实用新型公开了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。本实用新型能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程，并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件，实现连续生产。